公开(公告)号：TW201438146A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：TW103100418

申请日：2014-01-06

申请人： 萬國商業機器公司 ,  INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

发明人： 鄭田仁 ,  CHENG, TIEN-JEN ,  法洛奎 莫塔G ,  FAROOQ, MUKTA G. ,  費茲西門斯 約翰A ,  FITZSIMMONS, JOHN A.

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/52

CPC分类号： H01L25/0657 ,  H01L23/481 ,  H01L23/488 ,  H01L23/5386 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/32 ,  H01L24/80 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/03464 ,  H01L2224/038 ,  H01L2224/03825 ,  H01L2224/03829 ,  H01L2224/039 ,  H01L2224/05005 ,  H01L2224/05017 ,  H01L2224/05025 ,  H01L2224/05073 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05541 ,  H01L2224/05551 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/08145 ,  H01L2224/27464 ,  H01L2224/27831 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32146 ,  H01L2224/80203 ,  H01L2224/80447 ,  H01L2224/80895 ,  H01L2224/83895 ,  H01L2224/94 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/1011 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2224/80 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2224/03616 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2224/05552

摘要： 本發明提供一種穩定精細紋理化金屬微結構，其構成可用於接合一3D堆疊式晶片之一耐久活化表面。抵抗自退火之一精細顆粒層實現在適度時間及溫度與較寬廣之製程靈活性下的金屬對金屬接合。

简体摘要： 本发明提供一种稳定精细纹理化金属微结构，其构成可用于接合一3D堆栈式芯片之一耐久活化表面。抵抗自退火之一精细颗粒层实现在适度时间及温度与较宽广之制程灵活性下的金属对金属接合。

公开(公告)号：TWI594368B

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：TW103100418

申请日：2014-01-06

申请人： 萬國商業機器公司 ,  INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

发明人： 鄭田仁 ,  CHENG, TIEN-JEN ,  法洛奎 莫塔G ,  FAROOQ, MUKTA G. ,  費茲西門斯 約翰A ,  FITZSIMMONS, JOHN A.

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/52

CPC分类号： H01L25/0657 ,  H01L23/481 ,  H01L23/488 ,  H01L23/5386 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/32 ,  H01L24/80 ,  H01L24/83 ,  H01L24/94 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/03464 ,  H01L2224/038 ,  H01L2224/03825 ,  H01L2224/03829 ,  H01L2224/039 ,  H01L2224/05005 ,  H01L2224/05017 ,  H01L2224/05025 ,  H01L2224/05073 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05541 ,  H01L2224/05551 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05655 ,  H01L2224/08145 ,  H01L2224/27464 ,  H01L2224/27831 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32146 ,  H01L2224/80203 ,  H01L2224/80447 ,  H01L2224/80895 ,  H01L2224/83895 ,  H01L2224/94 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/1011 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2224/80 ,  H01L2224/05155 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2224/03616 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2224/05552