-
公开(公告)号：JP2016191127A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：JP2015072367
申请日：2015-03-31
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
IPC: C23C14/34
Abstract: 【課題】簡単な構造で構成部品の成膜ローラに対する相対的な位置についての高い精度を維持することが可能な隔壁構造体を提供する。 【解決手段】隔壁構造体4は、成膜装置1のチャンバ2の内部に少なくとも1つの成膜ゾーン11を形成する。隔壁構造体4は、一対の隔壁21と、周方向制限部22とを備えている。周方向制限部22は、当該周方向制限部22と隔壁21との相対位置が固定されるように隔壁21につながっている。隔壁21の内側面21bは、隔壁21がチャンバ2に取り付けられたときに成膜ローラ3の外周面と隙間をおいて対向する。周方向制限部22は、成膜ローラ3外周面3aに面する成膜ゾーン11を形成する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种具有简单结构并能够相对于成膜辊的位置保持组分部件的位置的高精度的分隔壁结构。解决方案：分隔壁结构4形成至少一个膜 分隔壁结构4包括一对分隔壁21和圆周方向限制部22.圆周方向限制部22与分隔壁21连接。 壁21，使得圆周方向限制部22和隔壁21之间的相对位置是固定的。 分隔壁21的内表面21b在分隔壁21附接到室2时具有空间，与成膜辊3的外周面相对。周向限制部22形成面向 成膜辊3的外周面3a。图示：图2
-
-
公开(公告)号：JP5969953B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2013115045
申请日：2013-05-31
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
CPC classification number: H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01L21/67132 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332
-
公开(公告)号：JP5941016B2
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：JP2013110997
申请日：2013-05-27
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
IPC: C23C14/50
CPC classification number: C23C14/541 , C23C14/505
-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2021157963A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020057381
申请日：2020-03-27
Applicant: トヨタ自動車株式会社 , 株式会社神戸製鋼所
IPC: C23C14/58 , H01M8/0206
Abstract: 【課題】基材が汚染されることを抑制できる技術を提供する。 【解決手段】燃料電池用セパレータの処理装置は、チタン基材を収容し、予め定められた閾値以下の低酸素分圧の環境下において、予め定められた範囲内の温度でチタン基材に熱処理を行う軽酸化処理手段を備える。軽酸化処理手段は、軽酸化処理手段において真空排気を行う排気口を備え、排気口は、軽酸化処理手段内に配置されたチタン基材よりも下方となる処理装置の下面に配置されている。 【選択図】図2
-
-
公开(公告)号：JP6242594B2
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：JP2013115014
申请日：2013-05-31
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
CPC classification number: F26B25/001 , C23C14/021 , C23C14/562 , C23C16/0209 , C23C16/545
-
公开(公告)号：JP2016121380A
公开(公告)日：2016-07-07
申请号：JP2014262232
申请日：2014-12-25
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
CPC classification number: F27B9/145 , C23C14/02 , C23C14/541 , C23C14/562 , F27B9/28 , F27B9/36
Abstract: 【課題】ヒータからの輻射によるローラの温度の上昇に起因する基材の熱損傷を防ぐことが可能な熱処理装置を提供する。 【解決手段】熱処理装置は、基材10を案内する複数のローラ54〜58であってそれぞれが基材幅よりも大きなローラ幅を有するものと、基材幅よりも大きな幅寸法をもつ発熱面68A,68Bを有するヒータ65,66と、遮熱部材70と、を備える。遮熱部材70は、発熱面68A,68Bのうち基材10の幅方向の端から当該幅方向にはみ出て露出する発熱面露出部分と、複数のローラ54〜58に含まれる特定のローラのうち基材10の幅方向の端から発熱面露出部分と同じ側にはみ出て露出するローラ露出部分と、の間に介在し、発熱面露出部分からローラ露出部分の外周面への輻射を遮る。 【選択図】図4
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够防止由加热器的辐射导致的辊温度升高对基板的热损伤的热处理装置。热处理装置包括：多个辊54〜58，用于引导基板 10，其每一个具有比衬底宽度大的辊宽度; 加热器65,66具有宽度大于衬底宽度的加热表面68A，68B; 隔热构件70配置在通过从基板10的宽度方向的边缘向加热面68A，68B的宽度方向延伸而露出的加热面露出部和滚筒露出部 通过从基板10的宽度方向上包括在多个辊54至58中的特定辊的边缘延伸到加热表面暴露部分的同一侧，并将辐射从加热表面暴露部分屏蔽到外周 滚筒暴露部分的表面。选择图：图4
-
公开(公告)号：JP2021085066A
公开(公告)日：2021-06-03
申请号：JP2019214402
申请日：2019-11-27
Applicant: 株式会社神戸製鋼所
Abstract: 【課題】金属箔からなる基材に対して、高い処理精度で連続的に熱処理を行うことが可能な箔基材の真空熱処理装置、箔基材の熱処理方法を提供する。 【解決手段】真空熱処理装置1は、真空チャンバと、巻出し軸12と、巻取り軸46と、少なくとも表裏一対のヒーター22と、少なくとも基材の表裏一対の冷却パネル23と、を備える。箔基材Wは、真空チャンバ内で巻出し軸12から巻取り軸46に至る処理経路を搬送される。ヒーター22は、箔基材Wの処理経路において、箔基材Wの表面および裏面にそれぞれ対向して配置され箔基材Wを加熱する。冷却パネル23は、前記処理経路においてヒーター22よりも巻取り軸46側で、箔基材Wの表面および裏面にそれぞれ対向して配置され、箔基材Wを冷却する。 【選択図】図1
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
14
records
(took 0.025 seconds)
