用于使层从复合结构分离的方法

    公开(公告)号:CN103814435B

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201280045524.1

    申请日:2012-07-18

    申请人: SOITEC公司

    发明人: D·朗德吕

    IPC分类号: H01L21/762

    摘要: 本发明涉及一种用于使层(115)从复合结构(125)分离的方法,该结构包括至少由在确定波长下部分透明的支承衬底(105)、将被分离的层(115)和置于支承衬底和将被分离的层之间的分离层(110)形成的复合堆叠,该方法包括通过在确定波长下的入射光线(124a)穿过支承衬底(105)照射分离层(110),以通过剥离分离层诱发弱化或分离,光线被倾斜以形成入射角θ,使得θ≥θmin,其中θmin=sin?1((n1/n0)sin(tan?1(S/2h))),n1和n0分别为支承衬底的折射率和与所述光线所来自的支承衬底(105)接触的外部介质(130)的折射率,S为所述光线的宽度和h为支承衬底的厚度。