公开(公告)号：US20090158828A1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：US12187430

申请日：2008-08-07

申请人： Shuichi BABA ,  Masahiro Watanabe ,  Toshihiko Nakata ,  Yukio Kembo ,  Toru Kurenuma ,  Takafumi Morimoto ,  Manabu Edamura ,  Satoshi Sekino

发明人： Shuichi BABA ,  Masahiro Watanabe ,  Toshihiko Nakata ,  Yukio Kembo ,  Toru Kurenuma ,  Takafumi Morimoto ,  Manabu Edamura ,  Satoshi Sekino

IPC分类号： G01B5/28

CPC分类号： G01Q10/00 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/28 ,  G01Q60/34

摘要： In the case of measuring a pattern having a steep side wall, a probe adheres to the side wall by the van der Waals forces acting between the probe and the side wall when approaching the pattern side wall, and an error occurs in a measured profile of the side wall portion. When a pattern having a groove width almost equal to a probe diameter is measured, the probe adheres to both side walls, the probe cannot reach the groove bottom, and the groove depth cannot be measured. When the probe adheres to a pattern side wall in measurements of a microscopic high-aspect ratio pattern using an elongated probe, the probe is caused to reach the side wall bottom by detecting the adhesion of the probe to the pattern side wall, and temporarily increasing a contact force between the probe and the sample. Also, by obtaining the data of the amount of torsion of a cantilever with the shape data of the pattern, a profile error of the side wall portion by the adhesion is corrected by the obtained data of the amount of torsion.

摘要翻译： 在测量具有陡峭侧壁的图案的情况下，当接近图案侧壁时，探针通过作用在探针和侧壁之间的范德华力粘附到侧壁，并且在测量的轮廓中发生错误 侧壁部分。 当测量具有几乎等于探针直径的槽宽度的图案时，探针粘附到两个侧壁，探针不能到达凹槽底部，并且不能测量凹槽深度。 当使用细长的探针测量微观高纵横比图案时探头粘附到图案侧壁上时，通过检测探针与图案侧壁的粘附力使探针到达侧壁底部，并暂时增加 探针和样品之间的接触力。 此外，通过利用图案的形状数据获得悬臂的扭转量的数据，通过获得的扭转量的数据来校正侧壁部分的粘附的轮廓误差。

公开(公告)号：US20050183282A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US10986878

申请日：2004-11-15

申请人： Masahiro Watanabe ,  Takenori Hirose ,  Yukio Kembo ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

发明人： Masahiro Watanabe ,  Takenori Hirose ,  Yukio Kembo ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

IPC分类号： H01L21/28 ,  G01B3/22 ,  G01B11/06 ,  G01N13/16 ,  G12B21/08 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/66 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC分类号： G01Q30/02 ,  G01B11/0625 ,  G01Q30/04

摘要： The invention relates to a method and an apparatus for measuring the depths of many fine holes formed in the surface of a sample by etching. Positional information on a plurality of hole patterns is acquired by scanning with a stylus the surface of the sample in which the hole patterns are formed by etching, the depths of the plurality of hole patterns are measured by scanning with the stylus bottom faces of the plurality of hole patterns and the surface of the sample in the respective vicinities of the hole patterns on the basis of the positional information, and information on distribution of the depths of the plurality of hole patterns is displayed on a screen on the basis of information on the measured depths of the plurality of hole patterns and the positional information on each of the hole patterns.

摘要翻译： 本发明涉及通过蚀刻来测量在样品表面形成的许多细孔的深度的方法和装置。 通过用触笔扫描通过蚀刻形成孔图案的样品的表面来获取多个孔图案的位置信息，通过用多个孔的触针底面进行扫描来测量多个孔图案的深度 基于位置信息在孔图案的各附近的孔图案和样品的表面，并且关于多个孔图案的深度分布的信息基于关于该图案的信息显示在屏幕上 多个孔图案的测量深度和每个孔图案上的位置信息。

公开(公告)号：US20100043108A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12262208

申请日：2008-10-31

申请人： Motoyuki Hirooka ,  Makoto Okai ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Hiroki Tanaka ,  Masato Takashina ,  Yuuki Uozumi

发明人： Motoyuki Hirooka ,  Makoto Okai ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Hiroki Tanaka ,  Masato Takashina ,  Yuuki Uozumi

IPC分类号： G01B5/28

CPC分类号： G01Q70/12

摘要： In a tip having a carbon nanotube tip used to a scanning probe microscope, its length of the tip is adjusted in a several order of 10 nm and the tip maintains cylindrical shape up to the extremity portion.

摘要翻译： 在具有用于扫描探针显微镜的碳纳米管尖端的尖端中，其尖端的长度被调节为几个数量级的10nm，并且尖端保持圆柱形直到末端部分。

公开(公告)号：US5965881A

公开(公告)日：1999-10-12

申请号：US969562

申请日：1997-11-13

申请人： Takafumi Morimoto ,  Ken Murayama ,  Sumio Hosaka

发明人： Takafumi Morimoto ,  Ken Murayama ,  Sumio Hosaka

IPC分类号： G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01N27/00 ,  G01N37/00 ,  G01Q10/06 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/04 ,  G01Q60/24 ,  G01Q80/00 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01Q10/06 ,  B82Y35/00 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/06 ,  G01Q60/38 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/852

摘要： This scanning probe microscope can accurately obtain information on surfaces of a sample when measuring the sample in a broad range from a slow scanning speed to a fast scanning speed. The scanning probe microscope comprises a cantilever (16) with a probe (15) at its tip, an optical lever mechanism (17,18) for measuring displacement of the cantilever (16), a mechanism for approaching/separating the cantilever against the sample, XY scanning circuit (21), and further comprises a Z axis piezoelectric element (14b) of a tripod for changing the distance between the cantilever and the sample, a control circuit (20) for controlling the distance between the cantilever and the sample to cause a displacement signal s1 obtained from the optical lever mechanism to be identical to a set value s0, and an adder (24) for adding a control signal from the control circuit and a signal based on the deviation between the displacement signal and the set value. The information on the sample surface is obtained from a signal outputted from the adder.

摘要翻译： 当从慢扫描速度到快速扫描速度的宽范围内测量样品时，该扫描探针显微镜可以准确地获得样品表面的信息。 扫描探针显微镜包括在其尖端处具有探针（15）的悬臂（16），用于测量悬臂（16）的位移的光学杠杆机构（17,18），用于使悬臂与样品接近/分离的机构 ，XY扫描电路（21），并且还包括用于改变悬臂与样品之间的距离的三脚架的Z轴压电元件（14b），用于控制悬臂与样品之间的距离的控制电路（20） 使得从光学手柄机构获得的位移信号s1与设定值s0相同，以及用于将来自控制电路的控制信号和基于位移信号与设定值之间的偏差的信号相加的加法器（24） 。 样品表面上的信息是从加法器输出的信号中获得的。

公开(公告)号：US5870716A

公开(公告)日：1999-02-09

申请号：US538643

申请日：1995-10-04

申请人： Taichi Sugiyama ,  Yukio Akimoto ,  Takafumi Morimoto ,  Yoshiyuki Tsuge

发明人： Taichi Sugiyama ,  Yukio Akimoto ,  Takafumi Morimoto ,  Yoshiyuki Tsuge

IPC分类号： G06Q10/08 ,  G06Q20/20 ,  G06Q30/06 ,  G07F7/00 ,  G07G1/00 ,  G06F17/60 ,  G06F153/00

CPC分类号： G06Q30/06 ,  G06Q10/087 ,  G06Q20/20 ,  G06Q20/201 ,  G06Q20/202 ,  G06Q20/203 ,  G06Q20/209 ,  G06Q30/0617 ,  G07F7/00 ,  G07G1/00

摘要： A shopping system includes store terminals for registering purchase and sale of items, a store processor for collectively managing the store terminals, electronic shelf labels capable of setting classification, etc., of the items, an item information data base for storing the classification of the items and the electronic shelf labels from information from the electronic shelf labels in such a manner as to correspond to each other, and home terminals for executing edition from the information from the store terminal or the store processor by a predetermined logic. The home terminal in this system accumulates the item information from the store terminal as history, determines a mean purchase interval of individual items, and decides and notifies the items to be purchased to the shopper by purchase item determination process of a next shopping day and a next-of-next shopping day inputted by the shopper.

摘要翻译： 购物系统包括用于登记物品的购买和销售的商店终端，用于集体管理商店终端的商店处理器，能够设置分类的电子货架标签等;用于存储商品的分类的商品信息数据库 物品和来自电子货架标签的信息的电子货架标签以彼此对应的方式，以及通过预定逻辑从存储终端或存储处理器的信息执行版本的归属终端。 该系统中的家庭终端将来自商店终端的商品信息作为历史积存，确定各个商品的平均购买间隔，并通过下一个购物日的购买项目确定处理决定并通知购物者要购买的商品，以及 购物者输入的下一个购物日。

公开(公告)号：US07243441B2

公开(公告)日：2007-07-17

申请号：US10986878

申请日：2004-11-15

申请人： Masahiro Watanabe ,  Takenori Hirose ,  Yukio Kembo ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

发明人： Masahiro Watanabe ,  Takenori Hirose ,  Yukio Kembo ,  Yoshiyuki Nagano ,  Takafumi Morimoto

IPC分类号： G01B5/00

CPC分类号： G01Q30/02 ,  G01B11/0625 ,  G01Q30/04

摘要： A method an apparatus for measuring the depths of many fine holes formed in the surface of a sample by etching. Positional information on a plurality of hole patterns is acquired by scanning, with a stylus, the surface of the sample in which the hole patterns are formed by etching. The depths of the plurality of hole patterns are measured by scanning, with the stylus, bottom faces of the plurality of hole patterns and the surface of the sample in the respective vicinities of the hole patterns on the basis of the positional information that has been acquired. Information on distribution of the depths of the plurality of hole patterns is displayed on a screen on the basis of information on the measured depths of the plurality of hole patterns and the positional information on each of the hole patterns.

摘要翻译： 一种用于通过蚀刻来测量在样品表面形成的许多细孔的深度的装置的方法。 通过用触笔扫描其中通过蚀刻形成孔图案的样品的表面来获取关于多个孔图案的位置信息。 基于已经获得的位置信息，通过使用触针将多个孔图案的底面和孔图案的各附近的样品表面扫描来测量多个孔图案的深度 。 基于关于多个孔图案的测量深度的信息和关于每个孔图案的位置信息的信息，在屏幕上显示关于多个孔图案的深度分布的信息。

公开(公告)号：US20070051887A1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：US11513411

申请日：2006-08-31

申请人： Kishio Hidaka ,  Motoyuki Hirooka ,  Mitsuo Hayashibara ,  Tadashi Fujieda ,  Hiroki Tanaka ,  Noriaki Takeshi ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Masato Takashina ,  Yuki Uozumi

发明人： Kishio Hidaka ,  Motoyuki Hirooka ,  Mitsuo Hayashibara ,  Tadashi Fujieda ,  Hiroki Tanaka ,  Noriaki Takeshi ,  Takafumi Morimoto ,  Satoshi Sekino ,  Masato Takashina ,  Yuki Uozumi

IPC分类号： G21K7/00

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/12

摘要： The present invention provides a cantilever having a base fixed to an inspecting apparatus, a beam protruding from the base, and a probe fixed to an end of the beam, wherein: the probe is formed by use of a carbon nanotube; and the probe is fixed by metal layers from at least two directions when the cantilever is operated, the probe protrudes in a direction in which a sample is fixed. It is possible to prevent the probe from warping and suppress image failures during observation of a sample.

摘要翻译： 本发明提供了一种悬臂，其具有固定在检查装置上的基座，从基座突出的梁和固定在梁的端部的探针，其中：通过使用碳纳米管形成探针; 并且当悬臂被操作时，探针从至少两个方向由金属层固定，探针沿固定样品的方向突出。 可以在观察样品期间防止探头翘曲并抑制图像故障。