プローブソケット
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018529951A

    公开(公告)日:2018-10-11

    申请号:JP2018512287

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 高周波(RF)用プローブソケットを提供する。 プローブソケットは、複数の信号用プローブを両端部が露出されるように相互平行に収容してノイズを遮蔽する導電性のノイズ遮蔽本体と、上記ノイズ遮蔽本体から複数の信号用プローブの露出両端部の間の一部の領域に延びている上部及び下部ノイズ遮断壁と、上記ノイズ遮蔽本体の上部及び下部にそれぞれ配置され、上記複数の信号用プローブの露出両端部をそれぞれ支持し、上記ノイズ遮断壁を収容する収容溝部を有する上部及び下部固定部材と、を含む。これによれば、上部及び下部固定部材を通過する信号用プローブピンの間を、遮蔽ブロックから延びているノイズ遮断壁によって遮蔽することによって、信号用プローブピン間のクロストークを防止することができる。

    貫通孔が形成された導電性粒子を有する検査用ソケット及びその製造方法

    公开(公告)号:JP2017103238A

    公开(公告)日:2017-06-08

    申请号:JP2017001124

    申请日:2017-01-06

    Abstract: 【課題】被検査デバイスとの接触による耐久性低下を防ぐ検査用ソケットを提供する。 【解決手段】被検査デバイス40と検査装置50との間に配置され、被検査デバイスの端子41と検査装置のパッド51とを互いに電気的に連結させる検査用ソケット10において、被検査デバイスの端子と対応する位置ごとに配置され、厚み方向への導電性を示す導電部20であって、導電部は、弾性絶縁物質内に、多数の導電性粒子21が厚み方向に配列されて配置される導電部と、それぞれの導電部を支持しながら絶縁させる絶縁性支持部30と、を含んで構成されるが、導電性粒子は、ある一面と、該一面以外の他の面とを貫通する貫通孔が設けられており、弾性絶縁物質は、貫通孔を充填していることを特徴とする検査用ソケットである。 【選択図】図3

    接着剤を用いて金属薄板を積層した半導体検査パッド及び製造方法
    9.
    发明专利
    接着剤を用いて金属薄板を積層した半導体検査パッド及び製造方法 审中-公开
    半导体检查垫和用于通过粘合剂的方式制造的金属板的层叠体的方法

    公开(公告)号:JP2016536567A

    公开(公告)日:2016-11-24

    申请号:JP2016513891

    申请日:2015-01-26

    CPC classification number: G01R1/0466 G01R3/00 G01R35/00

    Abstract: 【課題】本発明は半導体検査に使われる半導体検査パッドに関し、より詳しくは、金属薄板にフィルムを付着して1次シートを製造し、前記1次シートの金属薄板をエッチングし、積層した後、垂直切断して製造される、接着剤を用いて金属薄板を積層した半導体検査パッド及び製造方法に関する。【解決手段】本発明は、伝導性金属薄板に絶縁性フィルムを付着して1次シートが製造されるシート製造ステップと、前記1次シートの金属薄板を複数個のラインが形成されるようにエッチングして各ライン上の導電体が所定の距離だけ離隔した2次シートが製造されるエッチングステップと、前記2次シートを複数個積層して1つのスタックが製造される積層ステップと、前記積層されたスタックを所定の厚さに垂直切断する切断ステップとを含むことを特徴とする。【選択図】図1

    Abstract translation: 甲本发明涉及的半导体检查中使用的半导体测试焊盘,并且更具体地,该膜粘附到金属板以产生一个主片,蚀刻所述一次片材的金属板后进行层叠, 它由垂直地切断半导体检查焊盘和通过使用粘合剂层压薄金属板的制造方法来制造。 本发明中,作为主要的片材的片材制造工序是通过绝缘膜粘接到该导电性金属板制成,所述一次片材的金属片上形成的多条线的 上蚀刻一层压步骤导体和各行,并通过一预定的距离间隔开的次级片的蚀刻步骤中产生,其中的叠层所述通过堆叠多个第二片材制备,层压 其特征在于,它包括垂直切割堆叠到预定的厚度的切割工序。 点域1

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