單晶提拉裝置用石墨坩堝及其製造方法
    8.
    发明专利
    單晶提拉裝置用石墨坩堝及其製造方法 审中-公开
    单晶提拉设备用石墨坩埚及其制造方法

    公开(公告)号:TW201245510A

    公开(公告)日:2012-11-16

    申请号:TW101103242

    申请日:2012-02-01

    IPC分类号: C30B

    摘要: [課題]提供一種成為能夠長壽命化之單晶提拉裝置用石墨坩堝及其製造方法。[解決手段]將石英坩堝(1)作保持之石墨坩堝(2),係由作為石墨坩堝成形體之石墨坩堝基材(3)、和被形成在石墨坩堝基材(3)之表面全體上的由酚樹脂之碳化物所成之被膜(4),而構成之。酚樹脂,係一直被含浸至存在於石墨坩堝基材(3)表面上之開氣孔(5)的內部處。被膜(4)之形成,係並不被限定於石墨坩堝之表面的全體,而亦可僅被形成在容易進行SiC化之部分處。例如,亦可僅在坩堝之內面而全體性地作析出,亦可僅在內面中之彎曲部(小R部)處作析出,又或是,亦可僅在彎曲部和軀幹部處作析出。

    简体摘要: [课题]提供一种成为能够长寿命化之单晶提拉设备用石墨坩埚及其制造方法。[解决手段]将石英坩埚(1)作保持之石墨坩埚(2),系由作为石墨坩埚成形体之石墨坩埚基材(3)、和被形成在石墨坩埚基材(3)之表面全体上的由酚树脂之碳化物所成之被膜(4),而构成之。酚树脂,系一直被含浸至存在于石墨坩埚基材(3)表面上之开气孔(5)的内部处。被膜(4)之形成,系并不被限定于石墨坩埚之表面的全体,而亦可仅被形成在容易进行SiC化之部分处。例如,亦可仅在坩埚之内面而全体性地作析出,亦可仅在内面中之弯曲部(小R部)处作析出,又或是,亦可仅在弯曲部和躯干部处作析出。