倒轉、無基板式晶片上之光學裝置
    4.
    发明专利
    倒轉、無基板式晶片上之光學裝置 审中-公开
    倒转、无基板式芯片上之光学设备

    公开(公告)号:TW201337363A

    公开(公告)日:2013-09-16

    申请号:TW101144002

    申请日:2012-11-23

    IPC分类号: G02B6/12

    摘要: 一種混合積體模組包含面對面地、機械地耦合至積體裝置的半導體晶粒,在半導體裝置中,基板已被移除。舉例而言,積體電路包含製作於絕緣體上的矽(SOI)晶圓上之載送光訊號的光波導,在絕緣體上的矽晶圓中,背側矽基板或操作器已被完全移除。此外,光學裝置係配置於積體裝置中的氧化物層(例如,埋入的氧化物層)的底表面上,並且,將積體裝置中的幾何形狀及材料選擇及/或界定成使得光訊號係衰減地耦合於光波導與光學裝置之間。

    简体摘要: 一种混合积体模块包含面对面地、机械地耦合至积体设备的半导体晶粒,在半导体设备中,基板已被移除。举例而言,集成电路包含制作于绝缘体上的硅(SOI)晶圆上之载送光信号的光波导,在绝缘体上的硅晶圆中,背侧硅基板或操作器已被完全移除。此外,光学设备系配置于积体设备中的氧化物层(例如,埋入的氧化物层)的底表面上,并且,将积体设备中的几何形状及材料选择及/或界定成使得光信号系衰减地耦合于光波导与光学设备之间。