公开(公告)号：US20090090184A1

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：US11944291

申请日：2007-11-21

申请人： Chuanwei WANG ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei WANG ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： G01P15/13

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/084

摘要： An out-of-plane sensing device is provided. A proof mass is movable with respect to a substrate. A frame is positioned on the substrate and encloses the proof mass. At least one spring connects the proof mass to the frame so that the spring will exert a force on the proof mass to make the proof mass move back to its equilibrium position when the proof mass moves perpendicularly to the substrate. An electrode extends from the proof mass toward the frame. A counter electrode extends from the frame toward the proof mass, wherein the projection of the electrode onto the substrate overlaps with that of the counter electrode onto the substrate.

摘要翻译： 提供了一种平面外感测装置。 证明物质可相对于基底移动。 框架定位在基板上并包围检测质量块。 至少一个弹簧将检测质量块连接到框架上，使得弹簧将在证明物质上施加力，以使证明物质在垂直于基底移动时使证明物质移回到其平衡位置。 电极从防弹块向框架延伸。 反电极从框架朝向证明物质延伸，其中电极到基板上的突起与对电极的突起重叠在基板上。

公开(公告)号：US07849742B2

公开(公告)日：2010-12-14

申请号：US11944291

申请日：2007-11-21

申请人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082 ,  G01P2015/084

摘要： An out-of-plane sensing device is provided. A proof mass is movable with respect to a substrate. A frame is positioned on the substrate and encloses the proof mass. At least one spring connects the proof mass to the frame so that the spring will exert a force on the proof mass to make the proof mass move back to its equilibrium position when the proof mass moves perpendicularly to the substrate. An electrode extends from the proof mass toward the frame. A counter electrode extends from the frame toward the proof mass, wherein the projection of the electrode onto the substrate overlaps with that of the counter electrode onto the substrate.

摘要翻译： 提供了一种平面外感测装置。 证明物质可相对于基底移动。 框架定位在基板上并包围检测质量块。 至少一个弹簧将检测质量块连接到框架上，使得弹簧将在证明物质上施加力，以使证明物质在垂直于基底移动时使证明物质移回到其平衡位置。 电极从防弹块向框架延伸。 反电极从框架朝向证明物质延伸，其中电极到基板上的突起与对电极的突起重叠在基板上。

公开(公告)号：US20120107545A1

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：US13343187

申请日：2012-01-04

申请人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： B32B3/08 ,  B32B3/10

CPC分类号： H01L28/60 ,  H01L29/84 ,  Y10T428/22

摘要： A micromachined structure includes a substrate and a suspended structure. The substrate has a cavity formed thereon. The suspended structure is formed on the cavity of the substrate. The suspended structure includes a first metal layer, a second metal layer, and a first dielectric layer positioned between the first and second metal layers, wherein the first dielectric layer has a first opening in communication with the cavity through an opening formed in the first metal layer.

摘要翻译： 微加工结构包括基底和悬挂结构。 基板具有形成在其上的空腔。 悬浮结构形成在基板的空腔上。 悬浮结构包括第一金属层，第二金属层和位于第一和第二金属层之间的第一介电层，其中第一介电层具有通过形成在第一金属中的开口与空腔连通的第一开口 层。

公开(公告)号：US20090101622A1

公开(公告)日：2009-04-23

申请号：US11944317

申请日：2007-11-21

申请人： Chuanwei WANG ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei WANG ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： H01B13/00

CPC分类号： H01L28/60 ,  H01L29/84 ,  Y10T428/22

摘要： A method for fabricating micromachined structures is provided. A structure including a dielectric layer, a metal layer and a passivation layer is formed, wherein the dielectric layer has a via thereon. An etching window is formed on the passivation layer. An etching solution is poured into the via through the etching window to perform a process of etching. After etching, the etching solution is removed and the passivation layer is removed. Finally, the structure is etched again to form the micromachined structure.

摘要翻译： 提供了一种制造微加工结构的方法。 形成包括电介质层，金属层和钝化层的结构，其中介电层在其上具有通孔。 在钝化层上形成蚀刻窗口。 将蚀刻溶液通过蚀刻窗口注入到通孔中以进行蚀刻处理。 蚀刻后，除去蚀刻溶液，除去钝化层。 最后，再次蚀刻结构以形成微加工结构。

公开(公告)号：US09070699B2

公开(公告)日：2015-06-30

申请号：US13343187

申请日：2012-01-04

申请人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L49/02 ,  H01L29/84

CPC分类号： H01L28/60 ,  H01L29/84 ,  Y10T428/22

摘要： A micromachined structure includes a substrate and a suspended structure. The substrate has a cavity formed thereon. The suspended structure is formed on the cavity of the substrate. The suspended structure includes a first metal layer, a second metal layer, and a first dielectric layer positioned between the first and second metal layers, wherein the first dielectric layer has a first opening in communication with the cavity through an opening formed in the first metal layer.

摘要翻译： 微加工结构包括基底和悬挂结构。 基板具有形成在其上的空腔。 悬浮结构形成在基板的空腔上。 悬浮结构包括第一金属层，第二金属层和位于第一和第二金属层之间的第一介电层，其中第一介电层具有通过形成在第一金属中的开口与空腔连通的第一开口 层。

公开(公告)号：US08105498B2

公开(公告)日：2012-01-31

申请号：US11944317

申请日：2007-11-21

申请人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

发明人： Chuanwei Wang ,  Ming Han Tsai ,  Chih Ming Sun ,  Weileun Fang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： H01L28/60 ,  H01L29/84 ,  Y10T428/22

摘要： A method for fabricating micromachined structures is provided. A structure including a dielectric layer, a metal layer and a passivation layer is formed, wherein the dielectric layer has a via thereon. An etching window is formed on the passivation layer. An etching solution is poured into the via through the etching window to perform a process of etching. After etching, the etching solution is removed and the passivation layer is removed. Finally, the structure is etched again to form the micromachined structure.

摘要翻译： 提供了一种制造微加工结构的方法。 形成包括电介质层，金属层和钝化层的结构，其中介电层在其上具有通孔。 在钝化层上形成蚀刻窗口。 将蚀刻溶液通过蚀刻窗口注入到通孔中以进行蚀刻处理。 蚀刻后，除去蚀刻溶液，除去钝化层。 最后，再次蚀刻结构以形成微加工结构。

公开(公告)号：US08436435B2

公开(公告)日：2013-05-07

申请号：US12844436

申请日：2010-07-27

申请人： Chun-Kai Chan ,  Weileun Fang

发明人： Chun-Kai Chan ,  Weileun Fang

IPC分类号： H01L29/84

CPC分类号： H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2201/003

摘要： The present invention discloses an MEMS capacitive microphone including a rigid diaphragm arranged on an elastic element. When a sound wave acts on the rigid diaphragm, the rigid diaphragm is moved parallel to a normal of a back plate by elasticity of the elastic element. Thereby the variation of the capacitance is obtained between the rigid diaphragm and the back plate.

摘要翻译： 本发明公开了一种MEMS电容麦克风，其包括布置在弹性元件上的刚性隔膜。 当声波作用在刚性隔膜上时，刚性隔膜通过弹性元件的弹性平行于背板的法线移动。 从而在刚性隔膜和背板之间获得电容的变化。

公开(公告)号：US20110179870A1

公开(公告)日：2011-07-28

申请号：US12692906

申请日：2010-01-25

申请人： Chun-Kai CHAN ,  Weileun Fang

发明人： Chun-Kai CHAN ,  Weileun Fang

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0848

摘要： A dual-axis acceleration detection element comprises a first detection element, a second detection element and a stationary unit. The first detection element is movable relative to the second detection element. The second detection element is movable relative to the stationary unit. The relative movements take place on different axes to detect acceleration on two different axes. The first detection element and the second detection element are interposed by corresponding detection electrodes, and the second detection element and the stationary unit also are interposed by other corresponding detection electrodes. Hence when the relative movements occur among the first and second detection elements and the stationary unit, overlapped areas of the detection electrodes change to generate and output a capacitance difference, thereby acceleration alteration can be detected.

摘要翻译： 双轴加速度检测元件包括第一检测元件，第二检测元件和固定单元。 第一检测元件可相对于第二检测元件移动。 第二检测元件可相对于固定单元移动。 相对运动发生在不同的轴上以检测两个不同轴上的加速度。 第一检测元件和第二检测元件由相应的检测电极插入，第二检测元件和固定单元也被其它相应的检测电极插入。 因此，当在第一和第二检测元件和固定单元之间发生相对运动时，检测电极的重叠区域改变以产生并输出电容差，从而可以检测加速度变化。

公开(公告)号：US07981329B2

公开(公告)日：2011-07-19

申请号：US12357039

申请日：2009-01-21

申请人： Chih-Chun Lee ,  Sheng-Yi Hsiao ,  Weileun Fang

发明人： Chih-Chun Lee ,  Sheng-Yi Hsiao ,  Weileun Fang

IPC分类号： B29D11/00 ,  B29C39/00 ,  G02B1/00

CPC分类号： B29D11/00009 ,  B29C39/006 ,  B29C39/26 ,  B29C41/12 ,  B29L2011/00

摘要： A method of manufacturing an optical component is provided. The method comprises steps of providing a first liquid; providing a fluid, disposed above the first liquid, wherein an interface exists between the first liquid and the fluid; providing a polymer precursor at the interface; and solidifying the polymer precursor so as to form the optical component made by a polymer.

摘要翻译： 提供了一种制造光学部件的方法。 该方法包括提供第一液体的步骤; 提供设置在所述第一液体上方的流体，其中在所述第一液体和所述流体之间存在界面; 在界面处提供聚合物前体; 并固化聚合物前体以形成由聚合物制成的光学部件。

公开(公告)号：US07623303B2

公开(公告)日：2009-11-24

申请号：US11877421

申请日：2007-10-23

申请人： Weileun Fang ,  Sz-Yuan Lee ,  Hsi-Wen Tung ,  Wen-Chih Chen

发明人： Weileun Fang ,  Sz-Yuan Lee ,  Hsi-Wen Tung ,  Wen-Chih Chen

IPC分类号： G02B1/04 ,  G02B13/00 ,  G02B3/14

CPC分类号： G02B26/0866

摘要： A solid tunable micro optical device for an micro-optical system is provided. The sold tunable micro optical device includes a first annular piece, a micro-lens with a spherical surface configured on the first annular piece, and a deforming device coupled to the first annular piece for deforming the micro-lens.

摘要翻译： 提供了一种用于微光学系统的固体可调谐微型光学器件。 所销售的可调谐微型光学装置包括第一环形件，具有构造在第一环形件上的球形表面的微透镜，以及联接到第一环形件的变形装置，用于使微透镜变形。