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公开(公告)号:JPWO2017170452A1
公开(公告)日:2018-12-13
申请号:JP2017012479
申请日:2017-03-27
申请人: 三井化学東セロ株式会社
IPC分类号: C09J7/38 , C09J201/00 , C09J133/04 , H01L21/56
CPC分类号: H01L21/56 , C09J7/20 , C09J133/04 , C09J201/00 , H01L2224/12105 , H01L2224/96
摘要: 本発明の半導体装置製造用粘着性フィルム(50)は、半導体装置の製造工程において封止材(60)により電子部品(70)を封止する際に電子部品(70)を仮固定するために用いられる粘着性フィルムであって、基材層(10)と、基材層(10)の第1面(10A)側に設けられ、かつ、電子部品(70)を仮固定するための粘着性樹脂層(A)と、を備える。そして、粘着性樹脂層(A)表面の表面自由エネルギーが38.0mN/m以下である。
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公开(公告)号:JP6388202B2
公开(公告)日:2018-09-12
申请号:JP2014161231
申请日:2014-08-07
申请人: パナソニックIPマネジメント株式会社
CPC分类号: H01L21/568 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/19 , H01L2924/00012
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公开(公告)号:JPWO2018047770A1
公开(公告)日:2018-09-06
申请号:JP2017031795
申请日:2017-09-04
申请人: 住友ベークライト株式会社
CPC分类号: G03F7/023 , H01L21/56 , H01L23/12 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/96
摘要: 表面に接続端子(30)を有した複数の半導体チップ(40)が、封止材(10)の内部に埋め込まれた構造体を準備する工程と、構造体における半導体チップ(40)の接続端子(30)が埋め込まれている側の面上における領域に第1の絶縁性樹脂膜(60)を形成する工程と、第1の絶縁性樹脂膜(60)および構造体に、接続端子(30)の一部を露出させる第1の開口部(250)を形成する工程と、露出した接続端子(30)と、第1の絶縁性樹脂膜(60)とを覆うように導電膜(110)を形成する工程と、導電膜(110)の表面に第2の絶縁性樹脂膜(70)を形成し、第2の絶縁性樹脂膜(70)に導電膜(110)の一部を露出させる第2の開口部(300)を形成する工程と、を含み、第2の開口部(300)を形成する工程において、第2の絶縁性樹脂膜(70)における半導体チップ(40)上に形成された領域の外部に第2の開口部(300)を形成する。また、第1の絶縁性樹脂膜(60)を構成する樹脂材料として、アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物であって、かかる感光性樹脂組成物からなる液滴について、懸滴法により測定した該液滴の表面張力が、20mN/m以上45mN/m以下となるものを使用することを特徴としている。
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公开(公告)号:JP6356450B2
公开(公告)日:2018-07-11
申请号:JP2014059196
申请日:2014-03-20
申请人: 株式会社東芝
发明人: 山田 浩
IPC分类号: H01L25/07 , H01L25/18 , H01L25/00 , H01L23/12 , H01L25/065
CPC分类号: H01L23/5386 , H01L21/568 , H01L23/295 , H01L23/36 , H01L23/4334 , H01L23/49816 , H01L23/5389 , H01L24/19 , H01L24/96 , H01L25/0652 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/05568 , H01L2224/0558 , H01L2224/05644 , H01L2224/05655 , H01L2224/05666 , H01L2224/12105 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13124 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13164 , H01L2224/13166 , H01L2224/13184 , H01L2224/1403 , H01L2224/14135 , H01L2224/16225 , H01L2224/24137 , H01L2224/24195 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/94 , H01L2924/01029 , H01L2924/01047 , H01L2924/1424 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2924/19105 , H01L2924/0105 , H01L2924/00 , H01L2224/11
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公开(公告)号:JP6338157B2
公开(公告)日:2018-06-06
申请号:JP2015527503
申请日:2013-08-09
发明人: バイ、 ジエ
CPC分类号: C08L63/00 , C08G73/0233 , C08G73/0655 , C08K3/36 , C08L53/00 , C08L61/06 , C08L79/02 , C08L79/04 , C08L79/085 , H01L21/561 , H01L21/565 , H01L21/566 , H01L21/568 , H01L21/77 , H01L23/3107 , H01L24/19 , H01L24/96 , H01L2224/12105 , H01L2924/181 , H01L2924/3511 , H01L2924/00
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公开(公告)号:JP6330911B2
公开(公告)日:2018-05-30
申请号:JP2016537656
申请日:2014-07-30
申请人: 富士通株式会社
发明人: 石橋 大二郎
CPC分类号: H01P3/12 , H01L2223/6677 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/96 , H01P3/06 , H01P5/103 , H01P11/002 , H01Q13/10
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公开(公告)号:JP6320681B2
公开(公告)日:2018-05-09
申请号:JP2013072290
申请日:2013-03-29
申请人: ローム株式会社
发明人: 梅本 清貴
CPC分类号: H01L22/32 , G01R31/2884 , H01L24/19 , H01L25/105 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2924/15311
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公开(公告)号:JP6320239B2
公开(公告)日:2018-05-09
申请号:JP2014167223
申请日:2014-08-20
申请人: 日東電工株式会社
CPC分类号: H01L23/562 , C08G59/5073 , C08G59/621 , C08G59/686 , C09J163/00 , H01L21/486 , H01L21/561 , H01L21/568 , H01L21/78 , H01L23/147 , H01L23/295 , H01L23/49827 , H01L23/544 , H01L24/16 , H01L24/19 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/92 , H01L24/94 , H01L24/96 , H01L24/97 , H01L25/0652 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2223/54486 , H01L2224/12105 , H01L2224/14181 , H01L2224/16146 , H01L2224/32145 , H01L2224/73204 , H01L2224/73259 , H01L2224/92125 , H01L2224/92224 , H01L2224/94 , H01L2224/97 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2225/06568 , H01L2225/06582 , H01L2924/181 , H01L2924/18161 , H01L2924/18162 , H01L2924/351 , H01L2924/3511 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00 , C08K3/36
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公开(公告)号:JP6309643B2
公开(公告)日:2018-04-11
申请号:JP2016550864
申请日:2015-02-12
申请人: クアルコム,インコーポレイテッド
IPC分类号: H01L25/18 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/04
CPC分类号: H01L25/0652 , H01L21/486 , H01L21/568 , H01L23/481 , H01L23/49816 , H01L23/5389 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/19 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/96 , H01L25/50 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/05572 , H01L2224/06181 , H01L2224/12105 , H01L2224/131 , H01L2224/16145 , H01L2224/16146 , H01L2224/24137 , H01L2224/73259 , H01L2224/81005 , H01L2224/92224 , H01L2225/06524 , H01L2225/06541 , H01L2924/14335 , H01L2924/1434 , H01L2924/15311 , H01L2924/18161 , H01L2924/18162 , H01L2924/014
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公开(公告)号:JP6293918B2
公开(公告)日:2018-03-14
申请号:JP2016556830
申请日:2014-03-12
申请人: インテル コーポレイション
发明人: メイヤー,トルステン , オフナー,ゲラルド , ヴォルター,アンドレアス , ザイデマン,ゲオルグ , アルベルス,スフェン , ガイスラー,クリスティアン
CPC分类号: H01L23/49838 , H01L21/4853 , H01L21/4857 , H01L21/565 , H01L23/13 , H01L23/3114 , H01L23/49816 , H01L23/49822 , H01L23/50 , H01L24/16 , H01L24/19 , H01L24/20 , H01L24/96 , H01L25/16 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/16227 , H01L2224/24195 , H01L2224/32225 , H01L2224/32245 , H01L2224/73267 , H01L2224/92244 , H01L2924/15151 , H01L2924/15159 , H01L2924/15174 , H01L2924/15192 , H01L2924/15311 , H01L2924/1815 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2924/19105
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