公开(公告)号：CN104576314A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410524598.4

申请日：2014-10-08

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： S·R·耶杜拉 ,  K·H·加瑟 ,  S·韦勒特 ,  K·迈尔 ,  F·J·桑托斯罗德里奎兹

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L29/06

CPC分类号： H01L23/562 ,  H01L21/288 ,  H01L21/4814 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/49838 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/30 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2224/03002 ,  H01L2224/04026 ,  H01L2224/0508 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05083 ,  H01L2224/05084 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05666 ,  H01L2224/05671 ,  H01L2224/05687 ,  H01L2224/27002 ,  H01L2224/27005 ,  H01L2224/2732 ,  H01L2224/2747 ,  H01L2224/29011 ,  H01L2224/29014 ,  H01L2224/29021 ,  H01L2224/29023 ,  H01L2224/29035 ,  H01L2224/29036 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/29147 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/29294 ,  H01L2224/29339 ,  H01L2224/29347 ,  H01L2224/29393 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/94 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05187 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/03 ,  H01L2224/27 ,  H01L2924/0781 ,  H01L2924/07802

摘要： 本发明提供用于处理晶片的方法和晶片结构。根据各种实施例的用于处理晶片的方法可包括：从晶片的内部部分去除晶片材料，以在所述晶片的边缘区形成至少部分地包围所述晶片的内部部分的结构；以及使用所述结构作为印刷掩模，将材料印刷到所述晶片的内部部分中。根据各种实施例的用于处理晶片的方法可包括：提供托架和晶片，所述晶片具有第一面和与所述第一面相对的第二面，其中所述晶片的所述第一面附着于所述托架，所述第二面具有位于所述晶片的边缘区的结构，所述结构至少部分地包围所述晶片的内部部分；以及，将材料印刷到所述晶片的所述第二面的至少一部分上。

公开(公告)号：CN104576314B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201410524598.4

申请日：2014-10-08

申请人： 英飞凌科技股份有限公司

发明人： S·R·耶杜拉 ,  K·H·加瑟 ,  S·韦勒特 ,  K·迈尔 ,  F·J·桑托斯罗德里奎兹

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L29/06

CPC分类号： H01L23/562 ,  H01L21/288 ,  H01L21/4814 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/49838 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/27 ,  H01L24/29 ,  H01L24/30 ,  H01L24/32 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2221/6834 ,  H01L2224/03002 ,  H01L2224/04026 ,  H01L2224/0508 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05083 ,  H01L2224/05084 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05666 ,  H01L2224/05671 ,  H01L2224/05687 ,  H01L2224/27002 ,  H01L2224/27005 ,  H01L2224/2732 ,  H01L2224/2747 ,  H01L2224/29011 ,  H01L2224/29014 ,  H01L2224/29021 ,  H01L2224/29023 ,  H01L2224/29035 ,  H01L2224/29036 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/29147 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/29294 ,  H01L2224/29339 ,  H01L2224/29347 ,  H01L2224/29393 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/94 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05187 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/03 ,  H01L2224/27 ,  H01L2924/0781 ,  H01L2924/07802

摘要： 本发明提供用于处理晶片的方法和晶片结构。根据各种实施例的用于处理晶片的方法可包括：从晶片的内部部分去除晶片材料，以在所述晶片的边缘区形成至少部分地包围所述晶片的内部部分的结构；以及使用所述结构作为印刷掩模，将材料印刷到所述晶片的内部部分中。根据各种实施例的用于处理晶片的方法可包括：提供托架和晶片，所述晶片具有第一面和与所述第一面相对的第二面，其中所述晶片的所述第一面附着于所述托架，所述第二面具有位于所述晶片的边缘区的结构，所述结构至少部分地包围所述晶片的内部部分；以及，将材料印刷到所述晶片的所述第二面的至少一部分上。