公开(公告)号：JP4408538B2

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：JP2000222882

申请日：2000-07-24

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: G01R31/28 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q30/20 ,  G01Q60/44 ,  G01R1/06 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01Q10/06 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/311 ,  H01J37/28

Abstract: A probe driving method and a probe apparatus for bringing a probe into contact with the surface of a sample in a safe and efficient manner by monitoring the probe height. Information about the height of the probe from the sample surface is obtained by detecting a probe shadow (54) appearing immediately before the probe contacts the sample, or based on a change in relative positions of a probe image and a sample image that are formed as an ion beam is irradiated diagonally.

公开(公告)号：JP4730319B2

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：JP2007024988

申请日：2007-02-05

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 淳 ▲高▼根 ,  貢 佐藤 ,  正 大高 ,  秀男 戸所 ,  亨 石谷 ,  孝 飯泉

IPC: H01J37/22 ,  G01B15/00 ,  G01N23/225 ,  H01J37/24 ,  H01J37/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image evaluation method to objectively evaluate image resolution of a microscope image. SOLUTION: The image evaluation method is characterized in that resolution in partial regions of an image is obtained over an entire area of the image or a portion of the image and averaged over the entire area of the image or the portion of the image, and that average is to be a resolution evaluation value of the entire area of the image or the portion of the image. With this structure, this method eliminates subjective impressions of an evaluator in evaluation of microscope image resolution, so that image resolution evaluation values of high accuracy and good repeatability can be obtained. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

公开(公告)号：JP4283876B2

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：JP2008205173

申请日：2008-08-08

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  光雄 徳田 ,  広康 志知 ,  馨 梅村 ,  英一 瀬谷 ,  亨 石谷 ,  秀夫 鹿島

IPC: G01N1/28

公开(公告)号：JP4221817B2

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：JP12958099

申请日：1999-05-11

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 博幸 武藤 ,  亨 石谷 ,  祐一 間所

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/30

公开(公告)号：JP5067296B2

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：JP2008188040

申请日：2008-07-22

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 毅 大西 ,  馨 梅村 ,  博幸 武藤 ,  亨 石谷

IPC: H01J37/317

公开(公告)号：JP4855598B2

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：JP2001204768

申请日：2001-07-05

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  広康 志知 ,  亨 石谷 ,  宗行 福田 ,  秀夫 鹿島

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/305 ,  H01J37/30

公开(公告)号：JP3597761B2

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：JP2000217096

申请日：2000-07-18

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 博幸 武藤 ,  亨 石谷 ,  祐一 間所

IPC: C23F4/00 ,  G21K7/00 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/3056 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

公开(公告)号：JP3495037B2

公开(公告)日：2004-02-09

申请号：JP2003032000

申请日：2003-02-10

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 裕史 助田 ,  毅 大西 ,  亨 石谷

IPC: H01J37/20 ,  B25J7/00 ,  H01J37/317

公开(公告)号：JP4996648B2

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：JP2009108190

申请日：2009-04-27

Applicant: 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立超エル・エス・アイ・システムズ

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  朗 嶋瀬 ,  有俊 杉本 ,  淳三 東 ,  有一 濱村 ,  亨 石谷 ,  雄 関原

IPC: H01L21/66 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  G01R31/302

公开(公告)号：JP4834705B2

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：JP2008223457

申请日：2008-09-01

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 聡 富松 ,  英巳 小池 ,  光雄 徳田 ,  広康 志知 ,  馨 梅村 ,  英一 瀬谷 ,  亨 石谷 ,  秀夫 鹿島

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317