방향족 술포늄염 화합물, 광산 발생제, 레지스트 조성물, 양이온 중합 개시제 및 양이온 중합성 조성물
    1.
    发明公开
    방향족 술포늄염 화합물, 광산 발생제, 레지스트 조성물, 양이온 중합 개시제 및 양이온 중합성 조성물 审中-实审
    芳香族锍盐化合物,光酸产生剂,抗蚀剂组合物,阳离子聚合引发剂和阳离子聚合性组合物

    公开(公告)号:KR1020170129230A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:KR1020177029933

    申请日:2015-03-18

    Abstract: 본발명은, 기판에대한부식성이낮고, 포토리소그래피특성이우수한광산발생제및 양이온중합제에유용한방향족술포늄염화합물, 이것을사용한광산발생제, 레지스트조성물, 양이온중합개시제및 양이온중합성조성물을제공한다. 하기일반식(I),[식(I) 중, R∼R은각각독립적으로수소원자, 할로겐원자, 수산기, 니트로기, 시아노기, 치환기를가져도되는탄소원자수 1∼18의알킬기등을나타내고, R∼R는각각독립적으로수소원자, 치환기를가져도되는탄소원자수 1∼18의알콕시기등을나타내고, R∼R중하나이상은수소원자가아니고, X은 1가의유기술폰산음이온을나타냄]로나타내는방향족술포늄염화합물이다.

    Abstract translation: 本发明中,在基板上的耐腐蚀性低,光刻特性是有用的芳族优异的光产酸剂和阳离子聚合的锍盐化合物,使用该矿井发生提供的抗蚀剂组合物,阳离子聚合引发剂和阳离子的组合物 。 的下述通式(I)中,[式(I),R〜R各自独立地表示氢原子,卤原子,羟基,硝基,氰基,烷基为1〜18个碳原子的是取代基如gajyeodo, R〜R各自独立地表示氢原子,gajyeodo取代基如烷氧基的1至18个碳原子,R〜R值不要重yisangeun或氢原子,X是由下式表示的芳族磺酸盐表示一价有机酸阴离子; Lt。

    술포늄염, 광산 발생제 및 감광성 수지 조성물
    4.
    发明授权
    술포늄염, 광산 발생제 및 감광성 수지 조성물 有权
    硫酸盐光生酸剂和感光树脂组合物

    公开(公告)号:KR101700980B1

    公开(公告)日:2017-01-31

    申请号:KR1020117021693

    申请日:2010-02-04

    Abstract: i 선에고광감응성술포늄염을제공한다. 본발명은하기식 (1) 로나타내는술포늄염이다.[식 (1) 중, R∼R은서로독립적으로, 알킬기, 하이드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소고리형탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 하이드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어있어도되는아미노기, 시아노기, 니트로기또는할로겐원자를나타내고, m∼m은각각 R∼R의개수를나타내고, m, m및 m은 0∼5 의정수, m, m및 m는 0∼4 의정수, X는 1 가의다원자아니온을나타낸다]

    Abstract translation: 提供了对i线具有高光敏性的锍盐。 本发明涉及下述式(1)表示的锍盐:[式(1)中,R 1〜R 6各自独立地表示烷基,羟基,烷氧基,烷基羰基,芳基羰基 烷氧基羰基,芳氧基羰基,芳硫基羰基,酰氧基,芳硫基,烷硫基,芳基,杂环烃基,芳氧基,烷基亚磺酰基,芳基亚磺酰基,烷基磺酰基, 芳基磺酰基,羟基(聚)亚烷基氧基,任选取代的氨基,氰基,硝基或卤素原子,m 1至m 6各自表示R 1至R 6各自的出现次数 ,m 1,m 4和m 6各自表示0〜5的整数,m 2,m 3,m 5分别表示0〜4的整数,X - 表示1价的多原子阴离子]。

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