一种多官能单体化合物及其制备方法和感光性树脂组合物

    公开(公告)号:CN108314692A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201710036388.4

    申请日:2017-01-17

    IPC分类号: C07F7/18 C07F9/09 G03F7/027

    CPC分类号: C07F7/188 C07F9/095 G03F7/027

    摘要: 本公开涉及一种多官能单体化合物及其制备方法和感光性树脂组合物,该化合物具有式(1)所示的结构;式(1)。本公开的多官能单体化合物能够在显影工序中遇水产酸,促进未曝光部位的显影;而对于已曝光部位,该多官能单体化合物能够参与聚合,与光刻胶组合物中的其他可聚合成分交联成为网状结构,不会因产酸而影响树脂固化膜的稳定性,同时该多官能单体化合物水解后产生的化合物中含有硅羟基,还可以增加树脂固化膜与玻璃基板的附着力。同时,由于多官能单体化合物本身不具备酸性,比一般含有小分子酸或酸性物质作为显影助剂的彩色光刻胶的储存稳定性有显著提高。

    三(三甲基硅基)磷酸酯的合成方法

    公开(公告)号:CN106946929A

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201710203015.1

    申请日:2017-03-30

    发明人: 王军 刘鹏 梅银平

    IPC分类号: C07F9/09

    CPC分类号: C07F9/095

    摘要: 三(三甲基硅基)磷酸酯的合成方法,本发明属于化合物合成的技术领域,采用三甲基氯硅烷与磷酸二氢钾为原料,反应得到三(三甲基硅基)磷酸酯,将磷酸二氢钾置于甲酰胺中,通入氮气,搅拌20‑30min,然后向其中加入三甲基氯硅烷,然后加入苄基三乙基氯化铵和/或四丁基硫酸氢铵,继续向其中通入氮气,控制反应温度<30℃,反应得到三(三甲基硅基)磷酸酯。本发明合成方法简单、易操作,反应过程温和、稳定,得到的三(三甲基硅基)磷酸酯的收率高、纯度高。