微机械的压力传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104204755B

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201380019457.0

    申请日:2013-03-05

    Inventor: C.舍林 R.哈斯

    CPC classification number: G01L13/026 G01L19/0618

    Abstract: 本发明涉及一种具有高动态的测量区域的微机械的压力传感器。该压力传感器具有两个压力敏感的、闭合的传感器薄膜,其中,两个传感器薄膜中的每一个传感器薄膜可以耦接到一自身的压力贮存器上;还具有一布置在传感器薄膜之间的止挡装置,该止挡装置具有下列元件:一锚固元件,用于将止挡装置锚固在传感器薄膜中的至少一个传感器薄膜上;至少一个将两个传感器薄膜基本上刚性连接的耦接元件;多个支撑元件,传感器薄膜中的一个传感器薄膜在定义的几何上的偏移的情况下能与支撑元件接触;以及一密封元件,用于密封止挡装置。通过两个传感器薄膜的基本上刚性的耦接,有利地取消了单个的绝对压力值的相减。

    用于运行显微光谱仪的方法和显微光谱仪

    公开(公告)号:CN109891204B

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN201780067294.1

    申请日:2017-10-02

    Abstract: 本发明涉及一种用于运行显微光谱仪(102)的方法,其中所述方法具有如下步骤:在使用显微光谱仪(102)的可调制的发射装置(106)的情况下,以具有第一脉冲特性(118)的第一频谱强度分布(120)和至少一个具有第二脉冲特性(122)的第二频谱强度分布(124)来照射所要测量的测量对象(130);在使用显微光谱仪(102)的可调谐的滤波装置(108)的情况下,使由测量对象(130)重新发射的频谱反射强度分布(132)中的分配给第一频谱强度分布(120)的第一波长范围(134)和分配给第二频谱强度分布(124)的第二波长范围(136)通过;在使用显微光谱仪(102)的探测装置(110)的情况下,在探测信号(138)中描绘第一波长范围(134)和第二波长范围(136)的辐射强度;以及在使用第一脉冲特性(118)和第二脉冲特性(122)的情况下对探测信号(138)进行解调,以便获得分配给第一波长范围(134)的第一强度值(140)和分配给第二波长范围(136)的第二强度值(142)。

    干涉仪和用于运行干涉仪的方法

    公开(公告)号:CN109564344A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201780049013.X

    申请日:2017-07-25

    Abstract: 本发明涉及一种干涉仪(200),其具有第一镜元件(202)和通过可调节的谐振腔间隙(204)与该第一镜元件(202)间隔开的第二镜元件(206),其中,干涉仪(200)具有第一驱动装置(100)和第二驱动装置(102),其中,第一驱动装置(100)构造用于调节谐振腔间隙(204)的间隙高度(104),其中,第一驱动装置(100)具有第一调节范围(208),其中,第二驱动装置(102)同样构造用于调节间隙高度(104),其中,第二驱动装置(102)具有补充第一调节范围(208)的第二调节范围(210)。

    用于分析测量区域的方法和微型光谱仪

    公开(公告)号:CN108303387A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810023301.4

    申请日:2018-01-10

    Abstract: 本发明涉及一种用于在考虑到光谱评估至少一个单个测量的情况下分析测量区域的方法,其包括如下步骤:•以电磁射束辐射测量区域的物体,•光谱测定地测量来自测量区域的射束,其中为了分析测量区域执行至少两个单个测量,•针对第一单个测量利用第一射束分布以电磁射束辐射物体并且通过光谱测定地测量来提供第一光谱测定的探测器信号,•针对第二单个测量利用与第一射束分布不同的第二射束分布以电磁射束辐射物体并且通过光谱测定地测量来提供第二光谱测定的探测器信号,•通过比较第一光谱测定的探测器信号和第二光谱测定的探测器信号获知比较值,比较值是针对存在直接反射的指示器,并且•为了光谱评估,根据比较值选出探测器信号,用以分析测量区域。

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