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公开(公告)号：CN110462521B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201880018587.5
申请日：2018-02-15
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/84 , G01N21/956 , G02F1/35 , H01S3/00
摘要： 公开了适合于高谐波产生(HHG)辐射源的气体输送系统，所述高谐波产生辐射源可以用于产生用于检查设备的测量辐射。在这样的辐射源中，气体输送元件在第一方向上输送气体。所述气体输送元件具有光学输入和光学输出，限定了在第二方向上延伸的光学路径。所述第一方向相对于所述第二方向以不垂直且不平行的角度来布置。也公开了一种具有气体射流成形装置的气体输送元件，或一对气体输送元件，其中的一个输送第二气体，使得所述气体射流成形装置或第二气体可操作以修改所述气体的流轮廓使得所述气体的数量密度急剧降低。
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公开(公告)号：CN109844649B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN201780064970.X
申请日：2017-09-18
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： S·M·J·杨森 , K·库依皮尔斯 , R·H·M·考蒂 , S·斯里瓦斯塔瓦 , T·J·A·伦克斯 , J·G·高森 , E·H·E·C·奥姆梅伦 , H·J·舍伦斯 , A·M·W·黑伦 , B·蓝森
摘要： 一种压力控制阀，包括：通路(210)，其具有限定用于使液体和/或气体(215)流动通过的开口(220)的部分；阻塞构件(230)，其能够相对于所述开口移位，以将所述开口阻塞不同的量，由此调节通过所述开口的液体和/或气体的体积流率；压电致动器(250)；以及连杆机构(400)，其适于放大所述压电致动器的尺寸改变的量，并且使用放大后的尺寸改变量来相对于所述开口移动所述阻塞构件，其中，所述连杆机构包括框架(500)，所述框架附接到一壁并且在第一端处相对于所述通路固定，所述框架的可移动部分(508)能够在第一方向上移动，同时在与所述第一方向正交的第二方向上基本上被约束，所述压电致动器在所述壁与所述可移动部分之间延伸，使得所述压电致动器的膨胀引起所述可移动部分在所述第一方向上移动的量大于所述压电致动器的膨胀量，所述可移动部分连接到所述阻塞构件。
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公开(公告)号：CN112771451B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201980063865.3
申请日：2019-08-26
申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司
发明人： R·H·M·J·布洛克斯 , J·G·C·昆尼 , O·扎尔 , J·H·里昂 , S·斯里瓦斯塔瓦
摘要： 一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。
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公开(公告)号：CN112771451A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980063865.3
申请日：2019-08-26
申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司
发明人： R·H·M·J·布洛克斯 , J·G·C·昆尼 , O·扎尔 , J·H·里昂 , S·斯里瓦斯塔瓦
摘要： 一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。
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公开(公告)号：CN110462521A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880018587.5
申请日：2018-02-15
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/84 , G01N21/956 , G02F1/35 , H01S3/00
摘要： 公开了适合于高谐波产生(HHG)辐射源的气体输送系统，所述高谐波产生辐射源可以用于产生用于检查设备的测量辐射。在这样的辐射源中，气体输送元件在第一方向上输送气体。所述气体输送元件具有光学输入和光学输入，限定了在第二方向上延伸的光学路径。所述第一方向相对于所述第二方向以不垂直且不平行的角度来布置。也公开了一种具有气体射流成形装置的气体输送元件，或一对气体输送元件，其中的一个输送第二气体，使得所述气体射流成形装置或第二气体可操作以修改所述气体的流轮廓使得所述气体的数量密度急剧降低。
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公开(公告)号：CN109844649A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201780064970.X
申请日：2017-09-18
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： S·M·J·杨森 , K·库依皮尔斯 , R·H·M·考蒂 , S·斯里瓦斯塔瓦 , T·J·A·伦克斯 , J·G·高森 , E·H·E·C·奥姆梅伦 , H·J·舍伦斯 , A·M·W·黑伦 , B·蓝森
摘要： 一种压力控制阀，包括：通路(210)，其具有限定用于使液体和/或气体(215)流动通过的开口(220)的部分；阻塞构件(230)，其能够相对于所述开口移位，以将所述开口阻塞不同的量，由此调节通过所述开口的液体和/或气体的体积流率；压电致动器(250)；以及连杆机构(400)，其适于放大所述压电致动器的尺寸改变的量，并且使用放大后的尺寸改变量来相对于所述开口移动所述阻塞构件，其中，所述连杆机构包括框架(500)，所述框架附接到一壁并且在第一端处相对于所述通路固定，所述框架的可移动部分(508)能够在第一方向上移动，同时在与所述第一方向正交的第二方向上基本上被约束，所述压电致动器在所述壁与所述可移动部分之间延伸，使得所述压电致动器的膨胀引起所述可移动部分在所述第一方向上移动的量大于所述压电致动器的膨胀量，所述可移动部分连接到所述阻塞构件。
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公开(公告)号：CN115793401A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211226584.5
申请日：2018-02-15
申请人： ASML荷兰有限公司
摘要： 公开了适合于高谐波产生(HHG)辐射源的气体输送系统，所述高谐波产生辐射源可以用于产生用于检查设备的测量辐射。在这样的辐射源中，气体输送元件在第一方向上输送气体。所述气体输送元件具有光学输入和光学输出，限定了在第二方向上延伸的光学路径。所述第一方向相对于所述第二方向以不垂直且不平行的角度来布置。也公开了一种具有气体射流成形装置的气体输送元件，或一对气体输送元件，其中的一个输送第二气体，使得所述气体射流成形装置或第二气体可操作以修改所述气体的流轮廓使得所述气体的数量密度急剧降低。
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公开(公告)号：CN114294460A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202210021840.0
申请日：2017-09-18
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： S·M·J·杨森 , K·库依皮尔斯 , R·H·M·考蒂 , S·斯里瓦斯塔瓦 , T·J·A·伦克斯 , J·G·高森 , E·H·E·C·奥姆梅伦 , H·J·舍伦斯 , A·M·W·黑伦 , B·蓝森
摘要： 一种压力控制阀，包括：通路(210)，其具有限定用于使液体和/或气体(215)流动通过的开口(220)的部分；阻塞构件(230)，其能够相对于所述开口移位，以将所述开口阻塞不同的量，由此调节通过所述开口的液体和/或气体的体积流率；压电致动器(250)；以及连杆机构(400)，其适于放大所述压电致动器的尺寸改变的量，并且使用放大后的尺寸改变量来相对于所述开口移动所述阻塞构件，其中，所述连杆机构包括框架(500)，所述框架附接到一壁并且在第一端处相对于所述通路固定，所述框架的可移动部分(508)能够在第一方向上移动，同时在与所述第一方向正交的第二方向上基本上被约束，所述压电致动器在所述壁与所述可移动部分之间延伸，使得所述压电致动器的膨胀引起所述可移动部分在所述第一方向上移动的量大于所述压电致动器的膨胀量，所述可移动部分连接到所述阻塞构件。
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