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    STRETCHABLE ELECTRODE, SENSOR SHEET AND CAPACITIVE SENSOR
    2.
    发明公开
    STRETCHABLE ELECTRODE, SENSOR SHEET AND CAPACITIVE SENSOR 审中-公开
    DEHNBARE ELEKTRODE，SENSORFOLIE UND KAPAZITIVER传感器

    公开(公告)号：EP3076402A4

    公开(公告)日：2017-08-23

    申请号：EP14866289

    申请日：2014-11-17

    申请人： BANDO CHEMICAL IND

    发明人： NORISADA HIDEKI ,  OTAKA HIDEO

    IPC分类号： H01B5/14 ,  G01B7/16 ,  G01L1/14 ,  H01G11/36

    CPC分类号： G01B7/22 ,  G01L1/146 ,  H01G5/011 ,  H01G11/36 ,  Y02E60/13

    摘要： Provided is a stretchable electrode which has excellent flexibility, stretchability and electrical conductivity and is capable of suppressing increase of the electric resistance in being elongated and the occurrence of variation in the electric resistance during repeated stretching and contracting. The stretchable electrode of the present invention comprises a base formed of an elastomer composition and an electrode main body integrated with the base, wherein the electrode main body is formed using multi-walled carbon nanotubes having a fiber length of 50 µm or more.

    摘要翻译： 本发明提供柔软性，拉伸性和导电性优异，且能够抑制拉伸时的电阻增加，反复拉伸收缩时的电阻变动的发生的伸缩性电极。 本发明的可拉伸电极包括由弹性体组合物形成的基体和与基体成一体的电极主体，其中电极主体由具有50μm或更大的纤维长度的多壁碳纳米管形成。

    MEMS DIGITAL VARIABLE CAPACITOR DESIGN WITH HIGH LINEARITY
    3.
    发明公开
    MEMS DIGITAL VARIABLE CAPACITOR DESIGN WITH HIGH LINEARITY 审中-公开
    数字变压器MEMS-KONDENSATOR MIT HOHERLINEARITÄT

    公开(公告)号：EP2981981A1

    公开(公告)日：2016-02-10

    申请号：EP14724902.3

    申请日：2014-04-02

    申请人： Cavendish Kinetics Inc.

    发明人： KNIPE, Richard, L. ,  VAN KAMPEN, Robertus, Petrus

    IPC分类号： H01G5/16 ,  H01H59/00 ,  H01G5/18

    CPC分类号： H01G5/18 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0221 ,  H01G5/011 ,  H01G5/0136 ,  H01G5/16 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0072

    摘要： The present invention generally relates to a MEMS DVC and a method for fabrication thereof. The MEMS DVC comprises a plate movable from a position spaced a first distance from an RF electrode and a second position spaced a second distance from the RF electrode that is less than the first distance. When in the second position, the plate is spaced from the RF electrode by a dielectric layer that has an RF plateau over the RF electrode. One or more secondary landing contacts and one or more plate bend contacts may be present as well to ensure that the plate obtains a good contact with the RF plateau and a consistent Cmax value can be obtained. On the figure PB contact is the plate bend contact, SL contact is the Second Landing contact and the PD electrode is the Pull Down electrode.

    摘要翻译： 本发明一般涉及一种MEMS DVC及其制造方法。 MEMS DVC包括可从距离RF电极间隔第一距离的位置移动的板和距离RF电极间隔第二距离的第二位置小于第一距离的板。 当处于第二位置时，板通过在RF电极上具有RF平台的电介质层与RF电极间隔开。 也可以存在一个或多个次级着陆触点和一个或多个板弯曲触点，以确保板获得与RF平台的良好接触，并且可以获得一致的C max值。 在图中，PB接触是板弯接触，SL接触是第二着陆接触，PD电极是下拉电极。

    VARIABLE ROTATING CAPACITOR FOR SYNCHROCYCLOTRON
    7.
    发明公开
    VARIABLE ROTATING CAPACITOR FOR SYNCHROCYCLOTRON 有权
    同步回旋加速器包括旋转可变电容器

    公开(公告)号：EP2668832A1

    公开(公告)日：2013-12-04

    申请号：EP12700714.4

    申请日：2012-01-25

    申请人： Ion Beam Applications

    发明人： ABS, Michel

    IPC分类号： H05H7/02 ,  H05H13/02 ,  H01G5/04 ,  H01G5/12

    CPC分类号： H01G5/40 ,  H01G5/011 ,  H01G5/06 ,  H01G5/12 ,  H05H7/02 ,  H05H13/02

    摘要： A variable rotating capacitor or RotCo (5) that is adapted to be connected via a transmission line (3) to the dee (2) of a synchrocyclotron (1) so as to adjust a resonant frequency of the synchrocyclotron as a function of time and which comprises a cylindrical rotor 0 and a cylindrical stator 20 that are coaxial with the Z axis. The rotor comprises a plurality of circumferentially- distributed rotor electrodes (11) extending parallel to its rotation axis Z. The stator comprises a plurality of circumferentially- distributed stator electrodes (21) extending parallel to the rotation axis Z. Each stator electrode (21) consists of a single metal plate and all said plates are distributed over one and the same stator circumference (25). This makes it possible for the RF currents in the electrodes to be better distributed and thus reduces the local overheating. The present invention also relates to a synchrocyclotron comprising such a RotCo..

    MEMS ELECTROSTATIC ACTUATOR
    9.
    发明公开
    MEMS ELECTROSTATIC ACTUATOR 审中-公开
    ELEKTROSTATISCHER MEMS-AKTUATOR

    公开(公告)号：EP2406172A1

    公开(公告)日：2012-01-18

    申请号：EP10710672.6

    申请日：2010-03-10

    申请人： NXP B.V.

    发明人： REIMANN, Klaus ,  ROEST, Aarnoud, Laurens ,  LIU, Jin

    IPC分类号： B81B3/00 ,  H01G5/16 ,  H01H1/00 ,  H01G5/011

    CPC分类号： H01G5/0136 ,  H01G5/011 ,  H01G5/16

    摘要： A MEMS electrostatic actuator comprises first and second opposing electrode arrangements, wherein at least one of the electrode arrangements is movable. A dielectric material (24) is adjacent the one of the electrode arrangements (22). The second electrode arrangement is patterned such that it includes electrode areas (26) and spaces adjacent the electrode areas, wherein the dielectric material (24) extends at least partially in or over the spaces. The invention uses a multitude of electrode portions as one plate. The electric field lines thus form clusters between the individual electrode portions and the opposing electrode. This arrangement provides an extended range of continuous actuation and tunability.

    摘要翻译： MEMS静电致动器包括第一和第二相对电极布置，其中至少一个电极布置是可移动的。 电介质材料（24）与电极装置（22）中的一个相邻。 第二电极布置被图案化，使得其包括电极区域（26）和邻近电极区域的空间，其中电介质材料（24）至少部分地延伸到空间中或上方。 本发明使用多个电极部分作为一个板。 因此，电场线在各个电极部分和相对电极之间形成簇。 这种布置提供了连续致动和可调性的延伸范围。

    Mise en forme d'une couche sacrificielle pour realiser un element suspendu
    10.
    发明公开
    Mise en forme d'une couche sacrificielle pour realiser un element suspendu 审中-公开
    成分einer Opferschicht，um einaufgehängtes元素herzustellen

    公开(公告)号：EP1900679A1

    公开(公告)日：2008-03-19

    申请号：EP07116290.3

    申请日：2007-09-13

    申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    发明人： Casset, Fabrice ,  Soulimane, Sofian

    IPC分类号： B81B3/00 ,  H01G5/16

    CPC分类号： B81C1/00158 ,  B81B2203/0109 ,  B81C1/00103 ,  B81C2201/0108 ,  H01G5/011 ,  H01G5/18

    摘要： L'invention concerne un procédé de réalisation d'une couche sacrificielle, comprenant les étapes de :
    - lithographie d'une résine déposée sur un substrat pour fournir un motif de résine lithographiée sur une zone de substrat, la zone ayant une taille donnée et une forme donnée, le motif occupant un volume donné,
    - recuit selon un cycle thermique du motif de résine lithographiée,
    le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend, en fonction de la résine, la détermination de la taille et de la forme de ladite zone du substrat, et la détermination du volume de la résine déposée sur ladite zone pour que le cycle thermique de recuit fournisse un profil choisi parmi l'un des profils suivants : un profil bombé planarisant et un profil en « double air gap ».

    摘要翻译： 该方法包括基于热循环退火光刻树脂图案。 基于树脂确定硅衬底（20）的区域的尺寸和形状。 确定沉积在区域上的树脂的体积，使得热循环提供选自平坦化膨胀和双气隙部分中的部分，其中该部分具有用作支撑物的牺牲层以形成悬浮元件，例如， 可变电容器。 尺寸，形状和体积由元件的共振频率的定界确定，以限定将元件与区域分开的间隔。