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公开(公告)号：CN106876353A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201610103905.0
申请日：2016-02-25
申请人： 南茂科技股份有限公司
IPC分类号： H01L23/488 , H01L21/60 , C25D5/00 , C25D15/00
CPC分类号： H01L24/11 , C25D5/003 , C25D15/00 , H01L24/13 , H01L2224/11462 , H01L2224/13011 , H01L2224/13138
摘要： 本发明提供一种凸块结构与其制作方法。凸块结构包括凸块本体以及多个孔隙。孔隙分布于凸块本体中，其中孔隙的直径介于0.05微米至1微米之间，且凸块本体与孔隙间的孔隙度介于25％至75％之间。凸块结构的制作方法，包括下列步骤：将多个气泡掺杂于电镀液中。藉由电镀液形成凸块本体于镀件上，且气泡混入凸块本体中，以构成分布于凸块本体中的多个孔隙，其中孔隙的直径介于0.05微米至1微米之间，且凸块本体与孔隙间的孔隙度介于25％至75％之间。本发明使凸块结构具有高孔隙度与弹性，从而提高凸块结构的接合效果，并同时降低生产成本。
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公开(公告)号：CN103066012B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210345182.7
申请日：2012-09-18
申请人： FEI 公司
发明人： A.P.J.M.博曼 , M.托思 , S.兰多夫 , D.H.纳鲁姆
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/3213
CPC分类号： H01J37/20 , C25D5/003 , C25D5/02 , C25D5/026 , C25D5/04 , C25D17/005 , C25D17/10 , C25D17/12 , C25D21/04 , C25D21/12 , H01J37/18 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/182 , H01J2237/2003 , H01J2237/202 , H01J2237/2801
摘要： 本发明涉及小结构的局部真空中修改。使用一种电荷转移机制来针对小结构来局部淀积或去除材料。创建局部电化学电池而不必将整个工件浸入浴中。电荷转移机制可以与荷电粒子束或激光系统一起使用以修改小结构，诸如集成电路或微机电系统。电荷转移工艺可以在空气中执行，在一些实施例中可以在真空室中执行。
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公开(公告)号：CN100572609C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN03815021.2
申请日：2003-06-24
申请人： 先进微装置公司
发明人： A·普罗伊塞
IPC分类号： C25D7/12 , C25D17/00 , C23C18/16 , H01L21/288 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/2885 , C25D5/003 , C25D17/001 , C25D17/008 , C25D17/02 , Y10S438/905 , Y10S438/909
摘要： 本发明配置一种电化学方法处理衬底的处理工具(200)，以减少邻近于该衬底(201)的氧浓度和/或二氧化硫浓度，以减少铜腐蚀。在一个具体实施例中，在包含镀覆反应器的处理工具(200)内部，通过供给连续惰性气流和/或提供能减少与周为大气的气体交换的罩盖(201)，而形成实质惰性气氛。在电化学方法处理衬底所涉及的其它工艺步骤的过程中，也可维持该实质惰性气氛，该其它工艺步骤包括在个别工艺步骤之间的必要输送步骤。
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公开(公告)号：CN1376216A
公开(公告)日：2002-10-23
申请号：CN00813380.8
申请日：2000-07-28
申请人： 丹尼拉·维塔列维奇·雅可夫 , 卡普技术有限责任公司
发明人： 丹尼拉·维塔列维奇·雅可夫
摘要： 一种清洗导电表面(3)的方法,其中包括安置以形成电解槽阴极的表面,在电解槽中,阳极(1)的DC电压保持30V以上,适当地调节操作参数,以在工件的表面上建立电弧放电(电等离子体),该方法的特征在于,阳极和阴极之间的加工间隙充满由泡沫(9)组成的导电介质,泡沫(9)包括气体/蒸气相和液相。这种方法适合利用在导电介质中包含的形成覆层所要求的物质的离子,同时涂覆金属的表面。本申请还公开了实现这种方法的装置,特别是阳极组件(1),该组件包括多孔的阳极板(2),阳极板(2)与适合接受液体电解液流的室(4)连通;将液体电解液引入所述室的装置;和将所述室中接受的液体电解液转化成泡沫的装置(7)。
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公开(公告)号：CN1089120C
公开(公告)日：2002-08-14
申请号：CN98108482.6
申请日：1998-05-14
申请人： 日本科技股份有限公司
发明人： 大政龙晋
CPC分类号： C25D5/22 , C23C18/1653 , C23C18/1669 , C25D5/003 , C25D5/20 , C25D17/06 , C25D21/10 , H05K3/0088 , H05K2203/0292 , H05K2203/081 , H05K2203/1518 , Y10S205/92
摘要： 连续处理镀敷件的一种镀敷方法，从预处理步骤到镀敷处理，(A)用于处理槽的充气装置；(B)用于处理槽的振动搅拌装置；(C)用于摇动悬挂镀敷件的电极棒的装置；(D)对电极棒施加振动的装置。所有步骤都在一个清洗槽中完成，并且在至少从预处理步骤到镀敷处理的化学镀槽及电镀槽之一中完成。
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公开(公告)号：CN108130587A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201810114426.8
申请日：2018-02-05
申请人： 西南石油大学
摘要： 本发明涉及一种超临界CO2条件下的可视化电镀装置及方法。实验装置由供电系统、温控系统、供气系统、高压反应系统、数据采集系统五部分组成。在超临界状态和电磁搅拌的作用下电镀液和CO2流体形成微乳液体系，利用该微乳液体系进行电镀，会大大提高镀层的各项物理性能和机械性能。将蓝宝石玻璃管作为高压反应容器，利用高速摄像可以实现对电镀实验过程中的流体间的相互作用、微乳液体系的形成条件、电极表面的反应等现象的实时监测。
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公开(公告)号：CN107699928A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201611090758.4
申请日：2016-12-01
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
CPC分类号： C25D3/66 , C25D5/003 , C25D17/004
摘要： 本发明公开了一种黑铼涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、熔盐氯化：在惰性气体保护下，将CsCl加热至熔融状态后，加入K2ReCl6，得到含K2ReCl6的熔盐，向含K2ReCl6的熔盐中通入氯气进行氯化处理，冷却后得到氯化后的熔盐；S2、电镀：在惰性气体保护下加热步骤S1所得氯化后的熔盐至熔融状态，将镀件基体浸入熔融状态的氯化后的熔盐中，以熔融状态的氯化后的熔盐为镀液，以镀件基体为阴极，以惰性电极为阳极，通电后进行电镀，在镀件基体上得到黑铼涂层。本发明的制备方法成本低、沉积速度快，制得的黑铼涂层均匀性好。
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公开(公告)号：CN105308221B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201480033957.4
申请日：2014-06-06
CPC分类号： C25D5/08 , C25D5/003 , C25D7/00 , C25D7/04 , C25D17/004 , C25D17/02 , C25D17/06 , C25D17/08 , C25D17/12
摘要： 本发明提供一种保持装置，该保持装置能够对多种工件进行保持，并且能够可靠地防止液槽内的液体的漏泄。保持装置(40)具备保持部件(41)，其在保持室(45)内对跨及流动有电镀液(液体)的液槽和与该液槽连通的保持室(45)而配置的被镀物(工件)(1)进行保持。保持部件(41)具有多个抵接部(43)，所述抵接部(43)由具有耐化学性的海绵板(弹性体)(46)构成，且无缝地抵接在被镀物(工件)(1)的同一外周面上并对被镀物(工件)(1)进行夹持，所述保持装置具备加压装置(50)，所述加压装置(50)在被镀物(工件)(1)已被保持部件(41)夹持的状态下，送入空气而对保持室(45)内进行加压。
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公开(公告)号：CN106498459A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610955633.7
申请日：2016-11-03
申请人： 华北水利水电大学
摘要： 一种电沉积钛方法，以待镀金属为阴极，以单质钛为阳极，以每1000mL水中加入硫酸钛0.146~0.208 moL、硫酸钠0.07~0.176 moL、钒酸盐0.003~0.008 moL、硫酸0.736~1.288moL、表面活性剂10~25 g配制为电镀液，设置电流、电压，实施电沉积钛。本发明提供的电沉积钛方法，具有加工速率快、实施时间短、成形效率高等优点，操作简单方便，突破了传统电沉积钛方法的瓶颈，为新形态的薄膜镀层提供了一种新的绿色制造方法，为带镀层材料的制造生产提供一种新的技术途径。
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