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    巻き取り成膜装置
    1.
    发明专利
    巻き取り成膜装置 有权
    卷绕成膜装置

    公开(公告)号：JPWO2013180005A1

    公开(公告)日：2016-01-21

    申请号：JP2014518412

    申请日：2013-05-23

    Applicant: 凸版印刷株式会社

    Inventor： 康裕 佐々木 ,  康裕 佐々木 ,  満 加納 ,  満 加納

    IPC: C23C16/44 ,  B65H20/02 ,  B65H27/00 ,  C23C16/455

    CPC classification number: B05B13/0221 ,  B65H20/02 ,  B65H2301/51145 ,  C23C14/562 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/545

    Abstract: この巻き取り成膜装置は、第一前駆体が導入される第一真空気室と、第二前駆体が導入される第二真空気室と、前記第一前駆体及び前記第二前駆体をパージするために用いられるパージガスが導入される第三真空気室と、巻き取り可能な基材を、前記第一真空気室、前記第二真空気室、及び前記第三真空気室に搬送し、前記基材を前記基材の厚み方向において挟持し第1ローラ及び第2ローラを有し前記第1ローラ及び前記第2ローラのうち少なくとも一方の外周面に凹凸形状が形成されている一対のローラ対を有する搬送ローラ部と、を備え、前記搬送ローラ部を用いて、前記基材を前記第一真空気室及び前記第二真空気室を往復させることで、前記基材の表面に原子層を堆積させて原子層堆積膜を形成する。

    Abstract translation: 卷绕成膜装置包括第一真空空气室第一前体被引入，以及其中，所述第二前体引入第二真空气室，所述第一前体和第二前体 用于吹扫第三真空空气室净化气体被引入，可卷曲的基材，输送的第一真空空气室，所述第二真空空气室和第三真空室空气 中，一对上的外周面中的至少一个的凹凸形状的所述第一辊和所述第二辊子具有第一辊和第二辊咬在基板的厚度方向上的基板上形成 包括具有辊对，以及使用该转印辊部的输送辊单元，所述衬底由衬底的表面上往复运动的第一真空空气室和第二真空空气室，原子 沉积层，以形成原子层沉积膜。

    積層体、バリアフィルム、及びこれらの製造方法
    2.
    发明专利
    積層体、バリアフィルム、及びこれらの製造方法 审中-公开
    层压阻挡膜，以及它们的制备方法

    公开(公告)号：JPWO2014156932A1

    公开(公告)日：2017-02-16

    申请号：JP2015508399

    申请日：2014-03-20

    Applicant: 凸版印刷株式会社

    Inventor： 浩志 小山 ,  浩志 小山 ,  佐藤　尽 ,  尽 佐藤 ,  満 加納 ,  満 加納

    IPC: B32B9/00

    CPC classification number: C23C16/45525 ,  B32B27/06 ,  B32B27/308 ,  B32B2307/7244 ,  B32B2457/20 ,  C23C16/0272 ,  C23C16/04 ,  C23C16/401 ,  C23C16/403 ,  C23C16/405

    Abstract: 積層体(1)が、表面を有する基材(4)と、前記基材(4)の前記表面上の少なくとも一部に形成され、OH基を有する有機高分子を含有する膜状またはフィルム状のアンダーコート層(3)と、前駆体を原料として形成され、前記アンダーコート層(3)の露出面上を覆う膜状に形成された原子層堆積膜(2)と、を備え、前記前駆体の少なくとも一部が、前記有機高分子の前記OH基に結合している。

    Abstract translation: 层叠体（1）是具有表面和（4），其中，形成在至少一部分基片（4），膜状或薄膜状含有具有OH基的有机聚合物的表面上的基板 包括底涂层（3）所形成的前体作为起始材料，底涂层和覆盖物（3）（2）中，所述前体的暴露表面形成在形状原子层沉积膜的膜的 在所述主体的至少一部分附连到有机聚合物的OH基团。

    巻き取り成膜装置
    7.
    发明专利
    巻き取り成膜装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2012133541A1

    公开(公告)日：2014-07-28

    申请号：JP2012550654

    申请日：2012-03-28

    Applicant: 凸版印刷株式会社

    Inventor： 満 加納 ,  満 加納 ,  康裕 佐々木 ,  康裕 佐々木

    IPC: C23C16/54 ,  C23C16/455

    CPC classification number: C23C16/545 ,  B65H20/16 ,  B65H23/025 ,  C23C16/45551

    Abstract: 本発明の巻き取り成膜装置1は、第一前駆体ガスが導入される第一真空気室(21)と、第二前駆体ガスが導入される第二真空気室(22)と、第一前駆体及び第二前駆体を排出するために用いられるパージガスが導入される第三真空気室(23)と、巻き取り可能な基材(15)を、第一真空気室(21)、第二真空気室(22)及び第三真空気室(23)に搬送すると共に基材(15)の幅方向の両端部を保持する保持部を有する搬送機構41a(41b)とを備える。

    Winding the film forming apparatus
    8.
    发明专利
    Winding the film forming apparatus 有权

    公开(公告)号：JP5206908B2

    公开(公告)日：2013-06-12

    申请号：JP2012550654

    申请日：2012-03-28

    Applicant: 凸版印刷株式会社

    Inventor： 満 加納 ,  康裕 佐々木

    IPC: C23C16/54

    CPC classification number: C23C16/545 ,  B65H20/16 ,  B65H23/025 ,  C23C16/45551

    Abstract: A roll-to-roll thin film coating machine of the invention includes: a first vacuum chamber into which a first precursor gas is introduced; a second vacuum chamber into which a second precursor gas is introduced; a third vacuum chamber into which a purge gas is introduced, the purge gas discharging the first precursors and the second precursors; and a transfer mechanism transferring a windable base member through the first vacuum chamber, the second vacuum chamber, and the third vacuum chamber, the transfer mechanism including a holding unit holding both end portions of the base member in a width direction thereof.

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