Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe
    13.
    发明公开
    Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe 审中-公开
    测量激发态寿命的样品中的方法

    公开(公告)号:EP2592413A3

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:EP12191584.7

    申请日:2012-11-07

    CPC classification number: G01N21/6408 G01N21/6458 G01N2201/0697 G01N2201/12

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe, insbesondere einer Fluoreszenzlebensdauer, sowie eine Vorrichtung zum Ausführen eines solchen Verfahrens. Zunächst erfolgen das Erzeugen eines Anregungslichtpulses (8) und das Beleuchten eines Probenbereichs mit dem Anregungslichtpuls. Anschließend wird eine erste digitale Datenfolge (25) erzeugt, die den zeitlichen Lichtleistungsverlauf des Anregungslichtpulses repräsentiert und ein erster Schaltzeitpunkt (27) aus der ersten digitalen Datenfolge ermittelt. Außerdem wird das von dem Probenbereich ausgehende Detektionslicht (18) mit einem Detektor (20) detektiert und eine zweite digitale Datenfolge (26) erzeugt, die den zeitlichen Lichtleistungsverlauf des Detektionslichtes repräsentiert, sowie ein zweiter Schaltzeitpunkt (28) aus der zweiten digitalen Datenfolge ermittelt. Schließlich erfolgt das Berechnen der zeitlichen Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Schaltzeitpunkt.

    Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe

    公开(公告)号:EP2592413A2

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:EP12191584.7

    申请日:2012-11-07

    CPC classification number: G01N21/6408 G01N21/6458 G01N2201/0697 G01N2201/12

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe, insbesondere einer Fluoreszenzlebensdauer, sowie eine Vorrichtung zum Ausführen eines solchen Verfahrens. Zunächst erfolgen das Erzeugen eines Anregungslichtpulses (8) und das Beleuchten eines Probenbereichs mit dem Anregungslichtpuls. Anschließend wird eine erste digitale Datenfolge (25) erzeugt, die den zeitlichen Lichtleistungsverlauf des Anregungslichtpulses repräsentiert und ein erster Schaltzeitpunkt (27) aus der ersten digitalen Datenfolge ermittelt. Außerdem wird das von dem Probenbereich ausgehende Detektionslicht (18) mit einem Detektor (20) detektiert und eine zweite digitale Datenfolge (26) erzeugt, die den zeitlichen Lichtleistungsverlauf des Detektionslichtes repräsentiert, sowie ein zweiter Schaltzeitpunkt (28) aus der zweiten digitalen Datenfolge ermittelt. Schließlich erfolgt das Berechnen der zeitlichen Differenz zwischen dem ersten und dem zweiten Schaltzeitpunkt.

    Abstract translation: 该方法包括用激发脉冲照射样品区域。 产生数字数据序列,其中序列代表脉冲的功率 - 时间曲线。 根据序列确定切换时刻。 通过检测器(20)检测从该区域发出的检测光(18)。 产生另一个数字数据序列,其中后一个序列代表检测光的功率 - 时间曲线。 从后一个序列确定另一个切换时刻,并且计算两个切换时刻之间的时间差。 还包括用于测量样品中的激发态的寿命的装置的独立权利要求。

    Nonlinear optical device, multiphoton microscope, and endoscope
    15.
    发明公开
    Nonlinear optical device, multiphoton microscope, and endoscope 审中-公开
    Nichtlineare optische Vorrichtung,Multiphotonenmikroskop und Endoskop

    公开(公告)号:EP2500714A2

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:EP12001806.4

    申请日:2012-03-16

    Abstract: Provided is a nonlinear optical device capable of alleviating, without the need for a complicated compensation mechanism, temporal broadening and the waveform distortion resulting from a group-velocity dispersion slope, to thereby irradiate an object with short optical pulses having high peak power. The nonlinear optical device includes a short optical pulse source (10) for generating short optical pulses and a short optical pulse delivery system (20) for delivering the short optical pulses generated from the short optical pulse source to an object, in which there is generated substantially no nonlinear optical effect and there is substantially no amount of group-velocity dispersion, the short optical pulse source generates short optical pulses, and the short optical pulses have a spectral width (full width at half maximum) λ FWHM satisfying λ 1 λ FWHM 2 .

    Abstract translation: 本发明提供一种非线性光学装置,能够不需要复杂的补偿机制来缓和由时间变宽和由群速度色散斜率引起的波形失真,从而以具有高峰值功率的短光脉冲照射物体。 非线性光学装置包括用于产生短光脉冲的短光脉冲源(10)和用于将由短光脉冲源产生的短光脉冲输送到物体的短光脉冲输送系统(20),其中产生 基本上没有非线性光学效应,并且基本上没有数量的群速度色散,短光脉冲源产生短光脉冲,短光脉冲具有光谱宽度(半峰全宽)»FWHM满足»1 <» FWHM <»2。

    Wafer inspection using short-pulsed continuous broadband illumination
    16.
    发明公开
    Wafer inspection using short-pulsed continuous broadband illumination 审中-公开
    使用短脉冲连续宽带照射半导体晶片的检查

    公开(公告)号:EP1860428A3

    公开(公告)日:2007-12-12

    申请号:EP07252110.7

    申请日:2007-05-23

    Applicant: Negevtech Ltd.

    Abstract: An inspection system may be configured to inspect objects, such as semiconductor wafers, using narrow-pulse broadband illumination. The illumination may be obtained in some embodiments using a laser configured to emit light into a material having a spectral broadening effect. The inspection system can include various filters which may be selectively placed in the illumination and/or imaging path in order to tune the spectrum of light impinging on the wafer and the light that is detected. The filters may include selectable filters, fixed filters, and filters whose characteristics can be adjusted in-place. In some embodiments, filters may be used to match the illumination/detection spectra of different tools. Additionally, the broadband illumination may be tuned between inspections and/or during inspections for best results. The system may support Fourier filtering whereby light, related to repetitive features of the object and in one or more wavelength sub-bands of the illumination, may be filtered.

    Method and apparatus for improving the signal to noise ratio of an image formed of an object hidden or behind a semi-opaque random media
    19.
    发明公开
    Method and apparatus for improving the signal to noise ratio of an image formed of an object hidden or behind a semi-opaque random media 失效
    用于提高信号中之一的图像形成噪声比,在一个半透明介质,藏体的方法和装置。

    公开(公告)号:EP0446028A2

    公开(公告)日:1991-09-11

    申请号:EP91301848.7

    申请日:1991-03-06

    Abstract: The quality of image of an object (10) hidden inside a highly scattering semi-opaque disordered medium (11) is improved by using space gate imaging or time gate imaging or space time gate imaging. In space gate imaging, a small segment of the object is illuminated at a time. The scattered light is passed through a spatial noise filter (12). On the image plane, an aperture (17) is open at the position of the image segment which correspond to the segment of the illuminated object. A full image is obtained by scanning the object segment by segment and simultaneously recording the signal at the corresponding image segment. In time gate imaging, the unscattered (i.e. ballistic) portion of the pulse which contains the information of the image is temporally separated from the other (i.e. scattered) portions which contains the noise using a ultrafast laser pulse and temporal gating devices. The technique is in space-time gate imaging, the two techniques are combined to produce an image with a much higher signal to noise ratio. The time separation between the ballistic and scattered light may be increased by increasing thickness of random medium or by introducing small scatters into the random medium so as to make the medium more random. The signal to noise ratio can also be increased by making the random medium less random (so that there will be less scattered light). In addition, the signal to noise ratio can be increased by introducing an absorbing dye into the medium or by using a wavelength for the light which is in the absorption spectrum of the random medium or by making the medium more ordered (i.e. less random).

    Abstract translation: 隐藏在高散射半透明无序介质内的物体的图像的质量是通过使用spacegate成像或时间门成像或时空栅极成像改善。 在spacegate成像,该对象的一小部分在一个时间被照亮。 的散射光通过空间噪声过滤器。 上在孔的图像平面是在图像片段对应于被照射体的片段的位置开放。 一个完整的图像被通过扫描由段对象段和同时记录在相应图像片段的信号获得。 在时间门成像,脉冲的未散射(即弹道)部分,其包含的图像的信息在时间上与其它分离(即散射),其包含使用超快激光脉冲和时间选通装置的噪声部分。 该技术是在空间 - 时间门成像,这两种技术相结合,与高得多的信噪比以产生图像。 弹道和散射光之间的时间间隔可以通过增加随机介质的厚度或通过引入小散射到随机介质,以便使介质更随机地增加。 噪比的信号可以因此通过使随机介质较少随机的(从而thatthere会少散射光)来增加。 此外,信噪比可以通过在吸收染料进入介质引入或通过使用波长为轻所有这是在随机介质的吸收光谱或通过使更有序的(即随机的)的介质而增加。

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