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    Procédé de mesure par spectrométrie de décharge luminescente d'un échantillon solide organique ou polymère
    3.
    发明公开
    Procédé de mesure par spectrométrie de décharge luminescente d'un échantillon solide organique ou polymère 有权
    一种用于测量有机固体样品或辉光放电法是指Poymerfeststoffprobe

    公开(公告)号：EP2434275A1

    公开(公告)日：2012-03-28

    申请号：EP11306147.7

    申请日：2011-09-14

    申请人： Horiba Jobin Yvon S.A.S.

    发明人： Chapon, Patrick ,  Tempez, Agnès ,  Olivero, Célia ,  Nakamura, Tatsuhito ,  Nakamura, Hiroko ,  Fujimoto, Akira

    IPC分类号： G01N21/67 ,  G01N21/68

    CPC分类号： G01N21/68

    摘要： La présente invention concerne un procédé de mesure par spectrométrie de décharge luminescente d'un échantillon solide comprenant au moins une couche (13) de matériau organique, ledit procédé comprenant les étapes suivantes : on place ledit échantillon dans une lampe à décharge luminescente ; on injecte dans la lampe (2) à décharge un mélange gazeux comprenant au moins un gaz rare et de l'oxygène gazeux, la concentration en oxygène gazeux étant comprise entre 1% et 10% massique du mélange gazeux ; on applique une décharge électrique de type radiofréquence aux électrodes de ladite lampe à décharge pour générer un plasma de décharge luminescente ; on expose ladite couche de matériau organique audit plasma ; on mesure au moyen d'un spectromètre (4) au moins un signal représentatif d'une espèce ionisée et/ou d'une espèce excitée dudit plasma.

    Verfahren und Vorrichtung zur Auswertung des von einem Plasma emilierten Lichtes zur Regelung von plasmagestützten Prozessen
    4.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zur Auswertung des von einem Plasma emilierten Lichtes zur Regelung von plasmagestützten Prozessen 审中-公开
    用于从等离子光评估emilierten用于基于等离子体的过程的调节方法和装置

    公开(公告)号：EP2343728A2

    公开(公告)日：2011-07-13

    申请号：EP10015795.7

    申请日：2010-12-17

    申请人： DTF Technology GmbH

    发明人： Liepack, Harald, dr. ,  Gebel, Thoralf, Dr. ,  Krug, Mario ,  Galonska, Bernd

    IPC分类号： H01J37/32 ,  C23C14/00

    CPC分类号： C23C14/0042 ,  G01N21/68 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32972

    摘要： Bei der Auswertung des von einem Plasma emittierten Lichtes in verschiedenen schmalbandigen Wellenlängenbereichen aus einem örtlichen Plasmabereich und eine damit gekoppelte schnelle Regelung von plasmagestützten Vakuumprozessen ergeben sich folgende Probleme:
    - Verwendung eines sehr kostenintensiven akusto-optischen Spektrometers oder
    - zu geringe Geschwindigkeit bei Verwendung eines normalen Spektrometers oder
    - keine direkte örtliche Zuordnung sowie unterschiedliche Driften der Photomultiplier bei Verwendung von mehreren Kollimatoren, wobei jedem Kollimator jeweils ein separater optischer Filter und ein separater Photomultiplier zugeordnet ist.

    Das neue Verfahren und die neue Vorrichtung soll eine kostengünstige und schnelle Auswertung des vom Plasma in verschiedenen schmalbandigen Wellenlängenbereichen aus einem örtlichen Plasmabereich emittierten Lichtes sowie eine damit gekoppelte kostengünstige und schnelle Regelung von plasmagestützten Vakuumprozessen ermöglichen.
    Erfindungsgemäß wird die Aufgabe gelöst, indem das vom Plasma emittierte Licht mittels piezoelektrischen Faserschalter sequentiell auf verschiedene optische Filter und von diesen mittels eines weiteren piezoelektrischen Faserschalters synchronisiert und ebenfalls sequentiell auf denselben Photomultiplier geleitet wird. Die Auswertung der daraus entstehenden Signale nimmt ein µController vor, welcher anhand der Auswertergebnisse über integrierte PID-Regler die Regelung des Prozesses über die Steuerung von geeigneten Stellgliedern vornimmt.
    Die Auswertung des vom Plasma emittierten Lichtes und die Regelung von plasmagestützten Vakuumprozessen.

    摘要翻译： 对于用于调节等离子体增强真空过程通过等离子体（103）发射的光评价的装置，光接收器输入信道切换（106），一个过滤器块（127）到输出信道切换，光电倍增管，微控制器包括 中，信号转换器模块和一个气体致动器。 另一个输入信道开关被布置在上游到输入信道切换。 上游输入通道开关，所述输入信道开关或输出开关信道是压电纤维开关。 的单个电介质干涉滤光器的滤光器块besteht。 对于用于调节等离子体增强真空过程通过等离子体（103）发射的光评价的装置，光接收器输入信道切换（106），一个过滤器块（127）到输出信道切换，光电倍增管，微控制器包括 中，信号转换器模块和一个气体致动器。 另一个输入信道开关被布置在上游到输入信道切换。 上游输入通道开关，所述输入信道开关或输出开关信道是压电纤维开关。 单个介质干扰的滤波器块besteht滤波器平行排列海誓山盟。 该气体致动器是压电调节阀，质量流量控制器或在蒸发器的液体流量控制器的和的组合。 可编程的微控制器，用于评估和控制，其中所述可编程微控制器具有用于数字值的临时存储与模拟/数字转换器将模拟电压输入的通用异步接收机/发射机接口，比例 - 积分 - 微分存储 有两个数字输出的相关联的模拟电压输出和中断的数字输入端的两个模拟/数字转换器的控制器。 一个独立的claimsoft被包括为用于评估由用于调节等离子体增强真空工艺的等离子体发出的光的方法。

    METHOD AND APPARATUS FOR SEASONING SEMICONDUCTOR APPARATUS OF SENSING PLASMA EQUIPMENT
    6.
    发明公开
    METHOD AND APPARATUS FOR SEASONING SEMICONDUCTOR APPARATUS OF SENSING PLASMA EQUIPMENT 审中-公开
    方法和装置半导体器件AUFBEREITUNGS-OF测量血浆DEVICES

    公开(公告)号：EP1700333A4

    公开(公告)日：2008-08-06

    申请号：EP04808517

    申请日：2004-12-21

    申请人： ADAPTIVE PLASMA TECH CORP

    发明人： SONG YEONG SU ,  OH SANG RYONG ,  KIM S K ,  KIM N H

    IPC分类号： H01L21/3065 ,  G01N21/68 ,  H01L21/311 ,  H01L21/66

    CPC分类号： G01N21/68 ,  H01L21/31116 ,  H01L22/26

    摘要： A plasma equipment seasoning method and plasma equipment to which the seasoning method is applied. The seasoning method comprising the steps of measuring the ratio of optical emission intensity of silicon oxide (SiOx)-based chemical species to optical emission intensity of carbon fluoride compound (CFY)-­based chemical species present in a process chamber of plasma equipment before operating the plasma equipment to perform a plasma process, determining whether the value of the measured optical emission intensity ratio is within a predetermined range of normal state or not, and, when reaction gas to be used in the plasma process is supplied into the process chamber based on the result of determination such that the value of the measured optical emission intensity ratio is within the predetermined range of normal state, seasoning the interior of the process chamber to change the ratio of components of the reaction gas, and thus, to change the optical emission intensity ratio.

    Dispositif de contrôle des espèces gazeuses par spectrométrie d'émission optique d'un plasma
    7.
    发明公开
    Dispositif de contrôle des espèces gazeuses par spectrométrie d'émission optique d'un plasma 审中-公开
    装置的气体种类的监测通过在等离子体光发射的装置

    公开(公告)号：EP1760763A3

    公开(公告)日：2007-04-04

    申请号：EP06114877.1

    申请日：2006-06-01

    申请人： Alcatel Lucent

    发明人： Nomine, Cyrille ,  Pierrejean, Didier

    IPC分类号： H01J37/32

    CPC分类号： G01N21/68 ,  H01J37/32935

    摘要： Le dispositif de contrôle (1) selon l'invention comprend une excroissance axiale (5) limitée par une paroi périphérique (6) étanche perméable aux champs magnétiques, et raccordée à une enceinte telle qu'une chambre de procédés (11) où sont présentes des espèces gazeuses à contrôler. Un capteur (3) de radiation lumineuse est placé à l'extrémité de l'excroissance axiale d'enceinte (5), et permet le transport de la lumière par une fibre optique (4a) jusqu'à un spectromètre optique (4). Un générateur de plasma (17,18) génère un plasma de contrôle (16) dans l'espace intérieur (8) de l'excroissance axiale d'enceinte (5). Le dispositif comprend un ou plusieurs moyens (7,7a) qui génèrent un champ magnétique (9) ou électrique à proximité du capteur (3) pour former une barrière empêchant la propagation des particules ionisées du plasma de contrôle (16) vers le capteur (3). On évite ainsi l'encrassement du capteur (3) et de l'enceinte.