公开(公告)号：JP6293918B2

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：JP2016556830

申请日：2014-03-12

Applicant: インテル コーポレイション

Inventor： メイヤー,トルステン ,  オフナー,ゲラルド ,  ヴォルター,アンドレアス ,  ザイデマン,ゲオルグ ,  アルベルス,スフェン ,  ガイスラー,クリスティアン

IPC: H01L25/00 ,  H01L23/12

CPC classification number: H01L23/49838 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4857 ,  H01L21/565 ,  H01L23/13 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/50 ,  H01L24/16 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L24/96 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24195 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/92244 ,  H01L2924/15151 ,  H01L2924/15159 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/15192 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/19105