封裝裝置
    5.
    发明专利
    封裝裝置 审中-公开
    封装设备

    公开(公告)号:TW201436121A

    公开(公告)日:2014-09-16

    申请号:TW103103884

    申请日:2014-02-06

    IPC分类号: H01L23/12 H01L23/48

    摘要: 本揭露提供半導體元件於可撓基板上之超薄封裝結構之形成方法及裝置。一可撓基板可包括多層絕緣層及重分佈層。該可撓基板之開口可形成於該可撓基板之一側、該可撓基板之兩側或簡單地切穿該可撓基板,將該可撓基板分成兩部分。連接器可設置於該可撓基板之該開口內並連接該可撓基板之該重分佈層。晶粒可貼附至該連接器並電性連接該連接器與該可撓基板之該重分佈層。結構支撐可設置於該可撓基板之另一側,位於表面或於一開口內。

    简体摘要: 本揭露提供半导体组件于可挠基板上之超薄封装结构之形成方法及设备。一可挠基板可包括多层绝缘层及重分布层。该可挠基板之开口可形成于该可挠基板之一侧、该可挠基板之两侧或简单地切穿该可挠基板,将该可挠基板分成两部分。连接器可设置于该可挠基板之该开口内并连接该可挠基板之该重分布层。晶粒可贴附至该连接器并电性连接该连接器与该可挠基板之该重分布层。结构支撑可设置于该可挠基板之另一侧,位于表面或于一开口内。