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公开(公告)号：JP6251937B2
公开(公告)日：2017-12-27
申请号：JP2013525778
申请日：2012-07-27
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/455 , B32B9/00 , C23C16/02
CPC classification number: C23C16/403 , B05D3/007 , B05D3/107 , B05D3/141 , B05D3/145 , B05D3/148 , B32B7/04 , C08K3/0008 , C08K3/0033 , C08K3/01 , C08K3/013 , C09J201/02 , C09J201/025 , C09J201/06 , C09J201/08 , C09J2400/10 , C09J2400/22 , C23C16/02 , C23C16/0227 , C23C16/0245 , C23C16/0272 , C23C16/04 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/45525 , C23C16/45555 , C23C28/00 , C23C28/042 , Y10T428/25 , Y10T428/251 , Y10T428/258 , Y10T428/259 , Y10T428/31562 , Y10T428/31721 , Y10T428/31757
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公开(公告)号：JPWO2016043277A1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2016548947
申请日：2015-09-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/52 , C23C16/545
Abstract: チャンバ内の各ゾーンにおいてガスの分布を均一化し、成膜精度を向上することができる成膜装置及び成膜方法を提供する。一形態にかかる成膜装置は、内部にガスが導入される複数のゾーンを有し、少なくともいずれかの前記ゾーンにおける前記ガスを排出するとともにその開口状態が個別に調整可能な複数の排気口を備える、チャンバと、前記チャンバの内部で基材を移動させて複数の前記ゾーンを通過させる、搬送部と、を備えることを特徴とする。
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公开(公告)号：JP2017514985A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2016551209
申请日：2015-03-02
Applicant: ロータス アプライド テクノロジー エルエルシーLotus Applied Technology, Llc , ロータス アプライド テクノロジー エルエルシーLotus Applied Technology, Llc , 凸版印刷株式会社
Inventor： アール ディッキー エリック , アール ディッキー エリック , ラーソン ダンフォース ブライアン , ラーソン ダンフォース ブライアン , 真人 今 , 真人 今
IPC: C23C16/509 , C23C16/40 , H05H1/24 , H05H1/46
CPC classification number: C23C16/405 , C23C16/45534 , C23C16/45536 , C23C16/45551 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/32532 , H01J37/3255 , H01J37/32559 , H01J37/3277
Abstract: 基板上に薄膜を形成するシステムは、プラズマを使って、反応空間と流体連結されるプラズマ発生器内で少なくとも一つのガス前駆体を活性化させる。プラズマ発生器は少なくとも一対のプラズマ電極を用いて、前駆体ガスの少なくとも一部からプラズマが生成させるように動作し、一つのプラズマ電極は、吸着層を、実質的に保持し、プラズマ発生領域内に存在するガスの内の少なくとも一つを用いて化学的活性にする特徴を呈する、非ネイティブな導電性吸着層を有する。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP4899747B2
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：JP2006258708
申请日：2006-09-25
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: H01L21/3065 , G02F1/1343 , G02F1/1345 , H01L21/306 , H01L21/3213
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公开(公告)号：JPWO2013015412A1
公开(公告)日：2015-02-23
申请号：JP2013525778
申请日：2012-07-27
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/455 , B32B9/00 , C23C16/02
CPC classification number: C23C16/403 , B05D3/007 , B05D3/107 , B05D3/141 , B05D3/145 , B05D3/148 , B32B7/04 , C08K3/0008 , C08K3/0033 , C08K3/01 , C08K3/013 , C09J201/02 , C09J201/025 , C09J201/06 , C09J201/08 , C09J2400/10 , C09J2400/22 , C23C16/02 , C23C16/0227 , C23C16/0245 , C23C16/0272 , C23C16/04 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/45525 , C23C16/45555 , C23C28/00 , C23C28/042 , Y10T428/25 , Y10T428/251 , Y10T428/258 , Y10T428/259 , Y10T428/31562 , Y10T428/31721 , Y10T428/31757
Abstract: 本発明の積層体(1)は、基材(2)と、基材(2)の外面の少なくとも一部に形成された膜状もしくはフィルム状のアンダーコート層(3,103)と、アンダーコート層(3,103)の厚み方向の両面のうち、基材(2)と接する面と反対側の面上に形成された原子層堆積膜(4)と、を備え、原子層堆積膜(4)の前駆体の少なくとも一部が、アンダーコート層(3,103)に結合し、原子層堆積膜(4)はアンダーコート層(3,103)を覆う膜状に形成されている。
Abstract translation: 本发明（1）的层压板包括（2）中，薄膜状或薄膜状的底涂层形成在至少所述基体材料（2）和（3，103），底涂层的外表面的一部分的基板（ 3，在的厚度方向的两侧的103）包括：基板（2）与所述接触表面相对的表面形成原子层沉积膜（4），原子层沉积膜的前体（4） 在至少一个部分，结合到所述底涂层（3，103），原子层沉积膜（4）在膜的形状形成为覆盖底涂层（3，103）。
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公开(公告)号：JP5312728B2
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：JP2006125195
申请日：2006-04-28
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: G09F9/30 , G02F1/1333 , G02F1/1335 , G02F1/1368 , G02F1/167 , H01L29/786 , H01L51/05
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device and a manufacturing method of the display device which facilitates the positioning of substrates formed of a color filter and a semiconductor circuit. SOLUTION: A second substrate formed of a transparent semiconductor circuit is located between a reflection type display element and a first substrate formed of a color filter layer. The use of the transparent semiconductor circuit assures the visualization, makes the disposition of the semiconductor circuit between the color filter and a reflection type display element possible and facilitates the positioning of the color filter and the semiconductor circuit. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
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