公开(公告)号：JP5839804B2

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：JP2011013066

申请日：2011-01-25

Applicant: 国立大学法人東北大学 ,  富士電機株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社

Inventor： 寺本 章伸 ,  神林 宏 ,  上田 博一 ,  両角 友一朗 ,  原田 豪繁 ,  長谷部 一秀 ,  大見 忠弘

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/338 ,  H01L29/778 ,  H01L29/812 ,  H01L29/786 ,  H01L21/316 ,  H01L21/31 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L21/02274 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/022 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/28264 ,  H01L23/564 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/205 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/51 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/778 ,  H01L29/7787 ,  H01L29/513 ,  H01L2924/0002

公开(公告)号：JP5807949B2

公开(公告)日：2015-11-10

申请号：JP2011107619

申请日：2011-05-12

Applicant: 国立大学法人東北大学

Inventor： 大見 忠弘 ,  大橋 朋貢 ,  吉川 和博 ,  吉田 達朗 ,  内村 徹平 ,  添田 一喜

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/02019 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/6708

公开(公告)号：JP5885904B2

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：JP2009184237

申请日：2009-08-07

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  国立大学法人東北大学

Inventor： 根本 剛直 ,  大見 忠弘 ,  大橋 朋貢 ,  後藤 哲也

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L21/3205

CPC classification number: H01L21/31612 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/76898

公开(公告)号：JP2015178069A

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：JP2014056696

申请日：2014-03-19

Applicant: 国立大学法人東北大学 ,  日本ゼオン株式会社

Inventor： 大見 忠弘 ,  白井 泰雪 ,  林 昌彦 ,  渡辺 昇

IPC: C08F6/10 ,  F16J15/12 ,  C08G61/08 ,  B01D1/22

Abstract: 【課題】従来よりも低い酸素濃度雰囲気での蒸発・濃縮を実現し得る遠心式薄膜蒸発器を提供する。 【解決手段】複数の円筒部材(4d 、4e)が接合された筐体部(4)と、前記筐体部の中心に回転軸(6)をもつ放射状の撹拌翼(8)とを有し、前記撹拌翼の回転により前記筐体部の内壁に薄膜状の溶液を形成し、前記溶液からの溶媒の蒸発を行う遠心式薄膜蒸発器(2)において、フランジ接合構造部分(20)の互いに対向する2つの前記フランジ部の対向面(30a、40a)の間には、第1シール部材及び前記第1シール部材より外側に所定の間隔を空けて備えられる第2シール部材を含む複数のリング状シール部材が設けられており、前記対向面における前記第1シール部材と前記第2シール部材の間に不活性ガスを供給する第1供給経路(70、170)と、前記対向面における前記第2シール部材の外側に不活性ガスを供給する第2供給経路(80、180)と、が設けられている。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够在比以前更低的氧浓度气氛中进行蒸发浓缩的离心薄膜蒸发器。解决方案：一种离心薄膜蒸发器（2），包括：壳体部分（4），其中多个 圆柱形构件（4d，4e）接合; 以及在壳体部分的中心具有旋转轴（6）的径向搅拌叶片（8），并且通过搅拌叶片的旋转在壳体部分的内壁上形成薄膜状溶液，从而进行蒸发 的溶剂。 其特征在于，在与所述第一密封部件的外侧隔开间隔设置的第一密封部件和第二密封部件的多个环状密封部件设置在与所述第一密封部件相对的两个凸缘部的相对面（30a，40a） 彼此相连的法兰接头结构部分（20），用于在相对表面上在第一密封件和第二密封件之间提供惰性气体的第一供应通道（70,170）和用于 提供在相对表面上的第二密封构件的外侧上提供惰性气体。

公开(公告)号：JP5700513B2

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：JP2010228406

申请日：2010-10-08

Applicant: 国立大学法人東北大学

Inventor： 大見 忠弘 ,  谷 員力

IPC: H01L23/532 ,  H01L21/314 ,  C23C16/32 ,  H01L21/321 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/76826 ,  C23C16/22 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/3212 ,  H01L21/76829 ,  H01L21/76831 ,  H01L21/7684 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/53266 ,  H01L23/5329 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002

公开(公告)号：JP6416486B2

公开(公告)日：2018-10-31

申请号：JP2014056696

申请日：2014-03-19

Applicant: 国立大学法人東北大学 ,  日本ゼオン株式会社

Inventor： 大見 忠弘 ,  白井 泰雪 ,  林 昌彦 ,  渡辺 昇

IPC: C08F6/10 ,  F16J15/12 ,  C08G61/08 ,  B01D1/22

公开(公告)号：JP6155423B2

公开(公告)日：2017-07-05

申请号：JP2015551261

申请日：2013-12-02

Applicant: 株式会社飯塚鉄工所 ,  国立大学法人東北大学

Inventor： 飯塚 肇 ,  川端 洋成 ,  大見 忠弘

IPC: F04C29/02 ,  F04C29/04 ,  F04C18/16

CPC classification number: F04C18/16 ,  F04C25/02 ,  F04C29/023 ,  F04C2240/807 ,  F04C29/0021 ,  F04C29/04

公开(公告)号：JP5841726B2

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：JP2011013425

申请日：2011-01-25

Applicant: 国立大学法人東北大学

Inventor： 神林 宏 ,  寺本 章伸 ,  大見 忠弘

IPC: H01L21/20 ,  H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/30604 ,  H01L21/02057 ,  H01L21/02521 ,  H01L21/302 ,  H01L21/30621 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66522 ,  H01L29/7783 ,  H01L29/7827 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/02507 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02664 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/51

公开(公告)号：JP5837733B2

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2009107139

申请日：2009-04-24

Applicant: 国立大学法人東北大学 ,  株式会社フジキン

Inventor： 大見 忠弘 ,  川田 幸司 ,  池田 信一 ,  森本 明弘 ,  皆見 幸男 ,  平尾 圭志 ,  坂本 信治 ,  北野 真史

IPC: B01J23/42 ,  C01B5/00

CPC classification number: B01J23/63 ,  B01J12/007 ,  B01J37/0244 ,  C01B5/00 ,  B01J23/42 ,  B01J35/023 ,  B01J37/0225

公开(公告)号：JP5835790B2

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2011014366

申请日：2011-01-26

Applicant: 国立大学法人東北大学

Inventor： 大見 忠弘 ,  田中 宏明

IPC: H01L27/092 ,  H01L29/417 ,  H01L21/28 ,  H01L27/08 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L21/8238

CPC classification number: H01L21/823418 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/84 ,  H01L27/1203