Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauteils, insbesondere zur Verwendung als ein Sensor, mit den folgenden Schritten: a) Bereitstellen eines Grundmaterials; b) Anordnen einer Opferschicht, welche eine vorbestimmte Dicke aufweist, auf das Grundmaterial; c) Anordnen eines Sensor-Elements oberhalb der Opferschicht; d) zumindest abschnittsweises seitliches Anbringen eines Dämpfungsmaterials an den Aufbau bestehend aus Opferschicht und Sensor-Element, ausgehend von dem Grundmaterial bis zumindest einer vorbestimmten Höhe des Sensor-Elements; und e) Entfernen der Opferschicht, wodurch das Sensor-Element nach dem Entfernen der Opferschicht von dem Grundmaterial getrennt ist, und das Sensor-Element mit Hilfe des Dämpfungsmaterials eine vibrations- und thermomechanische Entkopplung von dem Grundmaterial aufweist.
Abstract:
A pressure sensor comprises a first substrate (1) and a cap (4) attached to the first substrate (1). The cap (4) includes a processing circuit (241), a cavity (41) and a deformable membrane (42) separating the cavity (41) and a port open to an outside of the pressure sensor. Sensing means are provided for converting a response of the deformable membrane (42) to pressure at the port into a signal capable of being processed by the processing circuit (241). The cap (4) is attached to the first substrate (1) such that the deformable membrane (42) faces the first substrate (1) and such that a gap (6) is provided between the deformable membrane (42) and the first substrate (1) which gap (6) contributes to the port. The first substrate (1) comprises a support portion (7) the cap (4) is attached to, a contact portion (8) for electrically connecting the pressure sensor to an external device, and one or more suspension elements (9) for suspending the support portion (7) from the contact portion (8).
Abstract:
Ein Gegenkörper 10 aus Glas für eine Druckmesszelle mit einer Messmembran 10, und mindestens einem solchen Gegenkörper 20, wobei die Messmembran 20 bei einer betriebsbereiten Druckmesszelle mit mindestens einem solchen Gegenkörper druckdicht gefügt ist, weist einen planaren Randbereich zum Fügen mit der Messmembran auf, wobei der Randbereich eine vertiefte Kontur 21 umgibt, welche die Biegelinie der Messmembran 20 approximiert, um die Messmembran im Falle einer Überlast abzustützen, wobei die Oberfläche des Gegenkörpers eine Oberflächenrauheit R a
Abstract:
A device including a first substrate in which a functional element and an electrode are formed; a second substrate in which a through electrode is formed; a joining material that joins the first substrate and the second substrate while reserving a predetermined space between the functional element and the second substrate; and a conductive material that electrically connects the electrode to the through electrode. Here, the joining material is harder than the conductive material, and the joining material is electrically less conductive than the conductive material.
Abstract:
The invention relates to a component and to a method for producing a component. The component has a substrate (100) having a first cavity (112) and a second cavity (113), wherein a first micromechanical structure (117) is arranged in the first cavity (112) and a second micromechanical structure (118) is arranged in the second cavity (113). The first cavity (112) also has a first gas pressure and the second cavity (113) has a second gas pressure. In this case, the first gas pressure is provided by closing the first cavity (112), wherein a first channel (115) opens into the second cavity (113) and the second gas pressure can be adjusted via the first channel (115), wherein the second gas pressure is different from the first gas pressure.
Abstract:
The invention relates to a miniaturised sensor (1) comprising a heating element, and to an associated production method. Said sensor (1) comprises a substrate (2), a cavity (20) and a heat-insulating structure (4) suspended above the cavity (20) by means of areas (31, 32) connecting to the substrate (2). The invention is characterised in that the heat-insulating structure (4) comprises at least two bridges (33, 34) extending above the cavity (20), the heating element being supported by said bridges (33, 34), extending transversely thereto.