公开(公告)号：EP0603835A1

公开(公告)日：1994-06-29

申请号：EP93120632.0

申请日：1993-12-21

Applicant: NEC CORPORATION

Inventor： Ohya, Kazumasa, c/o NEC Corporation ,  Hamada, Kiyotaka, c/o NEC Corporation ,  Inoi, Takayuki, c/o NEC Corporation

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/04

CPC classification number: H01L41/04 ,  H01L41/083

Abstract: Strain gages (81, 82, 83) are adhered to protective layers (31, 32) and an active portion (2) of a laminated-structure (10) of the piezoelectric actuator, respectively. Since it is possible to measure a total amount of displacement of the protective layers (31, 32) and the active portion (2), the measured amount of displacement of the laminated structure (10) is accurate even if there are difference in strain due to temperature and stress between them. The same effect can be obtained for such actuator whose laminated structure (10) further includes any member such as temperature compensating member (19) of metal whose elastic modulus is different from that of the laminated structure.

Abstract translation: 应变片（81,82,83）分别粘附到压电致动器的层压结构（10）的保护层（31,32）和有源部分（2）。 由于可以测量保护层（31,32）和有效部分（2）的总位移量，所以层压结构（10）的测量的位移量即使应变差异也是准确的 对它们之间的温度和压力。 对于这种具有层压结构（10）还包括诸如弹性模量不同于层压结构的金属的温度补偿构件（19）的任何构件的致动器，可以获得相同的效果。

公开(公告)号：EP0587192A1

公开(公告)日：1994-03-16

申请号：EP93115068.4

申请日：1989-07-04

Applicant: FUJITSU LIMITED

Inventor： Yano, Akio

IPC: B41J2/295

CPC classification number: H01L41/04 ,  B41J2/295 ,  H01L41/083 ,  H02N2/043

Abstract: An electro-distortion device used, for example, as an actuator in a dot matrix printing head includes a stack of laminations (21) made of an electro-distortion material such as a piezo-electric ceramic material, with respective electrodes (22) sandwiched between successive laminations, such that the application of an electrical potential difference across the or each lamination brings about a change in the extent of the stack, along its stacking axis. In order that short circuiting between respective electrodes is prevented, the electrodes and the laminations are surrounded by an insulating material (23) such as an epoxy resin, which is in turn preferably encased in metal (31).

Abstract translation: 例如，用作点阵式打印头中的致动器的电 - 失真装置包括由诸如压电陶瓷材料的电变形材料制成的叠片（21），其中各个电极（22）夹在 在连续层叠之间，使得跨过或每个层压的电势差的施加导致堆叠沿其堆叠轴线的范围的变化。 为了防止各电极之间的短路，电极和叠片被诸如环氧树脂的绝缘材料（23）包围，环氧树脂又被优选地包裹在金属（31）中。

公开(公告)号：EP3309599A1

公开(公告)日：2018-04-18

申请号：EP17196077.6

申请日：2017-10-12

Applicant: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Inventor： DURAND, Gilles

IPC: G02B26/08 ,  H01L41/04 ,  H01L41/09

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B7/1815 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0825 ,  G02B27/0025 ,  H01L41/04 ,  H01L41/042 ,  H01L41/0973

Abstract: Un aspect de l'invention concerne un procédé de correction des déformations de la surface d'un objet équipé d'un dispositif de correction des déformations, ledit dispositif de correction comportant une couche piézoélectrique comprenant une première surface et une deuxième surface, une première pluralité de pistes électriques disposée sur la première surface de la couche piézoélectrique, une deuxième pluralité de pistes électriques disposée sur la deuxième surface de la couche piézoélectrique, les pistes de la première pluralité formant une pluralité de lignes et les pistes de la deuxième pluralité formant une pluralité de colonnes, chaque colonne de la pluralité de colonnes étant perpendiculaires aux lignes de la pluralité de lignes, le croisement d'une ligne et d'une colonne formant un pixel. Le procédé selon l'invention comprend une première étape de mesure des déformations de la surface à corriger ; une deuxième étape d'identification des pixels nécessaires à la correction desdites déformations ; une troisième étape d'application pour chaque pixel identifié, par l'intermédiaire de la ligne et de la colonne correspondant audit pixel, d'un champ électrique supérieur au champ coercitif du matériau piézoélectrique de la couche piézoélectrique.

Abstract translation: 本发明的一个方面涉及校正配备有失真校正设备的对象的表面的变形的方法，所述校正装置，其包括，其包括第一表面和第二表面，第一多个压电体层 设置在压电层，第二多个设置在压电层的所述第二表面上的电迹线的第一表面上的电迹线，所述第一多个形成多条线的轨道和所述第二多个轨道形成多个 列，所述多个列中的每一列垂直于所述多条行的行，与形成像素的行和列交叉。 根据本发明的方法包括测量待校正的表面的变形的第一步骤; 识别校正所述变形所必需的像素的第二步骤; 通过对应于所述像素的线和列施加大于压电层的压电材料的矫顽磁场的电场的第三步骤。

公开(公告)号：EP3234544A1

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP15825927.5

申请日：2015-12-17

Applicant: Karlsruher Institut für Technologie

Inventor： PAUR, Hanns, Rudoll ,  MÜLHOPT, Sonja ,  SCHLAGER, Christoph

IPC: G01N1/22 ,  G01N15/06 ,  G01N15/00 ,  G01N5/02 ,  C12M1/26 ,  C12M1/12 ,  G01N33/00 ,  B01D45/08

CPC classification number: G01G7/06 ,  B01L99/00 ,  B01L2300/10 ,  B01L2300/16 ,  B01L2300/18 ,  G01N1/2208 ,  G01N5/02 ,  G01N15/0606 ,  G01N2015/0038 ,  G01N2015/0046 ,  G01N2015/0065 ,  H01L41/04

Abstract: A device for measuring superfine particle masses, comprising an exposure system having at least two measurement chambers (1) with identical geometries, each comprising a deposition surface (4) for particles with a respective aerosol supply (9) directed toward said deposition surface, the aerosol supply having an outlet region (17) for the supply of an aerosol onto the deposition surface, wherein at least one of the deposition surfaces is formed on a piezoelectric crystal (5) as superfine weighing scale, and means for generating a potential difference between the particles in the gas and the deposition surfaces, wherein a potential of at most 50 V relative to ground potential is applied to each of the deposition surfaces, a grate is arranged over each of the deposition surfaces, and a potential with a potential difference of at least 200 V in relation to the potential of the deposition surfaces is applied to each of the grates, wherein an electric field is generated between the grates and the respective deposition surfaces.

Abstract translation: 一种用于测量超细颗粒质量的装置，包括具有至少两个具有相同几何形状的测量室（1）的曝光系统，每个测量室包括用于颗粒的沉积表面（4），所述沉积表面具有指向所述沉积表面的相应气溶胶供应装置（9） 具有用于将气溶胶供应到所述沉积表面上的出口区域（17）的气溶胶供应装置，其中至少一个沉积表面形成在作为超细秤的压电晶体（5）上;以及用于产生 气体中的颗粒和沉积表面，其中相对于地电位至多50V的电势被施加到每个沉积表面上，格栅布置在每个沉积表面上方，并且具有电位差 相对于沉积表面的电势至少200V被施加到每个格栅，其中在格栅a之间产生电场 找到相应的沉积表面。

公开(公告)号：EP2700900B1

公开(公告)日：2017-07-12

申请号：EP11864001.0

申请日：2011-04-21

Applicant: Hitachi, Ltd.

Inventor： OTA Hiroyuki ,  ASHIDA Kisho ,  MIYAJIMA Kentaro

IPC: G01B7/16 ,  G01L1/22 ,  G01M5/00

CPC classification number: H01L41/04 ,  G01B7/18 ,  G01L1/2206 ,  G01L1/2293 ,  G01M5/0033 ,  G01M5/0083

公开(公告)号：EP2610860A3

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：EP12199703.5

申请日：2012-12-28

Applicant: Samsung Medison Co., Ltd.

Inventor： Seo, Min Seon ,  Kim, Ji Seon ,  Lee, Sung Jae

IPC: G10K11/00 ,  B06B1/06

CPC classification number: H01L41/0825 ,  A61B8/4494 ,  B06B1/0629 ,  B06B1/064 ,  G10K11/002 ,  H01L41/04 ,  H01L41/25 ,  Y10T29/42

Abstract: An ultrasound probe including a backing layer provided with grooves in which a piezoelectric member is allowed to be installed and a manufacturing method thereof. The ultrasound probe includes the piezoelectric member, and the backing layer disposed on a rear-side surface of the piezoelectric member and provided, on a front-side surface thereof, with grooves in which the piezoelectric member is installed.

公开(公告)号：EP3088723A1

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：EP16165743.2

申请日：2016-04-18

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： Junger, Dieter

IPC: F02M57/00 ,  H01L41/083 ,  H01L41/047 ,  H01L41/273 ,  G01L23/10 ,  H01L41/113 ,  H01L41/293

CPC classification number: F02M57/005 ,  F02M2200/247 ,  F02M2200/8084 ,  F02M2200/9007 ,  F02M2200/903 ,  F02M2200/9046 ,  F02M2200/9053 ,  F02M2200/9092 ,  G01L9/008 ,  G01L19/0084 ,  G01L19/143 ,  G01L23/10 ,  H01L41/04 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0536 ,  H01L41/1132

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Kraftstoffinjektor (10), insbesondere Common-Rail-Injektor, mit einem Injektorgehäuse (11), in dem ein Hochdruckraum (15) ausgebildet ist, der über eine im Injektorgehäuse (11) angeordnete Versorgungsbohrung (19) mit unter Druck stehendem Kraftstoff versorgbar ist, mit wenigstens einer zumindest mittelbar mit dem Hochdruckraum (15) verbundenen, im Injektorgehäuse (11) ausgebildeten Einspritzöffnung (12) zum Einspritzen von Kraftstoff in den Brennraum einer Brennkraftmaschine, mit einem die wenigstens eine Einspritzöffnung (12) freigebenden oder verschließenden Einspritzglied (16), und mit einer Messeinrichtung (30) zur zumindest mittelbaren Erfassung des Drucks im Hochdruckraum (15) oder der Versorgungsbohrung (19), wobei die Messeinrichtung (30) dazu ausgebildet ist, eine elastische Verformung eines zumindest mittelbar mit der Versorgungsbohrung (19) oder dem Hochdruckraum (15) in Wirkverbindung angeordneten Verformungsbereichs (27) zu erfassen, und wobei die Messeinrichtung (30) ein Piezoelement (41) aufweist, das in einem mit dem Injektorgehäuse (11) verbundenen Gehäuse (35) aufgenommen.

Abstract translation: 本发明涉及一种燃料喷射器（10），特别是共轨喷射器，其具有喷射器壳体（11），在其上形成有高压室（15），其在所述喷射器布置之上的（11）供给孔（19）与加压 可以供给的燃料被连接到至少一个，至少间接地在喷射器壳体的高压室（15）（11）形的注入开口（12），用于将燃料喷射到内燃机的燃烧室中，用剥离或所述至少一个喷射孔（12）关闭所述注入部件 （16），并有用于至少间接检测在该高压室（15）或所述供给孔（19）中的压力的​​方法，其中所述测量装置（30）适于至少间接地与供给孔的弹性变形的测量装置（30），（19 ）或高压室（15），以检测设置在可操作地连接的变形区（27），和 其中，所述测量装置（30）包括压电元件（41），连接在一个与所述喷射器（11）（35）在壳体中的溶液。

公开(公告)号：EP2579347B1

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：EP12186954.9

申请日：2012-10-02

Applicant: Fujifilm Corporation

Inventor： Fujii, Takamichi ,  Hishinuma, Yoshikazu

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/316 ,  H01L41/297

CPC classification number: H01L41/0805 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/04 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/277 ,  H01L41/297 ,  H01L41/316

公开(公告)号：EP2816335A1

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：EP14171624.1

申请日：2014-06-06

Applicant: Honeywell International Inc.

Inventor： Brown, Gregory C. ,  Rahn, Curtis

IPC: G01L19/04 ,  G01L19/14 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01L1/18 ,  G01L19/146 ,  H01L41/04 ,  H01L41/22

Abstract: In one embodiment a pressure sensor (100) is provided. The pressure sensor (100) includes a housing (104) having an input port (102) configured to allow a media to enter the housing. A support (122) is mounted within the housing, the support defining a first aperture (112) extending therethrough. A stress isolation member (110) is mounted within the first aperture of the support, the stress isolation member defining a second aperture (108) extending therethrough, wherein the stress isolation member is composed of silicon. A sensor die (106) is bonded to the stress isolation member. The sensor die includes a silicon substrate having an insulator layer on a first side (105) of the silicon substrate; and sensing circuitry disposed in the insulator layer on the first side, wherein a second side of the silicon substrate is exposed to the second aperture of the stress isolation member and the second side is reverse of the first side.

Abstract translation: 在一个实施例中，提供压力传感器（100）。 压力传感器（100）包括具有被配置为允许介质进入壳体的输入端口（102）的壳体（104）。 支撑件（122）安装在壳体内，支撑件限定延伸穿过其中的第一孔（112）。 应力隔离构件（110）安装在支撑件的第一孔内，应力隔离构件限定延伸穿过其中的第二孔（108），其中应力隔离构件由硅组成。 传感器管芯（106）与应力隔离构件接合。 传感器管芯包括在硅衬底的第一侧（105）上具有绝缘体层的硅衬底; 以及设置在所述第一侧上的所述绝缘体层中的感测电路，其中所述硅衬底的第二侧暴露于所述应力隔离构件的所述第二孔，并且所述第二侧与所述第一侧相反。

公开(公告)号：EP2658123A4

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：EP11850979

申请日：2011-12-20

Applicant: MURATA MANUFACTURING CO

Inventor： KIDO SYUNSUKE ,  IWAMOTO HIDEKI ,  KANDO HAJIME ,  WATANABE MUNEHISA

IPC: H03H9/02

CPC classification number: H03H9/0222 ,  H01L41/04 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H3/04 ,  H03H3/08 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/54 ,  H03H2003/023 ,  H03H2003/027 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155

Abstract: Provided is an elastic wave device which can be used at high frequencies and in which the Q factor can be enhanced. An elastic wave device (1) includes a supporting substrate (2); a high-acoustic-velocity film (3) stacked on the supporting substrate (2), in which the acoustic velocity of a bulk wave propagating therein is higher than the acoustic velocity of an elastic wave propagating in a piezoelectric film (5); a low-acoustic-velocity film (4) stacked on the high-acoustic-velocity film (3), in which the acoustic velocity of a bulk wave propagating therein is lower than the acoustic velocity of a bulk wave propagating in the piezoelectric film (5); the piezoelectric film (5) stacked on the low-acoustic-velocity film (4); and an IDT electrode (6) stacked on a surface of the piezoelectric film (5).

Abstract translation: 提供了可以在高频下使用并且可以提高Q因子的弹性波装置。 弹性波装置（1）包括支撑基板（2）; 层叠在支撑基板（2）上的高频速度膜（3），其中传播的体波的声速高于在压电膜（5）中传播的弹性波的声速; 层叠在高声速膜（3）上的低声速膜（4），其中传播的体波的声速低于在压电膜中传播的体波的声速（ 5）; 堆叠在低声速膜（4）上的压电膜（5）; 和堆叠在压电膜（5）的表面上的IDT电极（6）。