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公开(公告)号：CN113206120A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110488819.7
申请日：2021-04-30
Applicant: 深圳先进技术研究院 , 深圳市卓茂科技有限公司
IPC: H01L27/146 , H01L31/032 , H01L31/08 , H01L31/18 , A61B6/00 , G01T1/20 , G01T1/202
Abstract: 本发明提供了一种多光谱型X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括：信号采集基底，与光电转换单元电连接，用于采集光电转换单元的电信号；光电转换单元，设置于信号采集基底上，用于对闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；闪烁体层，设置于光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；其中，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层；所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与出光面相交的侧面。本发明的多光谱型X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性。
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公开(公告)号：CN113206120B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202110488819.7
申请日：2021-04-30
Applicant: 深圳先进技术研究院 , 深圳市卓茂科技有限公司
IPC: H01L27/146 , H01L31/032 , H01L31/08 , H01L31/18 , A61B6/00 , G01T1/20 , G01T1/202
Abstract: 本发明提供了一种多光谱型X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括：信号采集基底，与光电转换单元电连接，用于采集光电转换单元的电信号；光电转换单元，设置于信号采集基底上，用于对闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；闪烁体层，设置于光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；其中，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层；所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与出光面相交的侧面。本发明的多光谱型X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性。
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公开(公告)号：CN114184307A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202111539750.2
申请日：2021-12-15
Applicant: 深圳先进技术研究院
IPC: G01L1/00 , G01L9/00 , C25D13/12 , C25D13/02 , C25D13/22 , C01B32/168 , C01B32/194
Abstract: 本发明公开了一种微结构柔性压力传感器及其制备方法，所述柔性压力传感器包括叠层设置的两个以上的压力传感层，所述压力传感层为包括纤维布基体以及沉积在所述纤维布基体表面的纳米导电材料；所述制备方法包括以下步骤：配制纳米导电材料分散液；将所述纤维布基体浸入所述纳米导电材料分散液中，通过电沉积工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面；对进行电沉积后的所述纤维布基体干燥处理，制备获得压力传感层；将两个以上的所述压力传感层叠层封装并引出电极，制备获得所述微结构柔性压力传感器。本发明提供的微结构柔性压力传感器，采用叠层设置的两个以上压力传感层，提升了微结构压力传感器的灵敏度并具有更宽的线性范围。
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公开(公告)号：CN114122035A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111388618.6
申请日：2021-11-22
Applicant: 深圳先进技术研究院
IPC: H01L27/146 , H01L31/0296
Abstract: 本发明提供了一种基于SnSex的可见紫外光芯片及其制备方法和应用。具体公开了一种基于二维材料SnSex的可见紫外光芯片，其包括支撑衬底、垂直生长于所述支撑衬底的二维材料SnSex，x为1.6～2.2；以及覆盖于SnSex表面的顶电极；所述支撑衬底为互补金属氧化物半导体，所述顶电极为在SnSex表面依次设置的未掺杂的氧化锌层和铝掺杂的氧化锌层；所述垂直生长于所述支撑衬底的二维材料SnSex通过封装胶固定。本发明的可见紫外光芯片制备方法简单，首次采用CMOS与二维纳米材料集成，本发明提供的可见紫外光芯片量子效率高，响应时间短，相比于现有技术提高了光吸收率，可用于宽波段光电探测器的制备。
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