パターン形成方法及びシュリンク剤
    21.
    发明专利
    パターン形成方法及びシュリンク剤 有权
    图案形成方法和收缩剂

    公开(公告)号:JP2016091007A

    公开(公告)日:2016-05-23

    申请号:JP2015175318

    申请日:2015-09-07

    摘要: 【解決手段】カルボキシル基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布してレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤の現像液を用いてネガパターンを形成し、このネガパターンの上から酸不安定基によってヒドロキシ基及び/又はカルボキシル基が置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と炭素数7〜16のエステル系溶剤及び/又は炭素数8〜16のケトン系溶剤を含有するシュリンク剤溶液を塗布し、ベーク後余分なシュリンク剤を有機溶剤現像液で除去し、パターンのスペース部分の寸法を縮小させるパターン形成方法。 【効果】レジストパターンのスペース部分の寸法を寸法制御よく縮小させることができる。 【選択図】なし

    摘要翻译: 解决方案:提供一种图案形成方法,其包括:在基材上涂布含有具有包含酸不稳定基取代的羧基,酸产生剂和有机溶剂的重复单元的高分子化合物的抗蚀剂组合物,形成 抗蚀膜; 对抗蚀剂膜进行热处理,然后将抗蚀剂膜暴露于高能束; 热处理抗蚀剂膜,然后通过使用有机溶剂显影剂形成负图案; 应用含有具有酸不稳定基取代的羟基和/或羧基的重复单元的高分子化合物,碳原子数为7〜16的酯溶剂和/或碳原子数为8〜16的酮溶剂的收缩剂溶液 在负面模式上; 并烘烤图案,然后通过使用有机溶剂显影剂除去过量的收缩剂,以缩小图案中的空间的尺寸。抗蚀剂图案中的空间尺寸可以精确地缩小, 受控制的方式

    感光性樹脂組成物
    23.
    发明专利
    感光性樹脂組成物 有权
    感光性树脂组合物

    公开(公告)号:JPWO2013146360A1

    公开(公告)日:2015-12-10

    申请号:JP2014507700

    申请日:2013-03-15

    摘要: 【課題】感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)成分、(B)成分及び溶剤を含有する感光性樹脂組成物。(A)成分:下記式(1)で表される構造単位及び下記式(2)で表される構造単位を有する共重合体(B)成分:感光剤【化1】(式中、R0はヒドロキシ基又はカルボキシル基を表し、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は単結合又は炭素原子数1乃至5のアルキレン基を表し、R3は熱架橋性を有する1価の有機基を表す。但し、複数の前記式(2)で表される構造単位においてR1同士は互いに異なっていてもよい。)【選択図】なし

    摘要翻译: 以提供光敏树脂组合物。 A(A),(B)含有的组分和溶剂的感光性树脂组合物。 组分(A):具有由下述式(1)表示的结构单元式表示的结构单元(2)(B)成分的共聚物:感光剂(式中,R0是 表示羟基或羧基,R 1表示氢原子或甲基,R 2表示单键或具有碳原子数1〜5的亚烷基,R3表示具有热交联的一价有机基团。 然而,R 1一起在由多个上述式表示的结构单元(2)可以是彼此不同的。)装置技术领域

    Comb polymers having a delay alkaline-hydrolyzable

    公开(公告)号:JP2014526570A

    公开(公告)日:2014-10-06

    申请号:JP2014528939

    申请日:2012-08-31

    摘要: 本発明は、カルボキシル/カルボキシレート及びエステル基を有する櫛形ポリマーに関する。 このポリマーは、a)アクリル酸/メタクリル酸又はマレイン酸単位から誘導される、0.1〜0.9モル分率の部分構造単位S1;b)例えば、アクリル酸/メタクリル酸又はマレイン酸単位から誘導され、一端でアルキルキャップされたC
    1 〜C
    20 アルカノール又はポリアルキレングリコール、好ましくはポリエチレングリコール、を用いてエステル化される、0〜0.4モル分率の部分構造単位S2;及びc)アクリル酸/メタクリル酸又はマレイン酸単位から誘導され、−CH(R
    3 )OH型(ここで、R
    3 は嵩高いアルキル基、好ましくはメチル基である)の末端の2級ヒドロキシル基を有するポリアルキレングリコールモノアルキルエーテルを用いてエステル化される、0.1〜0.4モル分率の部分構造単位S3、を含有するか又はこれらからなる。 本発明はさらに、そのような櫛型ポリマーの製造方法、そのような櫛型ポリマーを含むバインダー組成物、及びそのような櫛型ポリマーの使用に関する。