一种晶圆的混合键合结构及方法

    公开(公告)号:CN109148417A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811018709.9

    申请日:2018-09-03

    发明人: 肖莉红 徐前兵

    IPC分类号: H01L23/538 H01L21/18

    摘要: 本发明提供一种晶圆的混合键合方法,包括以下步骤:提供第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆具有待混合键合的第一衬底,所述第二晶圆具有待混合键合的第二衬底;在所述第一衬底上形成第一金属导体,在所述第二衬底上形成第二金属导体;在所述第一金属导体的第一键合表面和/或所述第二金属导体的第二键合表面上形成阻挡层;键合所述第一晶圆和第二晶圆,使得所述第一金属导体和所述第二金属导体通过所述阻挡层进行键合,其中所述阻挡层与所述第一键合表面和/或所述第二键合表面之间的接触面为平面。