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公开(公告)号：CN113242966B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN201980083631.5
申请日：2019-10-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件(110)的方法。该方法包括以下步骤：a)提供传感器组件坯件(112)，其中，所述传感器组件坯件(112)包括至少一个压力接管(114)，其中，所述压力接管(114)还具有至少一个压力变形元件(116)，其中，所述压力变形元件(116)由至少一个适合感应的材料制成；b)在所述压力变形元件(116)的表面(130)上施加至少一个玻璃元件(132)；c)借助至少一个高温计(140)感测所述压力变形元件(116)的至少一个温度；d)借助至少一个感应器(146)在所述压力变形元件(116)中感应出电压，使得所述玻璃元件(132)熔化，并且在所述压力变形元件(116)上形成玻璃层(148)；e)将传感器元件(150)施加到玻璃层(148)上，使得在所述传感器元件(150)和所述玻璃层(148)之间形成材料锁合连接。
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公开(公告)号：CN104902411A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510093841.6
申请日：2015-03-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R1/08 , B81B7/0061 , B81B7/02 , B81B2201/0257 , B81B2207/012 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R1/028 , H04R1/04 , H04R3/00 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提出一种用于成本上有利地以及节省空间地实现具有声学上高品质的麦克风功能并且具有至少一个另外的需要介质加载的传感器功能的多传感器模块的方案。所述部件包括至少一个MEMS麦克风构件，其在壳体内安装在至少一个构造在壳体壁中的声孔之上，从而MEMS麦克风构件的麦克风结构的声压加载通过声孔实现并且壳体内部空间作为用于麦克风结构的背侧容积起作用。在麦克风结构中构造有至少一个用于麦克风结构的前侧与背侧之间的缓慢的压力均衡的泄漏路径。根据本发明，在壳体内设置有至少一个另外的MEMS传感器构件，其传感器功能需要介质加载。介质加载通过MEMS麦克风构件的麦克风结构中的至少一个泄漏路径实现。
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公开(公告)号：CN113242966A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201980083631.5
申请日：2019-10-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于制造用于确定流体介质的至少一个压力的传感器组件(110)的方法。该方法包括以下步骤：a)提供传感器组件坯件(112)，其中，所述传感器组件坯件(112)包括至少一个压力接管(114)，其中，所述压力接管(114)还具有至少一个压力变形元件(116)，其中，所述压力变形元件(116)由至少一个适合感应的材料制成；b)在所述压力变形元件(116)的表面(130)上施加至少一个玻璃元件(132)；c)借助至少一个高温计(140)感测所述压力变形元件(116)的至少一个温度；d)借助至少一个感应器(146)在所述压力变形元件(116)中感应出电压，使得所述玻璃元件(132)熔化，并且在所述压力变形元件(116)上形成玻璃层(148)；e)将传感器元件(150)施加到玻璃层(148)上，使得在所述传感器元件(150)和所述玻璃层(148)之间形成材料锁合连接。
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