一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法

    公开(公告)号:CN115434005A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202211010306.6

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: C30B15/10 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。

    一种单晶炉用双孔放气过滤罐

    公开(公告)号:CN115382308A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202211010312.1

    申请日:2022-08-23

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

    一种单晶炉用重锤结构
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115537910B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202211188803.5

    申请日:2022-09-28

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,上连接件采用不锈钢材质制成,下连接件采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件与钼材质的下连接件采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件易于车削。

    一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法

    公开(公告)号:CN115434005B

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202211010306.6

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: C30B15/10 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。

    一种单晶炉用双孔放气过滤罐

    公开(公告)号:CN115382308B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211010312.1

    申请日:2022-08-23

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

    一种单晶炉用重锤结构
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115537910A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211188803.5

    申请日:2022-09-28

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,上连接件采用不锈钢材质制成,下连接件采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件与钼材质的下连接件采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件易于车削。

    一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置

    公开(公告)号:CN113308731B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110591277.6

    申请日:2021-05-28

    IPC分类号: C30B15/26 C30B29/06

    摘要: 本发明提供了一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法,包括步骤1:在重锤下端安装带尖籽晶,然后将所述重锤放入主炉室内部,获取带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离;步骤2:使用CCD相机获取所述带尖籽晶尖端的实际像素位置图像与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置图像,然后根据所述实际像素位置与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置计算所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离;步骤3:基于所述带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离及所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离,计算单晶炉液口距。本发明中,通过CCD相机获取的图像能够准确计算液口距,消除了人为误差,提高了液口距的准确性,从而实现了液口距的精准定位,便于单晶炉液口距的精准控制。