微细结构体、图案介质及其制造方法

    公开(公告)号:CN101077768A

    公开(公告)日:2007-11-28

    申请号:CN200710104269.4

    申请日:2007-05-23

    Abstract: 本发明的课题是利用高分子嵌段共聚物的微相分离现象提供柱状微畴在膜的贯通方向上取向的同时具有规则图案的排列的微细结构体。本发明的特征在于,包括:第1步骤,在基板(40)上涂敷至少包含具有构成微细结构体(30)的连续相(10)的第1链段和构成在该连续相(10)的贯通方向上取向的微畴(20)的第2链段的高分子嵌段共聚物的高分子层;以及第2步骤,以构成第1链段的第1原料(A)与基板(40)的表面(X)的界面张力和构成第2链段(22)的第2原料(B)与基板(40)的表面(X)的界面张力这两者的界面张力大致相等的中性温度(Tn)对基板(40)进行热处理。

    金属结构体及其制造方法

    公开(公告)号:CN1831205A

    公开(公告)日:2006-09-13

    申请号:CN200610002424.7

    申请日:2006-01-27

    CPC classification number: C25D3/38 C25D5/02 C25D5/56

    Abstract: 本发明涉及用抗蚀剂膜而不用掩模,通过少的工序形成特定图案的金属膜。在基板上具有金属膜的金属结构体的制造方法中,其特征在于,该方法包括:把形成金属膜的部分用具有凹凸形状的导电体其形成的工序;以及通过电镀,在上述导电体上具有凹凸形状的部分优先形成金属膜的工序。在电镀液中,如花青色素那样,可以抑制电镀反应,在电镀反应进行的同时添加失去电镀反应抑制效果的化合物是优选的。在具有凹凸形状的部分,通过电镀可优先形成金属膜。

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