公开(公告)号：US07912100B2

公开(公告)日：2011-03-22

申请号：US12339744

申请日：2008-12-19

申请人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

发明人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/30

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US08279903B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US13025408

申请日：2011-02-11

申请人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

发明人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/13

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US20110139760A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US13025408

申请日：2011-02-11

申请人： Lawrence SHAH ,  James M. BOVATSEK ,  Alan Y. ARAI ,  Tadashi YAMAMOTO ,  Rajesh S. PATEL ,  Donald J. HARTER

发明人： Lawrence SHAH ,  James M. BOVATSEK ,  Alan Y. ARAI ,  Tadashi YAMAMOTO ,  Rajesh S. PATEL ,  Donald J. HARTER

IPC分类号： B23K26/00

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US20130003065A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13611271

申请日：2012-09-12

申请人： Lawrence SHAH ,  James M. BOVATSEK ,  Alan Y. ARAI ,  Tadashi YAMAMOTO ,  Rajesh S. PATEL ,  Donald J. HARTER

发明人： Lawrence SHAH ,  James M. BOVATSEK ,  Alan Y. ARAI ,  Tadashi YAMAMOTO ,  Rajesh S. PATEL ,  Donald J. HARTER

IPC分类号： H01S3/10 ,  G01J3/28

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

公开(公告)号：US06624885B1

公开(公告)日：2003-09-23

申请号：US09330254

申请日：1999-06-10

申请人： Russell M. Pon ,  Rajesh S. Patel ,  James M. Bovatsek ,  Jeffrey A. Schuster ,  Geoffrey K. McKinley ,  Sze-The Young

发明人： Russell M. Pon ,  Rajesh S. Patel ,  James M. Bovatsek ,  Jeffrey A. Schuster ,  Geoffrey K. McKinley ,  Sze-The Young

IPC分类号： G01N2100

CPC分类号： G01N21/894 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0846 ,  B23K26/128 ,  B23K26/382 ,  G01N21/8851

摘要： A method for inspecting small holes in a material is disclosed. The method comprises directing a light source through the holes in the material, and then focusing the light passing through the material onto a CCD detector. The focusing techniques allow for a reduction in the size of the image which must be inspected, thereby increasing sample throughput, while still allowing for detailed inspection of the hole number and quality. Methods of producing an aerosolization container and device comprising membranes which pass such an inspection are also provided.

摘要翻译： 公开了一种用于检查材料中的小孔的方法。 该方法包括将光源引导通过材料中的孔，然后将通过材料的光聚焦到CCD检测器上。 聚焦技术允许减小必须检查的图像的尺寸，从而增加样品通量，同时仍然允许详细检查孔数和质量。 还提供了生产雾化容器的方法和包括通过这种检查的膜的装置。

公开(公告)号：US08644356B2

公开(公告)日：2014-02-04

申请号：US13611271

申请日：2012-09-12

申请人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

发明人： Lawrence Shah ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US20090097514A1

公开(公告)日：2009-04-16

申请号：US12339744

申请日：2008-12-19

申请人： Lawrence SHAH ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

发明人： Lawrence SHAH ,  James M. Bovatsek ,  Alan Y. Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US07486705B2

公开(公告)日：2009-02-03

申请号：US10813269

申请日：2004-03-31

申请人： Lawrence Shah ,  James M Bovatsek ,  Alan Y Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

发明人： Lawrence Shah ,  James M Bovatsek ,  Alan Y Arai ,  Tadashi Yamamoto ,  Rajesh S. Patel ,  Donald J. Harter

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： H01S3/10038 ,  G01J11/00 ,  H01S3/0014 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/10023 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/102 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/108 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1618

摘要： A femtosecond laser based laser processing system having a femtosecond laser, frequency conversion optics, beam manipulation optics, target motion control, processing chamber, diagnostic systems and system control modules. The femtosecond laser based laser processing system allows for the utilization of the unique heat control in micromachining, and the system has greater output beam stability, continuously variable repetition rate and unique temporal beam shaping capabilities.

摘要翻译： 飞秒激光激光处理系统，具有飞秒激光，变频光学，光束操纵光学，目标运动控制，处理室，诊断系统和系统控制模块。 基于飞秒激光的激光加工系统允许在微加工中利用独特的热控制，并且该系统具有更大的输出光束稳定性，连续可变的重复率和独特的时间波束整形能力。

公开(公告)号：US06642477B1

公开(公告)日：2003-11-04

申请号：US10060231

申请日：2001-10-23

申请人： Rajesh S. Patel ,  James M. Bovatsek

发明人： Rajesh S. Patel ,  James M. Bovatsek

IPC分类号： B23K2600

CPC分类号： B23K26/384 ,  B23K26/389 ,  F02M61/1806

摘要： A method of forming a through-hole which is counter-tapered relative to a drilling laser involves directing, along an incidence axis and onto an impingement location on a first surface of a material, a laser beam of sufficient energy to ablate the material, the incidence axis being offset from a normal to the first surface at the impingement location. The material and the laser beam are then relatively rotated, for at least 360°, such that a through-hole having a larger exit opening than entrance opening is formed.

摘要翻译： 形成相对于钻孔激光器相对锥度的通孔的方法包括沿着入射轴线和材料的第一表面上的冲击位置引导具有足以消除材料的能量的激光束， 入射轴线从冲击位置处的第一表面的法线偏移。 然后材料和激光束相对旋转至少360°，使得形成具有比入口更大的出口的通孔。