-
公开(公告)号：CN107343351A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710252418.5
申请日：2017-04-18
申请人： 波音公司
发明人： D·尼基奇
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H1/24 , H05H2001/2412 , H05H1/26 , H05H1/0037
摘要： 用于等离子体射流产生的半导体微空心阴极放电器件。一种微空心阴极放电器件(100)。该器件(100)包括包含第一电极的第一电极层(102)。在所述第一电极层(102)中设置孔(110)。该器件(100)还包括电介质层(104)，所述电介质层(104)具有设置在所述第一电极层(102)上的第一表面。孔(110)从第一电极层(102)延续贯穿电介质层(104)。该器件还包括半导体层(106)，所述半导体层(106)设置在电介质层(104)的与第一表面相反的第二表面上。半导体层(106)是半导体材料，所述半导体材料横跨孔(110)，使得所述孔(110)终止于半导体层(106)。该器件还包括第二电极层(108)，所述第二电极层(108)与电介质层(104)相反地设置在半导体层(106)上。
-
公开(公告)号：CN104396350B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201380033580.8
申请日：2013-03-19
申请人： 株式会社村田制作所 , 国立大学法人京都大学
CPC分类号： C04B35/645 , B01J3/00 , B22F3/10 , B22F3/14 , B22F2203/11 , B22F2999/00 , B30B11/00 , B30B15/02 , C04B35/4682 , C04B2235/602 , C04B2235/666 , C04B2235/667 , C04B2235/77 , H05H1/0037 , H05H1/0043 , H05H1/48 , H05H2277/00 , B22F3/003
摘要： 放电等离子加工装置(101)具备：作为对被加工物(5)加压的加压部的冲头(2a、2b)；作为用于对被加工物(5)施加脉冲电流的脉冲电流施加部的直流脉冲电流发生器(6)；作为用于检测通过脉冲电流的施加而产生的等离子的光的光谱的检测部的分光器(10)；和用于根据检测部的检测结果来控制脉冲电流的控制部(12)。
-
公开(公告)号：CN105190830A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480007759.0
申请日：2014-03-13
申请人： 赛默电子制造有限公司
发明人： S·哈特维尔
CPC分类号： H01J37/244 , G01J3/443 , G01J2003/4435 , H01J27/16 , H01J37/08 , H01J37/32972 , H01J37/3299 , H01J49/105 , H01J49/26 , H05H1/0037
摘要： 一种用于控制光学发射光谱法或质谱法用电感耦合等离子体或微波诱导等离子体的温度的方法和装置，其中测量由该等离子体发射的两条辐射光谱线的强度，并且调整所提供的用于维持该等离子体的功率以使得这些强度的比率保持基本上恒定。
-
公开(公告)号：CN107064753A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710179571.X
申请日：2017-03-23
申请人： 西南交通大学
CPC分类号： G01R31/1218 , H05H1/0037
摘要： 本发明公开了一种弓网电弧等离子体多参数获取方法和装置，包括电弧光谱采集装置、电气参数测量装置、物理参数测量装置、数字延迟发生器；受电弓滑板与接触网导线与电气参数测量装置和物理参数测量装置相连；数据采集卡、直线位移传感器与电弧光谱采集装置由数字延迟发生器进行触发；本发明具有装置简单，无干扰等优点，能更为准确地测量等离子体内部参数。通过实时同步采集弓网电弧发射光谱、电压电流和间隙距离等多项电弧参数，完善反映弓网电弧等离子体烧蚀状态。
-
公开(公告)号：CN104396350A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033580.8
申请日：2013-03-19
申请人： 株式会社村田制作所 , 国立大学法人京都大学
CPC分类号： C04B35/645 , B01J3/00 , B22F3/10 , B22F3/14 , B22F2203/11 , B22F2999/00 , B30B11/00 , B30B15/02 , C04B35/4682 , C04B2235/602 , C04B2235/666 , C04B2235/667 , C04B2235/77 , H05H1/0037 , H05H1/0043 , H05H1/48 , H05H2277/00 , B22F3/003
摘要： 放电等离子加工装置(101)具备：作为对被加工物(5)加压的加压部的冲头(2a、2b)；作为用于对被加工物(5)施加脉冲电流的脉冲电流施加部的直流脉冲电流发生器(6)；作为用于检测通过脉冲电流的施加而产生的等离子的光的光谱的检测部的分光器(10)；和用于根据检测部的检测结果来控制脉冲电流的控制部(12)。
-
公开(公告)号：CN102282654B
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN200980154428.9
申请日：2009-11-20
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01L21/3065 , G01N21/66 , G01N21/71 , H05H1/00
CPC分类号： G01N21/68 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H05H1/0037
摘要： 本发明提供一种无需设定物质、化学反应的信息，而可以从大量的波长下的波形，选定代表性的少数的波长，可以削减花费大量的工时的蚀刻数据的解析，而高效地进行蚀刻的监视/测定的设定的蚀刻装置。在蚀刻装置中，具备：按批量晶片阶段的OES数据检索/取得功能(511)，取得多个沿着蚀刻处理时间轴的发光强度波形；波形变化有无判定功能(521)，判定在多个发光强度波形中有无变化；波形相关矩阵计算功能(522)，计算发光强度波形间的相关矩阵；波形分类功能(523)，将发光强度波形分类为组；代表波形选定功能(524)，从组选定代表性的发光强度波形。
-
公开(公告)号：CN102282654A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200980154428.9
申请日：2009-11-20
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01L21/3065 , G01N21/66 , G01N21/71 , H05H1/00
CPC分类号： G01N21/68 , H01J37/32935 , H01J37/32972 , H05H1/0037
摘要： 本发明提供一种无需设定物质、化学反应的信息，而可以从大量的波长下的波形，选定代表性的少数的波长，可以削减花费大量的工时的蚀刻数据的解析，而高效地进行蚀刻的监视/测定的设定的蚀刻装置。在蚀刻装置中，具备：按批量晶片阶段的OES数据检索/取得功能(511)，取得多个沿着蚀刻处理时间轴的发光强度波形；波形变化有无判定功能(521)，判定在多个发光强度波形中有无变化；波形相关矩阵计算功能(522)，计算发光强度波形间的相关矩阵；波形分类功能(523)，将发光强度波形分类为组；代表波形选定功能(524)，从组选定代表性的发光强度波形。
-
公开(公告)号：CN101289736B
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200810093059.4
申请日：2008-04-16
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： G01L11/02 , C23C14/0042 , H05H1/0037
摘要： 简便地测量真空腔室内部的分压分布的分压测量方法及分压测量装置包括：移动步骤，使真空腔室内具有的测量专用的局部等离子源(9)移动到测量部位；以及测量步骤，经由设在真空腔室的壁部上的供光通过的窗，受光来自局部等离子源产生的等离子的发光，通过分光测量所受光的发光的发光强度，测量真空腔室内的分压分布。
-
公开(公告)号：CN105979689A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610022314.0
申请日：2016-01-12
申请人： 中国科学院等离子体物理研究所
IPC分类号： H05H1/00
CPC分类号： H05H1/0037
摘要： 本发明公开了一种适用于EAST边界汤姆逊散射诊断的光学定位系统，包括设置在EAST装置汤姆逊散射诊断信号收集窗窗体内部的信号收集透镜、信号收集光纤阵列、光纤位置定位系统，其中光纤位置定位系统沿前后水平方向整体设置在汤姆逊散射诊断信号收集窗窗体内位于窗口下方，光纤位置定位系统中靶板连接轴前端伸入EAST装置真空室内并垂直装配有光学靶板，光学靶板向上延伸至位于汤姆逊散射诊断信号收集窗窗口后方，信号收集透镜、信号收集光纤阵列依次位于窗口正前方。
-
公开(公告)号：CN105960086A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610418300.0
申请日：2016-06-12
申请人： 中国科学院等离子体物理研究所
IPC分类号： H05H1/00
CPC分类号： H05H1/0037
摘要： 本发明公开了一种短脉冲激光汤姆逊散射信号光斑同步对准装置及方法，以实现光斑位置高精度同步监测。从信号接收光纤束阵列中选取两个位置，将其光纤接收端面均分为左右两束，其长度相差10米，把短脉冲信号错开约50ns传入原有光谱仪及APD探测器，经高频采集系统获取数据后，对两个脉冲信号分析计算，其信号强度的比值用于分析光纤端面的实时偏移量，然后通过控制系统调节三维光纤支架，消除偏移量，提高系统精度。两个脉冲信号叠加后的光谱形状和强度分别用于计算电子温度和密度。本发明方法通过本发明装置直接、精确探测信号接收光纤端面和散射光斑的相对位置，适用于激光汤姆逊散射等短脉冲信号收集。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
15 条记录 (耗时 0.016 秒)
