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公开(公告)号：CN117794333A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311114648.7
申请日：2023-08-31
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本申请涉及太阳能电池技术领域，更具体地说，它涉及一种柔性高效率大面积钙钛矿太阳能电池的空穴传输层优化结晶方法。采用刮涂法在氧化铟锡(ITO)和掺氟氧化锡(FTO)透明导电玻璃上制备空穴传输层、界面修饰层、金属卤化钙钛矿层、电子传输层、空穴阻挡层和电极层，选取NiOx溶解于超纯水中用来界面修饰层，所述NiOx溶解于超纯水用于大面积钙钛矿层抑制结晶。利用NiOx对其衬底进行修饰，抑制钙钛矿薄膜在衬底上结晶析出来提升器件的效率，并影响钙钛矿薄膜生长过程以改善薄膜顶界面光电性质均一性。
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公开(公告)号：CN117845170A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311614719.X
申请日：2023-11-28
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明提出一种线性蒸发源装置，具体涉及于蒸镀设备技术领域,所述线性蒸发源装置包括加热装置本体和加热丝，其中：所述加热装置本体包括上承载件和管壁，所述上承载件顶部设有多个连通孔，所述连通孔包括多个第一连通孔和多个第二连通孔，所述连通孔顶部一侧设有多个喷嘴，所述喷嘴包括多个第一喷嘴和多个第二喷嘴，所述第一喷嘴、所述第二喷嘴分别位于所述第一连通孔顶部、所述第二连通孔顶部并与所述上承载件固定连接；所述加热丝横向设置于所述上承载件和所述下承载件之间，所述下承载件和所述加热丝之间还设有坩埚，本发明通过改变蒸发源和加热丝的位置，并调整坩埚的分布使各个坩埚的加热速率保持一致，提高了镀膜时的均匀程度。
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公开(公告)号：CN116314456A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310256748.7
申请日：2023-03-03
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , C01B19/00 , H01L31/0392 , H01L31/04
摘要： 本发明公开一种表面硫化的铜铟镓硒薄膜、太阳能电池的制备方法。所述表面硫化的铜铟镓硒薄膜的制备方法包括步骤：提供表面具有金属底电极层的衬底；在金属底电极层上制备铜铟镓硒薄膜，得到表面具有铜铟镓硒薄膜的衬底；将表面具有铜铟镓硒薄膜的衬底置于含有硫元素的电解液中，通过电化学离子提取工艺使电解液中的硫元素扩散至所述铜铟镓硒薄膜表面，得到表面硫化的铜铟镓硒薄膜。本发明通过电化学离子提取工艺对CIGS薄膜进行表面硫化，使得电解液中的硫元素扩散到CIGS薄膜的表层。该电化学离子提取工艺可以在低温条件下进行，相比于现有的高温硫化工艺，工艺难度更低，且可以避免由于高温而可能对CIGS薄膜的结构造成不良影响。
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公开(公告)号：CN117855033A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311695089.3
申请日：2023-12-11
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/683
摘要： 本申请提供的晶圆微纳加工中临时键合胶的激光解键合方法，采用激光解键合法剥离临时键合胶，具有无接触、损伤小、效率高等优点，且衬底可以回收重复利用，不仅克服机械剥离、热滑移剥离、化学剥离等方法的缺点，还可以降低超薄晶圆的加工成本、提高良品率。
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公开(公告)号：CN115513482A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211190218.9
申请日：2022-09-28
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01M8/0202 , C23C14/18 , C23C14/35
摘要： 本申请提供的表面改性的燃料电池双极板及其制备方法，以燃料电池的双极板为基材，利用真空溅射镀层技术在所述基材的表面形成均匀的C‑Cr涂层，通过使用Cr元素的掺杂C，克服了不锈钢与C薄膜之间附着力较差，碳的沉积存在一些困难的缺陷，与普通的碳薄膜相比，C‑Cr薄膜可以提高涂层的界面电导率和耐蚀性，同时使薄膜获得低残余应力和良好的稳定性，并降低源自涂层缺陷的局部腐蚀的风险。另外，本申请还提供了一种燃料电池。
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公开(公告)号：CN115498052B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202211156922.2
申请日：2022-09-22
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/032 , H01L31/0749 , H01L31/0445 , H01L31/18 , H01L21/02 , C23C14/06
摘要： 本申请提供的CIGS太阳能电池及其制备方法，包括依次层叠设置的钠钙玻璃衬底、Mo背电极、CIGS吸收层、CdS缓冲层、i‑ZnO和AZO窗口层及Ni‑Al‑Ni栅电极，解决了衬底温度过低导致的CIGS薄膜的结晶性能变差，晶粒过小，光生载流子复合几率增大，从而导致的电池的光电转换效率降低等问题，实现了CIGS太阳能电池的低温沉积，且在低温生长的同时保持CIGS太阳能电池的光电性能和电池性能不受大的影响，可与不耐高温的柔性基底(PI)工艺兼容，在实际生产中可简化设备制造难度，降低衬底的加热能耗，有效避免玻璃的软化变形，克服产业化生产中大面积玻璃的变形问题，能够加速促进CIGS电池技术的大面积产业化应用，因此具有广阔的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN116230791A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310268021.0
申请日：2023-03-20
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/0392 , H01L31/032 , H01L31/18 , H01L31/0445
摘要： 本发明提供了一种宽带隙CGSe柔性薄膜太阳能电池及其制备方法。该薄膜太阳能电池包括：柔性金属衬底层、背电极层、掺杂有硫和/或铝的CGSe吸收层、缓冲层、窗口层和栅电极。该薄膜太阳能电池的制备方法包括：通过直流磁控溅射于柔性金属衬底层上形成背电极层；利用分子束外延设备，采用三步共蒸法沉积CGSe吸收层同时选择性地掺杂铝，选择性地在S气氛下退火，形成掺杂有硫和/或铝的CGSe吸收层；形成缓冲层，然后退火；通过射频磁控溅射形成窗口层；通过电子束蒸发形成栅电极，得到薄膜太阳能电池。本发明的宽带隙CGSe柔性薄膜太阳能电池适合作为水下太阳能电池，为水下航行器、自主系统等提供高效率的动力来源。
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公开(公告)号：CN115621360A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211151992.9
申请日：2022-09-21
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032
摘要： 本发明提供了一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池的制备方法，其包括：提供衬底，在衬底上制备形成金属背电极层；在金属背电极层上制备形成铜铟镓硒吸收层；将铜铟镓硒吸收层置于含有碱金属元素的电解液中，通过电化学离子提取工艺使电解液中的碱金属元素扩散至铜铟镓硒吸收层；在铜铟镓硒吸收层上制备形成缓冲层；在缓冲层上制备形成窗口层；在窗口层上制备形成金属顶电极层，获得铜铟镓硒薄膜太阳能电池。本发明的技术方案，通过电化学离子提取工艺对CIGS吸收层进行碱金属后处理，使得电解液中的碱金属元素扩散到CIGS吸收层的表层及内部，增加了CIGS吸收层的载流子浓度，提高了器件的开路电压和填充因子，从而提高了铜铟镓硒薄膜太阳能电池的效率。
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公开(公告)号：CN115498068A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211156909.7
申请日：2022-09-22
申请人： 深圳先进技术研究院
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02 , H01L21/461 , H01L31/032 , H01L31/0749 , H01L31/0445 , C23C14/06 , C23C14/58
摘要： 本申请提供的CIGS太阳能电池表面改性方法及装置，开启所述微波功率源，使得所述微波等离子体产生室的惰性气体电离并产生微波等离子体，所述偏转线圈产生的磁场将所述微波等离子体从所述微波等离子体产生室引出至所述真空室，并对所述真空室内的所述CIGS薄膜进行表面改性处理，不仅可以去除表面的Cu‑Se相，还可以减弱CIGS薄膜中Ga的不均匀状况，避免薄膜出现对太阳能的屏蔽作用，从而达到材料表面改性的目的，以获得了更高光电转换效率。另外，本申请还提供了一种CIGS太阳能电池。
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公开(公告)号：CN117615624A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311559065.5
申请日：2023-11-21
申请人： 深圳先进技术研究院
摘要： 本申请提供的钙钛矿太阳能电池的制备方法及钙钛矿太阳能电池，包括：依次设置的衬底、空穴传输层、钙钛矿光吸收层、电子传输层以及透明导电电极层，在所述钙钛矿活性层上利用有机线性蒸发源扫描蒸镀富勒烯形成富勒烯层以形成电子传输层，该线源蒸镀采用蒸发源固定，样品基板进行来回平行移动的形式，能实现更好的沉积均匀性，更高的薄膜纯度以及材料利用率，对于提升钙钛矿太阳能电池组件的性能以及推动其商业化量产具有积极意义。
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