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    Method and system for hybrid reticle inspection
    1.
    发明授权
    Method and system for hybrid reticle inspection 有权
    混合掩模版检查方法与系统

    公开(公告)号：US09208552B2

    公开(公告)日：2015-12-08

    申请号：US13814535

    申请日：2012-04-23

    申请人： Carl Hess ,  John D. Miller ,  Shan Xue ,  Patrick LoPresti

    发明人： Carl Hess ,  John D. Miller ,  Shan Xue ,  Patrick LoPresti

    IPC分类号： G06K9/00 ,  G06T7/00

    CPC分类号： G06T7/0004 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/20012 ,  G06T2207/30148

    摘要： A semiconductor inspection apparatus performs a hybrid inspection process including cell-to-cell inspection, die-to-die inspection and die-to-golden or die-to-database inspection. The apparatus creates a golden image of a reticle complimentary to portions of the reticle that can be inspected by cell-to-cell inspection or die-to-die inspection. Alternatively, the apparatus creates a reduced database complimentary to portions of the reticle that can be inspected by cell-to-cell inspection or die-to-die inspection.

    摘要翻译： 半导体检查装置进行包括电池到电池检查，管芯到管芯检查以及管芯到金属或管芯到数据库检查的混合检查过程。 该装置产生与通过电池到电池检查或模 - 模检查可以检查的掩模版的部分互补的掩模版的金色图像。 或者，该装置创建减少的数据库，其与通过电池到电池检查或管芯到管芯检查可以检查的掩模版的部分互补。

    Method and System for Hybrid Reticle Inspection
    2.
    发明申请
    Method and System for Hybrid Reticle Inspection 有权
    混合光栅检测方法与系统

    公开(公告)号：US20130279792A1

    公开(公告)日：2013-10-24

    申请号：US13814535

    申请日：2012-04-23

    申请人： Carl Hess ,  John D. Miller ,  Shan Xue ,  Patrick LoPresti

    发明人： Carl Hess ,  John D. Miller ,  Shan Xue ,  Patrick LoPresti

    IPC分类号： G06T7/00

    CPC分类号： G06T7/0004 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/20012 ,  G06T2207/30148

    摘要： A semiconductor inspection apparatus performs a hybrid inspection process including cell-to-cell inspection, die-to-die inspection and die-to-golden or die-to-database inspection. The apparatus creates a golden image of a reticle complimentary to portions of the reticle that can be inspected by cell-to-cell inspection or die-to-die inspection. Alternatively, the apparatus creates a reduced database complimentary to portions of the reticle that can be inspected by cell-to-cell inspection or die-to-die inspection.

    摘要翻译： 半导体检查装置进行包括电池到电池检查，管芯到管芯检查以及管芯到金属或管芯到数据库检查的混合检查过程。 该装置产生与通过电池到电池检查或模 - 模检查可以检查的掩模版的部分互补的掩模版的金色图像。 或者，该装置创建减少的数据库，其与通过电池到电池检查或管芯到管芯检查可以检查的掩模版的部分互补。

    Particulate removal from point of use exhaust scrubbers
    7.
    发明授权
    Particulate removal from point of use exhaust scrubbers 失效
    从使用点排气净化器去除颗粒物

    公开(公告)号：US6099808A

    公开(公告)日：2000-08-08

    申请号：US131643

    申请日：1993-10-05

    申请人： John D. Miller ,  W. Leon Cooley ,  Tim Herman ,  Robert R. Moore

    发明人： John D. Miller ,  W. Leon Cooley ,  Tim Herman ,  Robert R. Moore

    IPC分类号： B01D47/06 ,  B01D50/00 ,  B01D53/58 ,  B01D53/68 ,  F23J15/02 ,  B03C3/01 ,  B03C3/16

    CPC分类号： B01D47/06 ,  B01D50/006 ,  B01D53/58 ,  B01D53/68 ,  F23J15/025 ,  F23G2204/20 ,  F23G2209/142 ,  F23J2217/102 ,  F23J2217/103

    摘要： A submicron filter assembly (24) is added to an exhaust gas controlled destruction and oxidation unit (10). Controlled destruction and oxidation unit (10) treats exhaust gas from at least one semiconductor wafer fabricating reactor. The submicron filter (24) filters submicron particles out of the treated exhaust gas to prevent visible plumes from forming in wafer fab exhaust systems (stacks). The controlled destruction and oxidation unit (10) and submicron filter assembly (24) are ideally suited for use at the point of generation of the exhaust gases. In one embodiment of the invention, the submicron filter assembly comprises an electrostatic filter (26). The electrostatic filter (26) includes a positively charged first grid (28) and a grounded second grid (30). The second grid may include a mist screen for removing particulate build-up. In another embodiment of the invention, the submicron filter assembly (36) comprises a mist eliminator (38) and a HEPA filter (40).

    摘要翻译： 将亚微米过滤器组件（24）添加到排气控制的破坏和氧化单元（10）中。 受控破坏和氧化单元（10）处理来自至少一个半导体晶片制造反应器的废气。 亚微米过滤器（24）将亚微米颗粒从经处理的废气中过滤，以防止在晶圆制造废气系统（堆叠）中形成可见的羽流。 受控的破坏和氧化单元（10）和亚微米过滤器组件（24）非常适用于在废气产生时使用。 在本发明的一个实施例中，亚微米过滤器组件包括静电过滤器（26）。 静电过滤器（26）包括带正电的第一栅极（28）和接地的第二栅极（30）。 第二格栅可以包括用于去除颗粒物积聚的雾屏。 在本发明的另一个实施例中，亚微米过滤器组件（36）包括除雾器（38）和HEPA过滤器（40）。

    Segmented filter disc with slotted support and drainage plate and support spacer
    9.
    发明授权
    Segmented filter disc with slotted support and drainage plate and support spacer 失效
    带开槽支撑和排水板和支撑垫片的分段过滤盘

    公开(公告)号：US4902420A

    公开(公告)日：1990-02-20

    申请号：US325002

    申请日：1989-03-17

    申请人： David B. Pall ,  John D. Miller

    发明人： David B. Pall ,  John D. Miller

    IPC分类号： B01D29/41

    CPC分类号： B01D29/41

    摘要： A filter segment disc of a segment filter comprises a support and drainage plate with slots radiating from the filter hub toward the filter edge. The slots are preferably of arcuate plan form and configured to provide a substantially uniform fluid flow over the filtering medium of the filter segment, reduce residence time of filtrate in the filter, eliminate dead spots in the flow, and facilitate cleaning of permanent filters. A filter support spacer may be provided adjacent the filtering surface to aid in support and positive spacing of the disc in a filter stack of which the disc may be an element.

    摘要翻译： 段过滤器的过滤器段盘包括具有从过滤器毂朝向过滤器边缘辐射的槽的支撑和排出板。 狭槽优选为弓形平面形状并且构造成在过滤段的过滤介质上提供基本上均匀的流体流，减少滤液在过滤器中的停留时间，消除流中的死点，并且便于清洁永久过滤器。 可以在过滤表面附近设置过滤器支撑间隔件，以帮助盘的过滤器堆叠中的盘的支撑和正间隔，其中盘可以是元件。