公开(公告)号：US08149536B1

公开(公告)日：2012-04-03

申请号：US11871672

申请日：2007-10-12

申请人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

发明人： Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease ,  Kyusik Sin

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3169 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for manufacturing a perpendicular magnetic recording head is disclosed. The method and system include providing a chemical mechanical planarization (CMP) uniformity structure having an aperture therein and forming a perpendicular magnetic recording pole within the aperture. The CMP uniformity structure may include a CMP barrier layer. The method and system further include fabricating an insulator after formation of the perpendicular magnetic recording pole and performing a CMP to remove a portion of the insulator, expose a portion of the perpendicular magnetic recording pole and planarize an exposed surface of the perpendicular magnetic recording head.

摘要翻译： 公开了用于制造垂直磁记录头的方法和系统。 该方法和系统包括提供其中具有孔的化学机械平面化（CMP）均匀性结构，并在孔内形成垂直的磁记录极。 CMP均匀性结构可以包括CMP阻挡层。 所述方法和系统还包括在形成垂直磁记录极之后制造绝缘体，并执行CMP以去除绝缘体的一部分，暴露垂直磁记录极的一部分并平面化垂直磁记录头的暴露表面。

公开(公告)号：US08790524B1

公开(公告)日：2014-07-29

申请号：US12880484

申请日：2010-09-13

申请人： Guanghong Luo ,  Danning Yang ,  Ming Jiang

发明人： Guanghong Luo ,  Danning Yang ,  Ming Jiang

IPC分类号： G11B5/127 ,  G11B5/31 ,  G11B5/11

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/112 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3932

摘要： A method and system for fabricating a magnetic transducer is described. The transducer has device and field regions, and a magnetoresistive stack. Hard mask layer and wet-etchable layers are provided on the magnetoresistive stack and hard mask layer, respectively. A hard mask and a wet-etchable mask are formed from the hard mask and the wet-etchable layers, respectively. The hard and wet-etchable masks each includes a sensor portion and a line frame. The sensor portion covers part of the magnetoresistive stack corresponding to a magnetoresistive structure. The line frame covers a part of the magnetoresistive stack in the device region. The magnetoresistive structure is defined in a track width direction. Hard bias material(s) are then provided. Part of the hard bias material(s) is adjacent to the magnetoresistive structure in the track width direction. The wet-etchable sensor portion and line frame, and hard bias material(s) thereon, are removed.

摘要翻译： 描述了用于制造磁换能器的方法和系统。 传感器具有器件和场区域以及磁阻堆叠。 硬掩模层和湿蚀刻层分别设置在磁阻堆叠和硬掩模层上。 分别由硬掩模和湿蚀刻层形成硬掩模和湿蚀刻掩模。 硬和湿可蚀刻掩模各自包括传感器部分和线框架。 传感器部分覆盖对应于磁阻结构的磁阻堆叠的一部分。 线框架覆盖设备区域中的磁阻堆叠的一部分。 磁阻结构被定义在磁道宽度方向上。 然后提供硬偏置材料。 硬偏置材料的一部分在磁道宽度方向上与磁阻结构相邻。 湿式可蚀刻传感器部分和线框架以及其上的硬偏移材料被去除。

公开(公告)号：US08578594B2

公开(公告)日：2013-11-12

申请号：US13154191

申请日：2011-06-06

申请人： Ming Jiang ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Masahiro Osugi ,  Danning Yang

发明人： Ming Jiang ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Masahiro Osugi ,  Danning Yang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： A process for fabricating a magnetic recording transducer for use in a data storage system comprises providing a substrate, an underlayer and a first nonmagnetic intermediate layer deposited to a first thickness on and in contact with the underlayer, performing a first scanning polishing on a first section of the first intermediate layer to planarize the first section of the first intermediate layer to a second thickness, providing a main pole in the planarized first section of the first intermediate layer, providing a first pattern of photoresist on and in contact with the first section of the first intermediate layer, the pattern comprising an aperture to define a side shield trench, performing a wet etch to remove at least a portion of the first intermediate layer thereby exposing at least one of the plurality of main pole sides, and depositing side shield material in the side shield trench.

摘要翻译： 一种用于制造用于数据存储系统的磁记录传感器的方法包括提供在底层上沉积到第一厚度并与底层接触的基底，底层和第一非磁性中间层，在第一部分上进行第一扫描抛光 将所述第一中间层的第一部分平坦化为第二厚度，在所述第一中间层的平坦化的第一部分中提供主极，在所述第一中间层的所述第一部分的第一部分上提供第一图案， 第一中间层，图案包括用于限定侧屏蔽沟槽的孔，执行湿蚀刻以去除第一中间层的至少一部分，从而暴露多个主极侧中的至少一个，以及沉积侧屏蔽材料 在侧盾沟。

公开(公告)号：US08454846B1

公开(公告)日：2013-06-04

申请号：US12817376

申请日：2010-06-17

申请人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Danning Yang ,  Yun-Fei Li

发明人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Danning Yang ,  Yun-Fei Li

IPC分类号： B44C1/22 ,  G11B5/31

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/315

摘要： A method and system for fabricating magnetic recording transducer are described. The magnetic recording transducer has a main pole including a plurality of sides, an intermediate layer adjacent to the sides of the main pole, and a field region distal from the main pole. The method and system include providing at least one trench in the intermediate layer. The trench(es) are between the main pole and the field region. The method and system also include providing a stop layer. A portion of the stop layer resides in at least part of the trench(es) and on at least part of the field region. The method and system also include removing a portion of the intermediate layer using a wet etch. The stop layer is resistant to removal by the wet etch. The method and system also include depositing a full wrap-around shield layer on the main pole.

摘要翻译： 描述了用于制造磁记录换能器的方法和系统。 磁记录传感器具有包括多个侧面的主极，与主极的侧面相邻的中间层和远离主极的场区域。 该方法和系统包括在中间层中提供至少一个沟槽。 沟槽在主极和场区之间。 该方法和系统还包括提供停止层。 停止层的一部分位于沟槽的至少一部分中，并且位于场区域的至少一部分上。 该方法和系统还包括使用湿蚀刻去除中间层的一部分。 止挡层耐湿蚀刻能够去除。 该方法和系统还包括在主极上沉积完整的环绕屏蔽层。

公开(公告)号：US08081403B1

公开(公告)日：2011-12-20

申请号：US12170619

申请日：2008-07-10

申请人： Benjamin Chen ,  Hongping Yuan ,  Danning Yang ,  Wei Zhang ,  Hugh C. Hiner ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

发明人： Benjamin Chen ,  Hongping Yuan ,  Danning Yang ,  Wei Zhang ,  Hugh C. Hiner ,  Lei Wang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

IPC分类号： G11B5/39

CPC分类号： H01L43/12 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G11B5/3906 ,  G11B5/3909

摘要： A magnetic element includes a pinned layer, a nonferromagnetic spacer layer, and a free layer. The nonferromagnetic spacer layer resides between the pinned layer and the free layer. The free layer has a track width of not more than 0.08 micron.

摘要翻译： 磁性元件包括钉扎层，非铁磁隔离层和自由层。 非铁磁间隔层位于被钉扎层和自由层之间。 自由层的轨道宽度不大于0.08微米。

公开(公告)号：US08018677B1

公开(公告)日：2011-09-13

申请号：US11923043

申请日：2007-10-24

申请人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

发明人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for manufacturing a pole for a magnetic recording head. The method and system include providing an insulator and fabricating at least one hard mask on the insulator. The at least one hard mask has an aperture therein. The method and system also include removing a portion of the insulator to form a trench within the insulator. The trench is formed under the aperture. The method and system further include depositing at least one ferromagnetic material. The pole includes a portion of the ferromagnetic material within the trench.

摘要翻译： 一种用于制造用于磁记录头的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括提供绝缘体并在绝缘体上制造至少一个硬掩模。 至少一个硬掩模在其中具有孔。 该方法和系统还包括去除绝缘体的一部分以在绝缘体内形成沟槽。 沟槽形成在孔下面。 所述方法和系统还包括沉积至少一种铁磁材料。 极包括沟槽内的铁磁材料的一部分。

公开(公告)号：US07444740B1

公开(公告)日：2008-11-04

申请号：US11047401

申请日：2005-01-31

申请人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

发明人： Ki Sup Chung ,  Kyusik Sin ,  Danning Yang ,  Yingjian Chen ,  Brant Nease

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for manufacturing a pole for a magnetic recording head. The method and system include providing an insulator and fabricating at least one hard mask on the insulator. The at least one hard mask has an aperture therein. The method and system also include removing a portion of the insulator to form a trench within the insulator. The trench is formed under the aperture. The method and system further include depositing at least one ferromagnetic material. The pole includes a portion of the ferromagnetic material within the trench.

摘要翻译： 一种用于制造用于磁记录头的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括提供绝缘体并在绝缘体上制造至少一个硬掩模。 至少一个硬掩模在其中具有孔。 该方法和系统还包括去除绝缘体的一部分以在绝缘体内形成沟槽。 沟槽形成在孔下面。 所述方法和系统还包括沉积至少一种铁磁材料。 极包括沟槽内的铁磁材料的一部分。

公开(公告)号：US08790527B1

公开(公告)日：2014-07-29

申请号：US13069023

申请日：2011-03-22

申请人： Guanghong Luo ,  Ming Jiang ,  Danning Yang ,  Yunfei Li

发明人： Guanghong Luo ,  Ming Jiang ,  Danning Yang ,  Yunfei Li

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/461 ,  B29D11/00 ,  C03C15/00 ,  C03C25/68

CPC分类号： B29D11/00663

摘要： A method for providing waveguide structures for an energy assisted magnetic recording (EAMR) transducer is described. The waveguide structures have a plurality of widths. At least one waveguide layer is provided. Mask structure(s) corresponding to the waveguide structures and having a pattern are provided on the waveguide layer(s). The mask structure(s) include a planarization stop layer, a planarization assist layer on the planarization stop layer, and a hard mask layer on the planarization assist layer. The planarization assist layer has a low density. The pattern of the mask structure(s) is transferred to the waveguide layer(s). Optical material(s) that cover the waveguide layer(s) and a remaining portion of the mask structure(s) are provided. The optical material(s) have a density that is at least twice the low density of the planarization assist layer. The method also includes performing a planarization configured to remove at least a portion of the optical material(s).

摘要翻译： 描述了一种用于提供能量辅助磁记录（EAMR）换能器的波导结构的方法。 波导结构具有多个宽度。 提供至少一个波导层。 对应于波导结构并具有图案的掩模结构设置在波导层上。 掩模结构包括平坦化停止层，平坦化停止层上的平坦化辅助层和平坦化辅助层上的硬掩模层。 平坦化助剂层具有低密度。 掩模结构的图案被传送到波导层。 提供了覆盖波导层和掩模结构的剩余部分的光学材料。 光学材料的密度至少是平坦化辅助层的低密度的两倍。 该方法还包括执行被配置为去除至少一部分光学材料的平坦化。

公开(公告)号：US08506828B1

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US13171242

申请日：2011-06-28

申请人： Masahiro Osugi ,  Guanghong Luo ,  Ronghui Zhou ,  Danning Yang ,  Dujiang Wan ,  Ming Jiang

发明人： Masahiro Osugi ,  Guanghong Luo ,  Ronghui Zhou ,  Danning Yang ,  Dujiang Wan ,  Ming Jiang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/3932 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3909 ,  Y10T29/49043

摘要： A method and system for fabricating a read sensor on a substrate for a read transducer is described. A read sensor stack is deposited on the substrate. A mask is provided on the on the read sensor stack. The mask has a pattern that covers a first portion of the read sensor stack corresponding to the read sensor, covers a second portion of the read sensor stack distal from the read sensor, and exposes a third portion of the read sensor stack between the first and second portions. The read sensor is defined from the read sensor stack. A hard bias layer is deposited. An aperture free mask layer including multiple thicknesses is provided. A focused ion beam scan (FIBS) polishing step is performed on the mask and hard bias layers to remove a portion of the mask and hard bias layers based on the thicknesses.

摘要翻译： 描述了用于在读取换能器的基板上制造读取传感器的方法和系统。 读取传感器堆叠沉积在衬底上。 在读取传感器堆叠上提供掩模。 掩模具有覆盖对应于读取传感器的读取传感器堆叠的第一部分的图案，其覆盖远离读取传感器的读取传感器堆叠的第二部分，并将读取传感器堆叠的第三部分暴露在第一和第 第二部分。 读取传感器由读取传感器堆栈定义。 沉积硬偏压层。 提供包括多个厚度的无孔掩模层。 在掩模和硬偏压层上执行聚焦离子束扫描（FIBS）抛光步骤，以基于厚度去除掩模和硬偏压层的一部分。

公开(公告)号：US08262919B1

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：US12824036

申请日：2010-06-25

申请人： Guanghong Luo ,  Changqing Shi ,  Danning Yang ,  Jinwen Wang ,  Ming Jiang

发明人： Guanghong Luo ,  Changqing Shi ,  Danning Yang ,  Jinwen Wang ,  Ming Jiang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： A method and system for providing a pole of magnetic transducer having an intermediate layer are described. The method and system include providing a trench in the intermediate layer and depositing a nonmagnetic liner. A portion of the nonmagnetic liner resides in the trench. At least one seed layer is deposited. A portion of the at least one seed layer resides in the trench. The method and system include depositing at least one main pole layer. The at least one main pole layer is magnetic. A portion of the main pole layer(s) reside in the trench. The method and system also include performing a first chemical mechanical planarization (CMP). An excess portion of the seed layer(s) external to the trench are removed through an ion beam etch. The method and system further include performing a second CMP to remove an excess portion of the nonmagnetic liner external to the trench.

摘要翻译： 描述了一种用于提供具有中间层的磁换能器的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括在中间层中提供沟槽并沉积非磁性衬垫。 非磁性衬垫的一部分位于沟槽中。 沉积至少一个种子层。 至少一个种子层的一部分位于沟槽中。 该方法和系统包括沉积至少一个主极层。 至少一个主极层是磁性的。 主极层的一部分驻留在沟槽中。 该方法和系统还包括执行第一化学机械平面化（CMP）。 通过离子束蚀刻去除沟槽外部的种子层的多余部分。 该方法和系统还包括执行第二CMP以去除沟槽外部的非磁性衬垫的多余部分。