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    Opening hard mask and SOI substrate in single process chamber
    22.
    发明授权
    Opening hard mask and SOI substrate in single process chamber 失效
    在单处理室中打开硬掩模和SOI衬底

    公开(公告)号：US07560387B2

    公开(公告)日：2009-07-14

    申请号：US11275707

    申请日：2006-01-25

    申请人： Scott D. Allen ,  Kangguo Cheng ,  Xi Li ,  Kevin R. Winstel

    发明人： Scott D. Allen ,  Kangguo Cheng ,  Xi Li ,  Kevin R. Winstel

    IPC分类号： H01L21/311

    CPC分类号： H01L21/3081 ,  H01L21/31116

    摘要： Methods for opening a hard mask and a silicon-on-insulator substrate in a single process chamber are disclosed. In one embodiment, the method includes patterning a photoresist over a stack including an anti-reflective coating (ARC) layer, a silicon dioxide (SiO2) based hard mask layer, a silicon nitride pad layer, a silicon dioxide (SiO2) pad layer and the SOI substrate, wherein the SOI substrate includes a silicon-on-insulator layer and a buried silicon dioxide (SiO2) layer; and in a single process chamber: opening the ARC layer; etching the silicon dioxide (SiO2) based hard mask layer; etching the silicon nitride pad layer; etching the silicon dioxide (SiO2) pad layer; and etching the SOI substrate. Etching all layers in a single chamber reduces the turn-around-time, lowers the process cost, facilitates process control and/or improve a trench profile.

    摘要翻译： 公开了在单个处理室中打开硬掩模和绝缘体上硅衬底的方法。 在一个实施例中，该方法包括在包括抗反射涂层（ARC）层，基于二氧化硅（SiO 2）的硬掩模层，氮化硅衬垫层，二氧化硅（SiO 2）衬垫层和叠层 SOI衬底，其中所述SOI衬底包括绝缘体上硅层和掩埋二氧化硅（SiO 2）层; 并在单个处理室中：打开ARC层; 蚀刻基于二氧化硅（SiO 2）的硬掩模层; 蚀刻氮化硅焊盘层; 蚀刻二氧化硅（SiO 2）垫层; 并蚀刻SOI衬底。 在单个室中蚀刻所有层减少了周转时间，降低了工艺成本，便于工艺控制和/或改善沟槽轮廓。

    Methods of controlling molecular weight distribution of polymers and compositions thereof
    25.
    发明授权
    Methods of controlling molecular weight distribution of polymers and compositions thereof 有权
    控制聚合物分子量分布的方法及其组合物

    公开(公告)号：US08324337B2

    公开(公告)日：2012-12-04

    申请号：US12948191

    申请日：2010-11-17

    申请人： Scott D. Allen

    发明人： Scott D. Allen

    IPC分类号： C08G64/00 ,  C08G64/02

    CPC分类号： C08G64/34

    摘要： A catalyst, co-catalyst, and/or chain transfer agent is added at a time after initiation of an addition polymerization reaction to produce a polymer product with a widened molecular weight distribution relative to having all of the components in the original reaction mixture. The catalyst, co-catalyst, or chain transfer agent may be added discretely or continuously to the reaction to produce a product with a bimodal, trimodal, or other broadened molecular weight distribution.

    摘要翻译： 在开始加成聚合反应后，加入催化剂，助催化剂和/或链转移剂，以产生相对于在原始反应混合物中具有所有组分的扩大的分子量分布的聚合物产物。 催化剂，助催化剂或链转移剂可以离散地或连续地加入到反应中，以产生具有双峰，三峰或其它更宽分子量分布的产物。

    ALIPHATIC POLYCARBONATE QUENCH METHOD
    28.
    发明申请
    ALIPHATIC POLYCARBONATE QUENCH METHOD 有权
    二氯聚碳酸酯法

    公开(公告)号：US20110207899A1

    公开(公告)日：2011-08-25

    申请号：US13119407

    申请日：2009-09-17

    申请人： Scott D. Allen ,  Jeffrey R. Conuel ,  David E. Decker ,  Anna E. Cherian

    发明人： Scott D. Allen ,  Jeffrey R. Conuel ,  David E. Decker ,  Anna E. Cherian

    IPC分类号： C08G64/34

    CPC分类号： C08G64/0208 ,  C08G64/34 ,  C08G64/406

    摘要： The present disclosure is directed to, in part, an aliphatic polycarbonate polymerization reaction initiated by combining an epoxide with carbon dioxide in the presence of a catalytic transition metal-ligand complex to form a reaction mixture, and further quenching that polymerization reaction by contacting the reaction mixture with an acid containing a non-nucleophilic anion produces a crude polymer solution with improved stability and processability.

    摘要翻译： 本公开部分地涉及通过在催化过渡金属 - 配体络合物的存在下将环氧化物与二氧化碳结合以形成反应混合物引发的脂族聚碳酸酯聚合反应，并通过使反应接触进一步淬灭该聚合反应 与含有非亲核阴离子的酸的混合物产生具有改进的稳定性和加工性的粗聚合物溶液。

    METHODS OF CONTROLLING MOLECULAR WEIGHT DISTRIBUTION OF POLYMERS AND COMPOSITIONS THEREOF
    30.
    发明申请
    METHODS OF CONTROLLING MOLECULAR WEIGHT DISTRIBUTION OF POLYMERS AND COMPOSITIONS THEREOF 有权
    控制聚合物及其组合物分子量分布的方法

    公开(公告)号：US20110065894A1

    公开(公告)日：2011-03-17

    申请号：US12948191

    申请日：2010-11-17

    申请人： Scott D. Allen

    发明人： Scott D. Allen

    IPC分类号： C08G64/00

    CPC分类号： C08G64/34

    摘要： A catalyst, co-catalyst, and/or chain transfer agent is added at a time after initiation of an addition polymerization reaction to produce a polymer product with a widened molecular weight distribution relative to having all of the components in the original reaction mixture. The catalyst, co-catalyst, or chain transfer agent may be added discretely or continuously to the reaction to produce a product with a bimodal, trimodal, or other broadened molecular weight distribution.

    摘要翻译： 在开始加成聚合反应后，加入催化剂，助催化剂和/或链转移剂，以产生相对于在原始反应混合物中具有所有组分的扩大的分子量分布的聚合物产物。 催化剂，助催化剂或链转移剂可以离散地或连续地加入到反应中，以产生具有双峰，三峰或其它更宽分子量分布的产物。