公开(公告)号：TW201733689A

公开(公告)日：2017-10-01

申请号：TW106121436

申请日：2015-01-29

申请人： 應用材料股份有限公司 ,  APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： 班格特史丹分 ,  BANGERT,STEFAN ,  史奇伯勒佑維 ,  SCHUBLER,UWE ,  地古坎柏喬斯曼紐 ,  DIEGUEZ-CAMPO,JOSE MANUEL ,  海斯戴德 ,  HAAS,DIETER

IPC分类号： B05D1/00 ,  B05D1/02 ,  B05D3/04 ,  B65G49/05 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/56 ,  B05D1/60 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562 ,  C23C14/564 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011

摘要： 敘述一種用於沉積一或多層的系統，所述層特別是包含有機材料於其中的層。系統包含：一第一裝載室；一第一移送室和一第二移送室，用於傳送基板；一直線型沉積系統部分，包括二或多個沉積設備，該些沉積設備提供在第一移送室和第二移送室之間，並適用於從一沉積設備往一相鄰沉積設備的載具傳送，其中該些沉積設備包括一可移動且可轉向的蒸發源；以及一第二裝載室。

简体摘要： 叙述一种用于沉积一或多层的系统，所述层特别是包含有机材料于其中的层。系统包含：一第一装载室；一第一移送室和一第二移送室，用于发送基板；一直线型沉积系统部分，包括二或多个沉积设备，该些沉积设备提供在第一移送室和第二移送室之间，并适用于从一沉积设备往一相邻沉积设备的载具发送，其中该些沉积设备包括一可移动且可转向的蒸发源；以及一第二装载室。

公开(公告)号：TW201730076A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：TW106103780

申请日：2017-02-06

申请人： 大福股份有限公司 ,  DAIFUKU CO., LTD.

发明人： 衣川知孝 ,  KINUGAWA, TOMOTAKA ,  大塚洋 ,  OTSUKA, HIROSHI

IPC分类号： B65G43/08 ,  B65G47/62

CPC分类号： H01L21/67715 ,  B61L25/025 ,  B61L27/04 ,  B61L2201/00 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

摘要： 控制裝置以藉由第1檢測部檢測出物品搬送車於第1路徑行進並進入了管理區域、且藉由第2檢測部或第3檢測部檢測出於選擇路徑存在另一物品搬送車為條件，執行停止控制，控制裝置以藉由第1檢測部檢測出物品搬送車於第1路徑行進並進入了管理區域、且未藉由第2檢測部或第3檢測部檢測出於選擇路徑存在另一物品搬送車為條件，執行行進控制。

简体摘要： 控制设备以借由第1检测部检测出物品搬送车于第1路径行进并进入了管理区域、且借由第2检测部或第3检测部检测出于选择路径存在另一物品搬送车为条件，运行停止控制，控制设备以借由第1检测部检测出物品搬送车于第1路径行进并进入了管理区域、且未借由第2检测部或第3检测部检测出于选择路径存在另一物品搬送车为条件，运行行进控制。

公开(公告)号：TW201727808A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：TW105131229

申请日：2016-09-29

申请人： 蘭姆研究公司 ,  LAM RESEARCH CORPORATION

发明人： 梵古 詹姆斯 史帝芬 ,  VAN GOGH, JAMES STEPHEN ,  沙萊克 莫森 ,  SALEK, MOHSEN ,  克里斯多芬森 康迪 ,  KRISTOFFERSEN, CANDI ,  古德 理查 霍華 ,  GOULD, RICHARD HOWARD

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67173 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67733

摘要： 提供一半導體處理系統，其可包括:複數第一半導體處理工具，具有第一平均晶圓傳送面；以及複數第二半導體處理工具，具有第二平均晶圓傳送面。複數第二半導體處理工具可以第一平均晶圓傳送面及第二平均晶圓傳送面之間測得的第一垂直距離垂直地偏移離開複數第一半導體處理工具，且第一與複數第二半導體處理工具可位於一共用空間中。

简体摘要： 提供一半导体处理系统，其可包括:复数第一半导体处理工具，具有第一平均晶圆发送面；以及复数第二半导体处理工具，具有第二平均晶圆发送面。复数第二半导体处理工具可以第一平均晶圆发送面及第二平均晶圆发送面之间测得的第一垂直距离垂直地偏移离开复数第一半导体处理工具，且第一与复数第二半导体处理工具可位于一共享空间中。

公开(公告)号：TW201722811A

公开(公告)日：2017-07-01

申请号：TW105138660

申请日：2016-11-24

申请人： 大福股份有限公司 ,  DAIFUKU CO., LTD.

发明人： 衣川知孝 ,  KINUGAWA, TOMOTAKA ,  森川靖志 ,  MORIKAWA, YASUSHI

IPC分类号： B65G17/20 ,  B65G43/08 ,  B65G49/07 ,  B66C21/00

CPC分类号： B65G43/00 ,  B65G35/06 ,  B65G2201/0297 ,  B66C13/085 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67772

摘要： 提供一種易於將支撐機構修正為適當之姿勢的物品搬送設備。其具備檢測被支撐於升降體之物品中的第1基準面相對於水平面的角度的角度感測器、捲繞機構、使捲繞機構驅動之第2驅動部、及控制裝置，捲繞機構是構成為選擇性地進行對象索狀體之捲取及送出，控制裝置是根據角度感測器之檢測資訊將第2驅動部控制成將第1基準面相對於水平面的角度調節為設定角度。

简体摘要： 提供一种易于将支撑机构修正为适当之姿势的物品搬送设备。其具备检测被支撑于升降体之物品中的第1基准面相对于水平面的角度的角度传感器、卷绕机构、使卷绕机构驱动之第2驱动部、及控制设备，卷绕机构是构成为选择性地进行对象索状体之卷取及送出，控制设备是根据角度传感器之检测信息将第2驱动部控制成将第1基准面相对于水平面的角度调节为设置角度。

公开(公告)号：TW201708082A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：TW105121577

申请日：2016-07-07

申请人： 大福股份有限公司 ,  DAIFUKU CO., LTD.

发明人： 和田吉成 ,  WADA, YOSHINARI

IPC分类号： B65G1/04 ,  G05D1/02 ,  G06Q50/28

CPC分类号： B61B3/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

摘要： 本發明提供一種物品搬送設備。在對搬送車供給行走用電力之屬於第1行走路徑的搬送對象位置、與不對搬送車供給行走用電力之屬於第2行走路徑的搬送對象位置之間搬送物品的情況下，管理部會將第1搬送車的行走管理成使第1搬送車只行走在第1行走路徑上，且將第2搬送車的行走管理成使第2搬送車涵蓋第1行走路徑及第2行走路徑雙方而行走。

简体摘要： 本发明提供一种物品搬送设备。在对搬送车供给行走用电力之属于第1行走路径的搬送对象位置、与不对搬送车供给行走用电力之属于第2行走路径的搬送对象位置之间搬送物品的情况下，管理部会将第1搬送车的行走管理成使第1搬送车只行走在第1行走路径上，且将第2搬送车的行走管理成使第2搬送车涵盖第1行走路径及第2行走路径双方而行走。

公开(公告)号：TWI559436B

公开(公告)日：2016-11-21

申请号：TW102141024

申请日：2013-11-12

申请人： 電裝股份有限公司 ,  DENSO CORPORATION

发明人： 畔柳雅明 ,  KUROYANAGI, MASAAKI ,  奧村寿浩 ,  OKUMURA, TOSHIHIRO ,  吉田圭佑 ,  YOSHIDA, KEISUKE

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/6773 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769

公开(公告)号：TW201628964A

公开(公告)日：2016-08-16

申请号：TW104131472

申请日：2015-09-23

申请人： 村田機械股份有限公司 ,  MURATA MACHINERY, LTD.

发明人： 岩崎順次 ,  IWASAKI, JUNJI

IPC分类号： B66C13/48 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/6773 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736

摘要： 本發明的課題是提供一種暫時保管裝置，可在高架行走車系統及第2搬運系統之間的不同位置收授物品，並也可在與暫時保管裝置的物品的收授位置之間進行物品的收授。 暫時保管裝置，具備：局部台車，具有吊車；局部台車的行走用軌道，在高架行走車系統的行走用軌道的下方，並通過物品的收授位置正上部；及滑動棚架，在局部台車的行走用軌道的下方，該滑動棚架，並在收授位置的正上部與第2位置之間可自由地滑動，該第2位置是與局部台車的行走用軌道在水平面內直角的方向與收授位置的正上部不同，並在與第2搬運系統之間自由收授物品的位置。

简体摘要： 本发明的课题是提供一种暂时保管设备，可在高架行走车系统及第2搬运系统之间的不同位置收授物品，并也可在与暂时保管设备的物品的收授位置之间进行物品的收授。 暂时保管设备，具备：局部台车，具有吊车；局部台车的行走用轨道，在高架行走车系统的行走用轨道的下方，并通过物品的收授位置正上部；及滑动棚架，在局部台车的行走用轨道的下方，该滑动棚架，并在收授位置的正上部与第2位置之间可自由地滑动，该第2位置是与局部台车的行走用轨道在水平面内直角的方向与收授位置的正上部不同，并在与第2搬运系统之间自由收授物品的位置。

公开(公告)号：TWI538863B

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：TW101116008

申请日：2012-05-04

申请人： 大福股份有限公司 ,  DAIFUKU CO., LTD.

发明人： 森本雄一 ,  MORIMOTO, YUICHI ,  中馬健志 ,  CHUMA, TAKESHI

IPC分类号： B65G1/12

CPC分类号： H01L21/67727 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736

公开(公告)号：TWI503268B

公开(公告)日：2015-10-11

申请号：TW099117597

申请日：2010-06-01

申请人： 村田機械股份有限公司 ,  MURATA MACHINERY, LTD.

发明人： 島村和典 ,  SHIMAMURA, KAZUNORI

IPC分类号： B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

公开(公告)号：TWI414468B

公开(公告)日：2013-11-11

申请号：TW097139751

申请日：2008-10-16

申请人： 村田機械股份有限公司 ,  MURATA MACHINERY, LTD.

发明人： 加藤進 ,  KATO, SUSUMU

IPC分类号： B65G1/00 ,  B65G49/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67766 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67775