成膜方法和成膜装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101978097A

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN200880023545.7

    申请日:2008-07-22

    CPC classification number: C23C24/04

    Abstract: 本发明的成膜方法包括下述工序:通过向保持了原料粉体(7)的第1室(8)间歇地导入输送气体(5),将原料粉体(7)和输送气体(5)混合从而生成第1气溶胶;通过向第2室(9)导入第1气溶胶从而生成第2气溶胶;以及通过向第3室(13)喷射第2气溶胶从而形成原料粉体(7)的膜。

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