外延硅晶片
    3.
    发明公开
    外延硅晶片 审中-实审

    公开(公告)号:CN107849731A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680043772.0

    申请日:2016-07-06

    IPC分类号: C30B29/06 H01L21/20

    摘要: 本发明提供一种外延硅晶片,其即使在通过器件工序中的任意的热处理而使氧析出物生长的情况下,也能够抑制硅基板中的硼的加速扩散。解决手段在于:外延硅晶片(10)具备掺杂有硼的硅基板(11)与形成于硅基板(11)的表面的外延层(13),硅基板中的硼浓度为2.7×1017个原子/cm3以上且1.3×1019个原子/cm3以下,硅基板中的初始氧浓度为11×1017个原子/cm3以下。该外延硅晶片(10)在实施了依次进行例如在700℃下的3小时的热处理与在1000℃下的16小时的热处理的氧析出物评价热处理的情况下,硅基板(11)中的氧析出物密度为1×1010个/cm3以下。

    基区Ge组分分段分布的SiGe/Si异质结光敏晶体管探测器

    公开(公告)号:CN107302037A

    公开(公告)日:2017-10-27

    申请号:CN201710436742.2

    申请日:2017-06-12

    摘要: 基区Ge组分分段分布的SiGe/Si异质结光敏晶体管探测器是一种兼顾可见光和近红外光波段的探测器。该探测器包括Si衬底;在Si衬底上依次制备出的Si次集电区、Si集电区、Ge组份分段分布的SiGe基区/吸收层和多晶Si发射区;多晶Si发射区上的发射极;SiGe基区上的基极;Si亚集电区上的集电极。光窗口设计在基区台面,避免了光窗口在发射区台面时对入射光的损耗。因为不同Ge组份的SiGe材料对可见光波段和近红外光波段入射光的吸收系数和吸收长度不同,采用了Ge组份分段分布的基区/吸收层可以分别对应吸收波长短的可见光和波长长的近红外光,均衡可见光和近红外光波段内的吸收效率。

    晶体硅及其制备方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105762206A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610221223.X

    申请日:2016-04-11

    IPC分类号: H01L31/0288 H01L31/18

    摘要: 本发明的晶体硅材料包括硅、镓及元素X,所述元素X的浓度为1010~1016原子/立方厘米。利用如上所述的晶体硅制造的太阳能电池,转换效率大于20%。本发明还提供如上所述的晶体硅的制备方法。本发明的晶体硅材料利用镓元素替代现有的P型晶体硅中的硼元素,可以避免硼氧复合体的生成,从而降低光致衰减作用。并且,掺杂的元素X通过下转换作用,能够有效的提高硅材料对紫外波段光的利用率,利用该晶体制得的太阳能电池显著提高了转换效率。

    一种太阳能电池的制备方法及由该方法制备的太阳能电池

    公开(公告)号:CN105552170A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201610065201.9

    申请日:2016-01-29

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/0288

    摘要: 本发明涉及一种太阳能电池的制备方法及由该方法制备的太阳能电池,该方法包括按照质量比为1:(0.5-10),将掺硼硅片放入质量分数为1-5%的卤化稀土的溶液中,在密闭的反应釜中150-300摄氏度下进行浸渍反应12-120小时,得到掺硼和稀土的硅片;将所述掺硼和稀土的硅片在650-850℃摄氏度下进行磷扩散1-12小时,得到掺稀土的PN结硅片;将所述掺稀土的PN结硅片与银电极的正电极、银电极的负电极构成背接触太阳能电池。本发明太阳能电池的光电转化效率为14-24%。