一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构

    公开(公告)号:CN107324275A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201710756992.4

    申请日:2017-08-29

    申请人: 山东大学

    发明人: 闫鹏 陈宁

    IPC分类号: B81B7/02

    摘要: 本发明公开了一种串联环扇形压电三维微伺服平台的结构,包括基体,基体包括中间反光镜,在中间反光镜的外侧设有两个环扇形的第一压电梁基体,在第一压电梁基体的外圈设有两个环扇形的第二压电梁基体;在第一压电梁基体的上表面和第二压电梁基体的上表面各黏贴有第一、第二压电陶瓷片;在两个第二压电陶瓷驱动器加载相反电压时,两个第二压电陶器驱动器弯曲方向相反,进而带动中间的固定环绕y轴转动;在两个第一压电陶瓷驱动器加载相反电压时,两个第一压电陶器驱动器弯曲方向相反,进而带动中间的中间反光镜绕x轴转动;当加载在第二压电陶瓷驱动器或第一压电陶瓷驱动器电压方向相同时,固定环或中间反光镜产生垂直x、y所在平面的垂直位移。

    一种纳米喷射微型推进器、其制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN107416759A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710190112.1

    申请日:2017-03-21

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: B81B7/02 B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种纳米喷射微型推进器、其制备方法及其应用,纳米喷射微型推进器包括玻璃纳米管、离子溶液、电压可调式电源、连接机构和挡板;所述玻璃纳米管一端设有尖端,离子溶液设在玻璃纳米管内,电压可调式电源一端与纳米玻璃纳米管的尖端相接,另一端与挡板相接;挡板设在纳米玻璃纳米管的尖端外侧,挡板通过连接结构与玻璃纳米管外壁相接。本发明纳米喷射微型推进器比冲可控,灵活简单,成本低;电压值可调节,能够在不同的喷射电压下产生不同的推力,以达到不同的运动状态;在微纳卫星上可以进行阵列安装,以提供更大的推力和进行不同方向的调整;玻璃纳米管尺寸小,因此推进器达到的精度高,以实现高精度控制。

    低驱动电压的微型冲击锤

    公开(公告)号:CN106586945A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201710014468.X

    申请日:2017-01-07

    发明人: 董林玺 李豪

    IPC分类号: B81B7/02

    摘要: 本发明公开了一种低驱动电压的微型冲击锤。本发明中的微型冲击锤由六部分组成:一个圆柱形的冲击器、储存能量的梁、减速齿轮组、锁定机构、微曲柄滑块机构和梳状驱动器。其中梁与弹簧体用于存储能量,相对于单一锁定结构,加入减速齿轮组,大齿轮与小齿轮相嵌合,小齿轮带动大齿轮,小齿轮分度圆半径为r,大齿轮分度圆半径为R,则小齿轮驱动力为大齿轮阻力的r/R。同时多级齿轮组作用下能大大减少小齿轮的驱动力。本发明通过静电力的作用,使梳状微驱动器产生水平横向位移,通过微型曲柄滑块结构将水平横向位移转化为圆周运动来驱动齿轮组进行运转,带动冲击器垂体存储和释放能量,大大减小了驱动力,从而实现小电压驱动下能量的存储与释放。

    一种纳米位移执行器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107188113A

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201710413626.9

    申请日:2017-06-05

    申请人: 东南大学

    IPC分类号: B81B7/02 B81C1/00

    摘要: 本发明是一种纳米位移执行器,在衬底(3)的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜(2)、薄膜上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体,其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面;在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密闭墙(5),在左密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输出控制管道口(6),在右密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输入控制管道口(7),在左密封腔体的密闭墙的内端与位移传动的承载体之间设有左滑动接触装置(8),在右密封腔体的密闭墙的内端与位移传动的承载体之间设有右滑动接触装置(9),该微位移执行器提供一种新颖、高效、适合多种应用场合的途径。

    MEMS微驱动器及其制作方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107128873A

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201710320971.8

    申请日:2017-05-09

    IPC分类号: B81B7/02 B81C1/00 H01H59/00

    摘要: 本发明公开了一种MEMS微驱动器,该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部,同时接收并传输射频信号;形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极,其与驱动信号相连接;形成于下电极上表面的驱动介质层;形成于驱动介质层上表面的上电极,其与接地信号相连接;以及形成于上电极上的第一开关触点与第二开关触点;其中,驱动介质层在驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变,以使得第一开关触点和第二开关触点分别与第一传输部和第二传输部相接触,从而停止射频信号的传输。该MEMS微驱动器有效提高微驱动器的电传输信号功率处理能力,同时提高开关速度及抗环境干扰的能力。