半導體元件及半導體元件的製造方法
    2.
    发明专利
    半導體元件及半導體元件的製造方法 审中-公开
    半导体组件及半导体组件的制造方法

    公开(公告)号:TW201727776A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:TW105139913

    申请日:2016-12-02

    Abstract: 本發明提供一種可抑制製造成本且良率高的半導體元件及半導體元件的製造方法。本發明的半導體元件中,第1基體11及第2基體12彼此隔開間隔而配置,且分別在彼此相向的位置設有第1電極21c及第2電極22c。導體薄膜13具有包含絕緣體的片材狀基材23、與包含直徑為奈米尺寸的柱狀導體的多個連接柱24。基材23以填充彼此隔開間隔而平行配置的各連接柱24之間的方式而配置。各連接柱24以兩端部24a分別從基材23兩面突出的方式而設置。導體薄膜13配置在第1基體11與第2基體12之間,各連接柱24的兩端部24a分別接合於第1電極21c及第2電極22c,以將第1電極21c與第2電極22c電性連接。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种可抑制制造成本且良率高的半导体组件及半导体组件的制造方法。本发明的半导体组件中,第1基体11及第2基体12彼此隔开间隔而配置,且分别在彼此相向的位置设有第1电极21c及第2电极22c。导体薄膜13具有包含绝缘体的片材状基材23、与包含直径为奈米尺寸的柱状导体的多个连接柱24。基材23以填充彼此隔开间隔而平行配置的各连接柱24之间的方式而配置。各连接柱24以两端部24a分别从基材23两面突出的方式而设置。导体薄膜13配置在第1基体11与第2基体12之间,各连接柱24的两端部24a分别接合于第1电极21c及第2电极22c,以将第1电极21c与第2电极22c电性连接。

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