レジストパターン形成方法
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    发明专利
    レジストパターン形成方法 审中-公开
    形成电阻图案的方法

    公开(公告)号:JP2015021981A

    公开(公告)日:2015-02-02

    申请号:JP2013147421

    申请日:2013-07-16

    IPC分类号: G03F7/38 C08F26/00 H01L21/027

    摘要: 【課題】レジスト組成物自体の組成を変えることなく、しかも使用することによって得られるレジストパターンの品質低下を伴わずに、効率よくディフェクトを減少させうる新規なEUVまたは電子線で露光処理する工程を含むレジストパターンの形成方法を提供する。【解決手段】水溶性またはアルカリ可溶性ポリマーの溶液からなるリソグラフィー用現像前処理剤を用いて現像前処理を行う。【選択図】なし

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种形成抗蚀剂图案的方法,其包括使抗蚀剂组合物暴露于EUV或电子束的新方法,通过该方法可以有效降低缺陷,而不改变抗蚀剂组合物本身的构成,并且不引起降解 通过使用处理剂获得的抗蚀剂图案的质量。解决方案:通过使用包含水溶性或碱溶性聚合物溶液的用于光刻的显影预处理剂进行显影预处理。

    Cationic polymerization catalyst consisting of boron trifluoride-tetrahydropyran complex and production method for polymer using the catalyst
    9.
    发明专利
    Cationic polymerization catalyst consisting of boron trifluoride-tetrahydropyran complex and production method for polymer using the catalyst 审中-公开
    包含三氟化硼 - 四氢吡喃复合物的阳离子聚合催化剂和使用催化剂的聚合物的生产方法

    公开(公告)号:JP2009067901A

    公开(公告)日:2009-04-02

    申请号:JP2007238171

    申请日:2007-09-13

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an easy-to-handle catalyst having high polymerization activity and hardly imparting an environmental load, and to provide a polymerization method using the catalyst, in cationic polymerization.
    SOLUTION: In this production method for a polymer, a boron trifluoride-tetrahydropyran complex is used as the cationic polymerization catalyst, and monomers (a vinyl ether compound, a styrene compound, an N-vinyl compound) each containing a double bond are polymerized. The cationic polymerization catalyst used for the method consists of the boron trifluoride-tetrahydropyran complex.
    COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    摘要翻译: 要解决的问题:为了提供具有高聚合活性和难以赋予环境负荷的易于处理的催化剂,并且在阳离子聚合中提供使用该催化剂的聚合方法。 解决方案:在该聚合物的制造方法中,使用三氟化硼 - 四氢吡喃络合物作为阳离子聚合催化剂,并且各自含有双键的单体(乙烯基醚化合物,苯乙烯化合物,N-乙烯基化合物) 被聚合。 用于该方法的阳离子聚合催化剂由三氟化硼 - 四氢吡喃络合物组成。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT