公开(公告)号：US20130004740A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13537843

申请日：2012-06-29

申请人： Shohei KATAOKA ,  Yusuke IIZUKA ,  Akinori SHIBUYA ,  Tomoki MATSUDA ,  Naohiro TANGO

发明人： Shohei KATAOKA ,  Yusuke IIZUKA ,  Akinori SHIBUYA ,  Tomoki MATSUDA ,  Naohiro TANGO

IPC分类号： G03F7/004 ,  B32B3/10 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/2041 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/114 ,  Y10S430/128 ,  Y10T428/24802

摘要： An actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which is capable of improving line edge roughness (LER) and inhibiting pattern collapse, a resist film and a pattern forming method each using the same, a method for preparing an electronic device, and an electronic device are provided.The actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains: (A) a resin having repeating units having a structure represented by any one of the following general formulae (I-1) to (I-3), and repeating units containing at least one selected from the group consisting of a lactone structure, a sultone structure, and a cyano group; and (B) a compound that generates an acid by irradiation with actinic rays or radiations.

摘要翻译： 能够改善线边缘粗糙度（LER）并抑制图案塌陷的光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物，抗蚀剂膜和各自使用它们的图案形成方法，制备电子器件的方法和 提供电子设备。 光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物含有：（A）具有由以下通式（I-1）至（I-3）中任一个表示的结构的重复单元的树脂和含有 选自内酯结构，磺内酯结构和氰基中的至少一种; 和（B）通过用光化射线或辐射照射产生酸的化合物。

公开(公告)号：US20130004741A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13538246

申请日：2012-06-29

申请人： Tomoki MATSUDA ,  Yoko TOKUGAWA ,  Akinori SHIBUYA

发明人： Tomoki MATSUDA ,  Yoko TOKUGAWA ,  Akinori SHIBUYA

IPC分类号： G03F7/027 ,  B32B33/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041 ,  Y10T428/24802

摘要： An actinic-ray- or radiation-sensitive resin composition according to the present invention includes (A) a resin to be decomposed to increase its solubility in an alkali developer when acted on by an acid, and (B) a compound represented by the general formula (1-1) below.

摘要翻译： 根据本发明的光化射线或辐射敏感性树脂组合物包括（A）待酸分解时增加其在碱显影剂中的溶解度的树脂，和（B）由通式 公式（1-1）。

公开(公告)号：US20120135348A1

公开(公告)日：2012-05-31

申请号：US13305494

申请日：2011-11-28

申请人： Akinori SHIBUYA ,  Yoko TOKUGAWA ,  Tomoki MATSUDA

发明人： Akinori SHIBUYA ,  Yoko TOKUGAWA ,  Tomoki MATSUDA

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/027

CPC分类号： G03F7/0046 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041

摘要： Provided are an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which has improved development defect and is capable of forming a good pattern shape, an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive film formed using the composition, and a pattern forming method using the composition.The actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition includes (A) a compound which generates an acid represented by the following general formula (I) or (I′) upon irradiation with an actinic-ray or a radiation, and (B) a resin which decomposes by an action of an acid to increase a solubility of the resin in an alkaline developer [each of the symbols in the general formulae (I) and (I′) indicates the meaning described in Claims].

摘要翻译： 提供了具有改善的显影缺陷并能够形成良好图案形状的光化学敏感或辐射敏感性树脂组合物，使用该组合物形成的光化射线敏感性或辐射敏感性膜，以及图案形成方法 使用组合。 光化学射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物包括（A）在用光化射线或辐射照射时产生由以下通式（I）或（I'）表示的酸的化合物，和（B ）通过酸的作用分解以增加树脂在碱性显影剂中的溶解度的树脂（通式（I）和（I'）中的每个符号表示权利要求中所述的含义]。

公开(公告)号：US20120207978A1

公开(公告)日：2012-08-16

申请号：US13369528

申请日：2012-02-09

申请人： Akinori SHIBUYA ,  Shuhei YAMAGUCHI ,  Kunihiko KODAMA ,  Kenji WADA ,  Tomoki MATSUDA

发明人： Akinori SHIBUYA ,  Shuhei YAMAGUCHI ,  Kunihiko KODAMA ,  Kenji WADA ,  Tomoki MATSUDA

IPC分类号： G03F7/20 ,  B32B3/30 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041 ,  Y10T428/24479

摘要： An object of the present invention is to provide an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition which is significantly excellent in terms of exposure latitude, is capable of forming a favorable rectangular pattern profile, and exhibits low dissolution of the components into an immersion liquid when performing immersion exposure, and a resist film and a pattern forming method each using the same composition. The actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains (A) a compound represented by formula (I) and capable of generating an acid upon irradiation of actinic-rays or radiations, and (B) a resin capable of increasing the solubility in an alkaline developer by the action of an acid.

摘要翻译： 本发明的目的是提供一种在曝光宽容度上显着优异的光化学敏感或辐射敏感性树脂组合物，能够形成有利的矩形图案，并且显示出低成分溶解于 进行浸渍曝光时的浸渍液，以及使用相同组成的抗蚀剂膜和图案形成方法。 光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物含有（A）由式（I）表示的化合物，并且能够在光化或辐射照射时产生酸，和（B）能够增加溶解度的树脂 在碱性显影剂中通过酸的作用。

公开(公告)号：US20120164574A1

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：US13324538

申请日：2011-12-13

申请人： Yoko TOKUGAWA ,  Mitsuhiro FUJITA ,  Tomoki MATSUDA

发明人： Yoko TOKUGAWA ,  Mitsuhiro FUJITA ,  Tomoki MATSUDA

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0758 ,  G03F7/2041

摘要： Provided is an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition that is excellent in depth of focus and density distribution dependency, and an actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive film and a pattern forming method using the same.An actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition according to the present invention includes (A) a first resin which decomposes by an action of an acid to increase a solubility of the first resin in an alkaline developer, (B) a second resin which includes at least one of a fluorine atom and a silicon atom and is different from the first resin, and (C) an onium salt which includes a nitrogen atom in a cation portion and generates an acid by being decomposed upon irradiation with actinic-ray or radiation.

摘要翻译： 本发明提供了聚焦深度和密度分布依赖性优异的光化射线敏感性或辐射敏感性的树脂组合物，以及使用其的光化学敏感性或光敏感性的薄膜和图案形成方法。 根据本发明的光化射线敏感或辐射敏感性树脂组合物包括（A）通过酸的作用分解以增加第一树脂在碱性显影剂中的溶解度的第一树脂，（B）第二树脂 包括氟原子和硅原子中的至少一个并且与第一树脂不同的树脂，和（C）在阳离子部分中包含氮原子的鎓盐，并且通过在光化学反应下照射而分解产生酸， 射线或辐射。