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    Generation of ozone and plasma using the electron beam technology
    21.
    发明专利
    Generation of ozone and plasma using the electron beam technology 有权

    公开(公告)号：JP2014509039A

    公开(公告)日：2014-04-10

    申请号：JP2013544830

    申请日：2011-12-16

    Applicant: 日立造船株式会社

    Inventor： バフタリ、カヴェ

    IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  C23C16/50 ,  H05H1/46

    CPC classification number: B01J19/085 ,  C01B13/10 ,  H01J3/02 ,  H01J33/00 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32816

    Abstract: 本発明は、特に、反応チャンバーから分離された電子発生チャンバー内において電界を発生させるオゾン生成装置またはプラズマ生成装置を提供するためのシステムおよび方法を提示する。 電子発生チャンバー内の電子ビームエミッタは、電子ビームを放射するように構成されており、電子ビームが通過する窓を有する電子透過性の隔壁により反応チャンバーから分離されている。 電子は、電子発生チャンバーにおいて所望のエネルギーまで加速され、隔壁を通過して、入力ガス源により入力ガスが導入される反応チャンバーへ送られる。 入力ガスが反応チャンバー内において電子ビームと反応して、プラズマまたは濃縮されたオゾンを含む出力ガスが生成される。 出力ガスは、反応チャンバーからウエハー処理チャンバーへ送られる。
    【選択図】図１

    Charged particle beam radiation device
    23.
    发明专利
    Charged particle beam radiation device 有权
    充电颗粒光束辐射装置

    公开(公告)号：JP2012033298A

    公开(公告)日：2012-02-16

    申请号：JP2010169967

    申请日：2010-07-29

    Applicant: Hitachi High-Technologies Corp ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： WATANABE SHUNICHI ,  ONISHI TAKASHI ,  KANEDA MINORU ,  MURAKOSHI HISAYA

    IPC: H01J37/065

    CPC classification number: H01J29/484 ,  H01J3/02 ,  H01J3/027 ,  H01J3/40 ,  H01J29/488 ,  H01J37/026 ,  H01J37/073 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0802

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam radiation device which can maintain a constant electric potential distribution in a vertical direction of an inner surface regardless of a circumferential direction, even when a surface dopant concentration is uneven making a surface electrical resistance of a conductive insulator also uneven in an accelerating tube using the conductive insulator.SOLUTION: Circumferential grooves are provided in several rows inside a conductive insulator accelerating tube, and metal is metallized along inside the groove. Since an electric potential of the metallization region inside the accelerating tube is kept constant, even if a resistance in a particular part of the accelerating tube surface is different from that of the surroundings, the electric potential distribution in a vertical direction inside the accelerating tube can be kept at substantially the same level regardless of the circumferential direction. Consequently, a cross-direction force is not applied to an electric beam passing on a central axis thereby a potential gradient can be kept substantially constant making an aberration smaller.

    Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一种带电粒子束辐射装置，即使当表面掺杂剂浓度不均匀而使得表面电气不均匀时，其可以在内表面的垂直方向上保持恒定的电位分布 使用导电绝缘体的加速管中导电绝缘体的电阻也不均匀。

    解决方案：在导电绝缘体加速管内设置有多列圆周槽，金属沿槽内部金属化。 由于加速管内的金属化区域的电位保持恒定，即使加速管表面的特定部分的电阻与周围环境不同，加速管内的垂直方向的电位分布也可以 无论圆周方向如何，均可保持基本相同的水平。 因此，横向力不会施加到通过中心轴的电子束，从而使电位梯度保持基本恒定，使得像差更小。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

    Thermoelectron generating source and ion beam irradiation device equipped with it
    26.
    发明专利
    Thermoelectron generating source and ion beam irradiation device equipped with it 审中-公开

    公开(公告)号：JP2004134354A

    公开(公告)日：2004-04-30

    申请号：JP2003055765

    申请日：2003-03-03

    Applicant: Nissin Electric Co Ltd ,  日新電機株式会社

    Inventor： NISHIGAMI YASUAKI

    IPC: G21G5/00 ,  H01J3/02 ,  H01J37/02 ,  H01J37/06 ,  H01J37/317

    CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J3/02 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0042 ,  H01J2237/0044

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermoelectron generating source of indirect heating method, in which space charge limitation can be moderated when thermoelectrons are extracted, and the thermal electrons with low energy can be generated in a large amount. SOLUTION: The thermoelectron generating source 10 constituting this ion beam irradiation device is provided with the sheet type main negative electrode 24 to emit the thermoelectrons 28 by being heated from others, a filament 20 to heat the main negative electrode 24 from its rear and to make the thermoelectrons 28 be emitted, an extraction electrode 26 which is installed in the forward vicinity of the main negative electrode 24 and which extracts the thermoelectrons 28 emitted from the main negative electrode by an electric field, and two deflecting electrodes 30, 32 arranged at the right and left in the forward vicinity of the extraction electrode 26 so as to pinch the extraction electrode 26. Potential of the both deflecting electrodes 30, 32 ia kept in the relationship of VL>VR≥0, when making the potential of one of the deflecting electrode 30 as V L , and the potential of the other deflecting electrode 32 as V R . COPYRIGHT: (C)2004,JPO

    電子銃、三次元積層造形装置及び電子銃制御方法
    29.
    发明专利
    電子銃、三次元積層造形装置及び電子銃制御方法 审中-公开
    电子枪，三维层压成型装置和电子枪控制方法

    公开(公告)号：JP2015167125A

    公开(公告)日：2015-09-24

    申请号：JP2015003094

    申请日：2015-01-09

    Applicant: 日本電子株式会社

    Inventor： 佐藤 崇

    IPC: H01J37/063 ,  H01J37/06 ,  H01J37/302 ,  H01J37/04

    CPC classification number: H01J3/08 ,  B22F3/1055 ,  B23K15/002 ,  B23K15/0026 ,  B23K15/0086 ,  B23K15/06 ,  H01J3/02 ,  H01J3/024 ,  H01J3/027 ,  H01J37/063 ,  H01J37/305 ,  B33Y30/00 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/3128 ,  Y02P10/295

    Abstract: 【課題】 電流制限絞りが使用できなくとも、輝度を低下させずに電子銃を制御する。 【解決手段】 ウェネルト電極12は、カソードの先端が挿入される第1開口12cを有し、カソード11の先端から放出された熱電子を集束する。制御電極13は、カソード11の先端から放出された熱電子を、第2開口13cに通過させる。アノード14は、カソード11が放出した熱電子を加速し、第2開口13cを通過した熱電子を、第3開口14bに通過させて粉末試料8に電子ビームB1を照射する。制御部22は、電子ビームの輝度を一定に保つため、バイアス電圧及び制御電圧の組み合わせ条件に基づいてバイアス電圧及び制御電圧を設定する制御を行う。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 要解决的问题：为了控制电子枪而不降低亮度，即使不能使用限流膜。解决方案：Wehnelt电极12具有第一开口12c，阴极11的尖端插入其中，并且聚焦 从阴极11的尖端发射的热电子。控制电极13使从阴极11的前端发射的热电子通过第二开口13c。 在粉末样品8被电子束B1照射之前，阳极14加速从阴极11发射的热电子，并使通过第二开口13c的热电子通过第三开口14b。 为了保持电子束的恒定亮度，控制单元22基于其组合条件执行用于设置偏置电压和控制电压的控制。

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