公开(公告)号：KR1020180044578A

公开(公告)日：2018-05-03

申请号：KR1020160138263

申请日：2016-10-24

申请人： 주식회사 선익시스템

发明人： 최지현

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  C23C14/52

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/042 ,  C23C14/505 ,  C23C14/52 ,  H01L21/682 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L51/0011

摘要： 본발명은분리형구동축을갖는박막증착장치의자동정렬장치에관한것으로, 보다상세하게는박막증착장치의자동정렬장치에있어마그넷플레이트를승강시킴과동시에, 기판과마스크를정렬시키기위해회전하는구동축을벨로즈의상측및/또는하측에서분리형으로제작함으로써, 벨로즈의유지보수시에종래와같이전체구동축을분리하지않고도구동축의상측분리부를하측분리부로부터간단히분리할수 있도록되어작업시간이대폭단축되고보다효율적인작업이가능한분리형구동축을갖는박막증착장치의자동정렬장치에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020180041868A

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：KR1020160134141

申请日：2016-10-17

申请人： 주식회사 선익시스템

发明人： 최지현

IPC分类号： H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/677 ,  C23C14/50

CPC分类号： H01L51/56 ,  C23C14/505 ,  H01L21/67712 ,  H01L51/0008

摘要： 본발명은리볼버셀 분리용지그장치및 이를이용한리볼버셀의분리방법에관한것으로, 보다상세하게는하단에일체로연장되는리볼버셀 하측지지부를구비하는리볼버셀 지지샤프트를리볼버셀 내부의공간으로삽입하여리볼버셀 조립체의상측에서유지보수할셀을간단히들어올려셀 조립체로부터분리할수 있도록하여챔버크기나챔버내부의공간제약없이작업이용이하게이루어질수 있는리볼버셀 분리용지그장치및 이를이용한리볼버셀의분리방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101698446B1

公开(公告)日：2017-01-20

申请号：KR1020117030911

申请日：2010-05-25

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 모리슨,네일 ,  헤어초크,안드레 ,  하인,슈테판 ,  스쿠크,페터

IPC分类号： H01J37/32 ,  C23C14/50

CPC分类号： H01J37/32 ,  C23C14/505 ,  H01J37/3277

摘要： 증착가스를플라즈마상으로전이시키고, 진공챔버내에서기판이송방향으로이동하는기판상에플라즈마상으로부터박막을증착하기위한플라즈마증착소스가설명된다. 플라즈마증착소스는, 진공챔버내에위치되도록적응되며이동하는기판에대향되게배열된적어도하나의 RF 전극을포함하는다영역전극디바이스, 및 RF 전극에 RF 전력을공급하도록적응된 RF 전력생성기를포함한다. RF 전극은, RF 전극의하나의에지에배열된적어도하나의가스유입구, 및 RF 전극의대향된에지에배열된적어도하나의가스배출구를갖는다. 전극길이로제산된플라즈마볼륨에의해, 정규화된플라즈마볼륨이제공되고, 플라즈마볼륨은전극표면및 대향하는기판위치사이에서정의된다. 정규화된플라즈마볼륨은증착가스의공핍길이로튜닝된다.

摘要翻译： 一种等离子体沉积源，用于将沉积气体转移到等离子体相中，并且用于从等离子体相将薄膜沉积到在真空室中沿基板输送方向移动的基板上。 等离子体沉积源包括多区域电极装置，其适于定位在真空室中并且包括与移动衬底相对布置的至少一个RF电极，以及适于向RF电极提供RF功率的RF发生器。 RF电极具有布置在RF电极的一个边缘处的至少一个气体入口和布置在RF电极的相对边缘处的至少一个气体出口。 通过在电极表面和相对的衬底位置之间限定的等离子体体积除以电极长度来提供归一化的等离子体体积。 归一化的等离子体体积被调节到沉积气体的耗尽长度。

公开(公告)号：KR1020170004002A

公开(公告)日：2017-01-10

申请号：KR1020167035115

申请日：2015-04-30

申请人： 가부시키가이샤 고베 세이코쇼

发明人： 히로타사토시

IPC分类号： B23P15/28 ,  B23B27/14 ,  B23B51/00 ,  B23C5/16

CPC分类号： C23C14/081 ,  B23B51/00 ,  B23B2224/08 ,  B23B2224/24 ,  B23B2228/08 ,  B23C5/16 ,  B23C2224/24 ,  B23C2228/08 ,  C23C14/024 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/325 ,  C23C14/345 ,  C23C14/352 ,  C23C14/505

摘要： 티타늄을포함하는층과알루미나의층의계면에있어서의피막의밀착불량을방지하는기계가공용공구를제공한다. 물리증착법(PVD)에의해기재(21)의표면에복수층의피막을형성하는기계가공용공구의제조방법이며, 기재(21)의표면에티타늄의질화물또는탄화물을포함하는제1층(22)을형성하는제1층형성공정과, 제1층(22)의표면을덮는배리어층(23)을형성하는제1 배리어층형성공정과, 배리어층(23)의표면에산화알루미늄을포함하는제2층(24)을형성하는제2층형성공정을포함하는것을특징으로하는기계가공용공구의제조방법.

摘要翻译： 一种用于加工的工具，其中防止了包含钛和氧化铝层的层的界面处的涂膜的有缺陷的粘附。 提供一种用于制造用于机械加工的工具的方法，其中通过物理气相沉积（PVD）在基材的表面上形成多层涂层，所述方法包括：形成第一层 在基材的表面上含有钛的氮化物或碳化物的层; 第一阻挡层形成步骤，形成覆盖所述第一层的表面的阻挡层; 以及第二层形成步骤，在阻挡层的表面上形成含有氧化铝的第二层。

公开(公告)号：KR101689552B1

公开(公告)日：2016-12-26

申请号：KR1020100009272

申请日：2010-02-01

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 쉬아우어,로날드베른 ,  다스콜리,라파엘 ,  발가바,쉬반

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  C23C14/50

CPC分类号： H01L21/67259 ,  C23C14/505 ,  G01P3/00 ,  G01P13/00 ,  G05B19/418 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68792

摘要： 챔버모니터시스템은, 단일센서제어시스템이다수의상이한처리챔버제어보드센서라인들에결합되는병렬구조를포함할수 있다. 예시적인실시예에서, 타코미터(tachometer)와같은단일회전센서는처리챔버로부터떨어진중앙제어유닛에위치하여회전데이터가단일시스템에의해처리되고이후여러상이한네트워크통신프로토콜에따라주 시스템제어기나, 팩토리인터페이스(factory interface), 또는이들모두로라우팅될수 있다. 이러한실시예및 기타의실시예에서, 챔버제어보드및 중앙제어유닛내의풀업네트워크(pull-up network)는크로바효과(crowbar effect)와같은전기신호이상을감소시키도록매칭된다. 중앙제어유닛은주 시스템제어기를통해사용자가정의한파라미터에따라작동하도록프로그램될수 있으며, 이는계속해서시스템이일정한작동상태를구별할수 있게한다.

摘要翻译： 室监视系统可以包括其中单个传感器控制系统耦合到多个不同处理室控制板传感器线的并行结构。 在说明性实施例中，诸如转速计的单个旋转传感器可以驻留在远离处理室的中央控制单元中，使得旋转数据可以由单个系统处理，然后根据各种不同的网络通信协议被路由到 主系统控制器，工厂接口或两者兼容。 在该实施例和其他实施例中，中央控制单元和室控制板中的上拉网络匹配，以便减少电信号异常，例如撬棍效应。 中央控制单元可以经由主系统控制器来编程，以根据用户定义的参数进行操作，这进而可以使得系统能够区分某些操作状态。

公开(公告)号：KR1020160118251A

公开(公告)日：2016-10-11

申请号：KR1020167020830

申请日：2014-02-04

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 뱅거트,슈테판 ,  슈외클러,우베 ,  디에구에츠-챔포,요제마누엘 ,  하아스,디에터

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/56 ,  B05D1/60 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C14/564 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  C23C14/50

摘要： 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.

摘要翻译： 描述了一种用于在其中沉积一层或多层，特别是其中包括有机材料的层的系统。 该系统包括用于加载要处理的基板的负载锁定室，用于输送基板的传送室，设置在负载锁定室和传送室之间的真空摆动模块，至少一个用于在真空室中沉积材料的沉积设备 的至少一个沉积室，其中所述至少一个沉积设备连接到所述传送室; 用于卸载已经被处理的基底的另外的负载锁定室，用于输送基板的另外的传送室，设置在另外的负载锁定室和另外的传送室之间的另外的真空摆动模块，以及来自另外的真空的载体返回轨道 摆动模块到真空摆动模块，其中载体返回轨道构造成在真空条件下和/或在受控的惰性气氛下运输载体。

公开(公告)号：KR1020160110535A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：KR1020167024626

申请日：2012-12-06

申请人： 도시바 덴시칸 디바이스 가부시키가이샤

发明人： 치요마히토시 ,  요시다아츠야 ,  마츠야마와타루 ,  야마모토도요오 ,  아이다히로시 ,  심바유이치

IPC分类号： G21K4/00 ,  G01T1/20 ,  B32B9/00

CPC分类号： G01T1/20 ,  C23C14/0694 ,  C23C14/225 ,  C23C14/24 ,  C23C14/505 ,  G01T1/202 ,  G21K4/00 ,  B32B9/00

摘要： 방사선검출패널의제조방법은, 증발원으로부터연직상방측에서, 광전변환기판(21)의증착면이증발원에노출되고연직축에대하여비스듬한상태로광전변환기판을배치한다. 증발원에의해신틸레이터재를증발시켜연직상방을향하여방사하며, 상기증착면상에신틸레이터재를증착시켜형광체막을형성한다.

公开(公告)号：KR1020160100913A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：KR1020167010776

申请日：2014-09-25

申请人： 비전 이즈, 엘피

发明人： 보울리노,마이클,에스. ,  고벨,샌디 ,  에가트,카일

IPC分类号： G02B1/10 ,  C23C14/50

CPC分类号： G02B1/11 ,  C23C14/505 ,  G02B1/10

摘要： 렌즈고정조립체를각각수용하는복수개의개구부들을가지는드럼또는하우징을이용하고예를들어, 기상증착에의해광학렌즈들을코팅하기위한시스템및 방법. 상기렌즈고정조립체는표준의비절삭광학렌즈또는렌즈블랭크를고정하거나선택적으로절삭된비 표준형상및 크기를가진광학렌즈를고정하는구조를가진다.

公开(公告)号：KR1020150125086A

公开(公告)日：2015-11-09

申请号：KR1020140051534

申请日：2014-04-29

申请人： 현대제철 주식회사 ,  삼보모터스주식회사

发明人： 이재호 ,  김근호 ,  전유택 ,  정연수 ,  한영훈 ,  조창완 ,  박준영 ,  김현찬

IPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C16/458 ,  C23C16/54

CPC分类号： H01M8/0228 ,  C23C14/0605 ,  C23C14/505 ,  C23C16/26 ,  C23C16/4588 ,  H01M8/0206

摘要： 연료전지분리판의코팅작업시, 연료전지분리판이대기중에노출되는것이없이그 양면이코팅되도록하기위해연료전지분리판을안정적으로회전시키는것이가능하도록설계된기어타입의회전식코팅장치에대하여개시한다. 본발명에따른기어타입의회전식코팅장치는챔버내에설치되는트레이; 상기트레이의양단에각각체결되며, 복수의연료전지분리판을탑재하기위한복수의지지틀; 상기복수의지지틀양단에각각체결된복수의구동축; 상기복수의지지틀양단과이격된외측에각각장착된복수의랙 기어레일; 및상기복수의랙 기어레일상에탑재되어상기복수의구동축에각각결합되며, 상기복수의랙 기어레일을따라수평왕복운동하여상기복수의지지틀및 복수의연료전지분리판을각각회전시키는복수의피니언기어;를포함하는것을특징으로한다.

摘要翻译： 公开了一种齿轮型旋转涂覆装置，其被设计成能够稳定地旋转燃料电池的双极板，使得可以在涂覆双极板的操作期间将两个表面涂覆而不将燃料电池的双极板暴露于大气中 的燃料电池。 根据本发明，齿轮式旋转涂布装置包括：安装在室中的托盘; 分别耦合到所述托盘的两端的多个支撑框架，以及安装多个燃料电池的双极板; 分别耦合到所述多个支撑框架的两端的多个驱动轴; 安装在从所述多个支撑框架的两端分离的外侧的多个齿条; 以及多个小齿轮，其安装在所述多个齿条轨道上，以分别与所述多个驱动轴组合，并且沿着所述多个齿条齿轮水平往复运动，以使所述多个支撑框架和所述多个 燃料电池。

公开(公告)号：KR1020150042011A

公开(公告)日：2015-04-20

申请号：KR1020130120698

申请日：2013-10-10

申请人： 한국과학기술연구원

发明人： 김주선 ,  권은석 ,  김슬기 ,  김병국

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01M4/13 ,  H01M10/36

CPC分类号： C23C14/226 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/505 ,  H01M4/0426

摘要： 본발명은나노선들을포함하는박막전극의제조방법, 나노선박막전극및 이를포함하는박막전지에대한것으로, 스퍼터링법을이용하여경사형또는나선형나노선박막을제조하는방법을제공한다. 이를이용하면, 경사진형태나나선형형태와같은미세구조가제어된나노선들이정렬되어있는박막을기판상에성장시키면서도이들의조성이나결정성, 미세구조등의제어가가능하여넓은접촉면적을가진금속산화물전극을제공할수 있고, 박막전지에활용시에고출력특성, 고속충방전특성을얻을수 있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种包含纳米线的薄膜的制备方法，该薄膜包括纳米线，以及包含该纳米线的薄膜电池。 它提供了使用溅射法倾斜或螺旋形的纳米线薄膜的制造方法。 使用该方法，可以在不使用板状物倾斜或螺旋形状的情况下用纳米线定相薄膜来控制组成或结晶度或微细结构。 因此，当使用薄膜电池时，可以提供具有宽接触面的金属氧化物电极，并且可以获得大的输出和高速充放电。