公开(公告)号：US20160130724A1

公开(公告)日：2016-05-12

申请号：US14997890

申请日：2016-01-18

申请人： Alta Devices, Inc.

发明人： Gang He ,  Gregg Higashi ,  Khurshed Sorabji ,  Roger Hamamjy ,  Andreas Hegedus

IPC分类号： C30B25/10 ,  C23C16/01 ,  H05B3/00 ,  C23C16/48

CPC分类号： C30B25/10 ,  C23C16/01 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/481 ,  C23C16/482 ,  C23C16/54 ,  C30B25/025 ,  C30B29/40 ,  C30B29/42 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67784 ,  H05B3/0047

摘要： Embodiments of the invention generally relate to apparatuses for chemical vapor deposition (CVD) processes. In one embodiment, a heating lamp assembly for a vapor deposition reactor system is provided which includes a lamp housing disposed on an upper surface of a support base and containing a first lamp holder and a second lamp holder and a plurality of lamps extending from the first lamp holder to the second lamp holder. The plurality of lamps may have split filament lamps and/or non-split filament lamps, and in some examples, split and non-split filament may be alternately disposed between the first and second lamp holders. A reflector may be disposed on the upper surface of the support base between the first and second lamp holders. The reflector may contain gold or a gold alloy.

摘要翻译： 本发明的实施例一般涉及用于化学气相沉积（CVD）工艺的装置。 在一个实施例中，提供了一种用于气相沉积反应器系统的加热灯组件，其包括设置在支撑基座的上表面上并包含第一灯座和第二灯座的灯壳，以及从第一 灯架到第二个灯座。 多个灯可以具有裂开的灯丝灯和/或非分裂灯丝灯，并且在一些示例中，分裂和非分裂灯丝可以​​交替地设置在第一和第二灯座之间。 反射器可以设置在第一和第二灯座之间的支撑基座的上表面上。 反射器可以包含金或金合金。