公开(公告)号：KR101985922B1

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：KR1020167020830

申请日：2014-02-04

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 뱅거트,슈테판 ,  슈외클러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

公开(公告)号：KR1020160118251A

公开(公告)日：2016-10-11

申请号：KR1020167020830

申请日：2014-02-04

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 뱅거트,슈테판 ,  슈외클러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/56 ,  B05D1/60 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C14/564 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  C23C14/50

摘要： 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.

摘要翻译： 描述了一种用于在其中沉积一层或多层，特别是其中包括有机材料的层的系统。 该系统包括用于加载要处理的基板的负载锁定室，用于输送基板的传送室，设置在负载锁定室和传送室之间的真空摆动模块，至少一个用于在真空室中沉积材料的沉积设备 的至少一个沉积室，其中所述至少一个沉积设备连接到所述传送室; 用于卸载已经被处理的基底的另外的负载锁定室，用于输送基板的另外的传送室，设置在另外的负载锁定室和另外的传送室之间的另外的真空摆动模块，以及来自另外的真空的载体返回轨道 摆动模块到真空摆动模块，其中载体返回轨道构造成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下运输载体。

公开(公告)号：KR102151616B1

公开(公告)日：2020-09-03

申请号：KR1020177018039

申请日：2014-02-04

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 뱅거트,슈테판 ,  슈외클러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

公开(公告)号：KR1020170081714A

公开(公告)日：2017-07-12

申请号：KR1020177018039

申请日：2014-02-04

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 뱅거트,슈테판 ,  슈외클러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/56 ,  B05D1/60 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C14/564 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  C23C14/50

摘要： 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.

摘要翻译： 描述了用于沉积一个或多个层，特别是层中包含有机材料的层的系统。 该系统包括用于装载待处理基板的装载锁定室，用于传送基板的传送室，设置在传送室与装载锁定室之间的真空摆动模块，至少一个沉积装置， 至少一个沉积设备连接到传送室，用于卸载处理后的衬底的附加负载锁定室，用于传送衬底的附加传送室，用于传送衬底的附加传送室， 在腔室和附加负载锁定腔室之间提供附加的真空摆动模块，以及从附加真空摆动模块到真空摆动模块的载体返回轨道，其中载体返回轨道处于真空条件下和/ 在惰性气氛下运输载体。