一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116657236A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310649445.1

    申请日:2023-06-02

    摘要: 本发明公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉,包括:熔晶炉、拉晶炉,所述拉晶炉设置在所述熔晶炉顶部,所述拉晶炉底部与所述拉晶炉顶部连通,所述熔晶炉内设置有坩埚,所述坩埚安装在旋转机构顶部,所述旋转机构底部安装在熔晶炉底面,所述坩埚顶部设置有防硅跳组件,所述拉晶炉顶部设置有提拉机构,所述提拉机构用于将坩埚内熔融状态的硅向上牵引在拉晶炉内形成硅棒,所述拉晶炉内设置有塑形机构,所述塑形机构设置在坩埚上部,所述塑形机构用于对提拉机构上拉熔融状态的硅进行塑形;用以避免坩埚内发生硅跳对拉晶炉造成的危害。

    一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法

    公开(公告)号:CN115463894A

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202211074786.2

    申请日:2022-09-02

    IPC分类号: B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67

    摘要: 本发明公开了一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法,包括:清洗筒,所述清洗筒的内壁上设有升降装置和超声波发生器,所述升降装置上设有放料板,所述升降装置上设有放置架,所述超声波发生器和升降装置均与控制器电连接;通过升降装置将放置架和放料板抬升至同一高度,然后推动放料板上放好待清洗硅片的新放置架取代升降装置上的放置架,完成清洗机的快速换料,提高清洗速度。

    一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法

    公开(公告)号:CN115434005A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202211010306.6

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: C30B15/10 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。

    一种单晶炉用双孔放气过滤罐

    公开(公告)号:CN115382308A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202211010312.1

    申请日:2022-08-23

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

    一种单晶硅生产设备
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113151892B

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202110456606.6

    申请日:2021-04-27

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06 C30B15/20

    摘要: 本发明涉及一种单晶硅生产设备,其中,直拉单晶用热屏装置包括:内层隔热筒;外层隔热筒,所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧;热反射片,所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上;隔热垫,所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间;其中单晶硅生产设备包括:炉体;坩埚,所述坩埚安装在所述炉体内底壁上,所述坩埚底部安装有旋转装置;热屏装置,所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽;充气装置,所述充气装置用于往炉体内充入气体;直拉装置,所述直拉装置用于单晶硅的直拉生长。通过上述结构的设计,能增大纵向温度梯度,提高单晶硅的生长速度,从而提高单晶硅的产量和生产效率。

    一种单晶炉用重锤结构
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115537910B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202211188803.5

    申请日:2022-09-28

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,上连接件采用不锈钢材质制成,下连接件采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件与钼材质的下连接件采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件易于车削。

    一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法

    公开(公告)号:CN115434005B

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202211010306.6

    申请日:2022-08-23

    IPC分类号: C30B15/10 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶硅埚缝测量用具及其使用方法,其中,直拉单晶硅埚缝测量用具包括:用具本体,用具本体采用石英材质制成,用具本体设为等腰锐角三角形状,用具本体的顶角贴靠硅液的液面设置,用具本体上预留有开孔;钼螺栓,所述钼螺栓穿设所述开孔,并连接于导流罩的底端;直拉单晶硅埚缝测量用具使用方法包括:步骤1、清洗用具本体,进而保证用具本体的表面无异物附着;步骤2、人工通过钼螺栓将用具本体安装在导流罩的底端,所述导流罩的底端预留有与所述钼螺栓连接的螺孔,所述用具本体自然下垂;步骤3、导流罩自直拉单晶硅埚上方下落,肉眼观察所述用具本体的顶角,当所述用具本体的顶角贴靠硅液的液面时,导流罩停止下移。

    一种单晶炉用双孔放气过滤罐

    公开(公告)号:CN115382308B

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211010312.1

    申请日:2022-08-23

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用双孔放气过滤罐,包括:立式罐体,过滤室设于所述立式罐体内,进气口设于所述立式罐体侧端靠近底端位置,并连通于所述过滤室内,排气口设于所述立式罐体侧端靠近顶端位置,并连通于所述过滤室内;上孔放气单元、下孔放气单元,所述上孔放气单元安装于所述立式罐体顶端位置,并连通于所述过滤室内,所述下孔放气单元安装于所述立式罐体底端,并连通于所述过滤室内;过滤袋单元,所述过滤袋单元安装于所述过滤室内;过滤袋抖动单元,所述过滤袋抖动单元安装于所述立式罐体顶端,所述过滤袋抖动单元与所述过滤袋单元连接。

    一种单晶炉用重锤结构
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115537910A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211188803.5

    申请日:2022-09-28

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,包括重锤本体,所述重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,所述上连接件采用不锈钢材质制成,所述下连接件采用钼材质制成。本发明公开了一种单晶炉用重锤结构,不同于现有的重锤结构都是整体采用钼材质制成,重锤本体包括螺接的上连接件和下连接件,上连接件采用不锈钢材质制成,下连接件采用钼材质制成。本发明提供的一种单晶炉用重锤结构,这样的好处在于:一、不锈钢材质的上连接件与钼材质的下连接件采用螺纹连接,配合紧密,拆卸方便,且在单一部件受损后,可单独更换;二、结构相较于现有的整体采用钼材质制成价格低廉,且不锈钢材质的上连接件易于车削。

    一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法

    公开(公告)号:CN115463894B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202211074786.2

    申请日:2022-09-02

    IPC分类号: B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67

    摘要: 本发明公开了一种硅片用超声波清洗装置及清洗方法,包括:清洗筒,所述清洗筒的内壁上设有升降装置和超声波发生器,所述升降装置上设有放料板,所述升降装置上设有放置架,所述超声波发生器和升降装置均与控制器电连接;通过升降装置将放置架和放料板抬升至同一高度,然后推动放料板上放好待清洗硅片的新放置架取代升降装置上的放置架,完成清洗机的快速换料,提高清洗速度。